Magnetically confined glow discharge apparatus
专利汇可以提供Magnetically confined glow discharge apparatus专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且972,348. Ion-getter pumps. VARIAN ASSOCIATES. Nov. 12, 1962 [Nov. 29, 1961], No. 42666/62. Drawings to Specification. Heading H1D. An ion-getter pump has a cellular anode and a magnetic field directly coaxially of the anode cells, the cells having their diameter or smallest dimension d in inches taken transverse to the magnetic field falling within the range wherein the product Bd, where B is the intensity of the magnetic field in kilogauss, is chosen to be between 1.2 and 3 kilogauss-inches, while the magnetic field is in excess of 3 kilogauss. A potential difference of between 5 and 20 kilovolts is preferably provided between the anode and a sputter cathode, and the magnetic field may be in excess of 20 kilogauss. The magnetic field used may be that already present associated with the device being evacuated. Suitable cathode materials, the anode preferably being fabricated of the same material, are titanium, chromium, zirconium, gadolinium, iron, or stainless steel. Specification 873,024 is referred to.，下面是Magnetically confined glow discharge apparatus专利的具体信息内容。
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4 射频清洗工艺
