专利汇可以提供一种静电势阱磁约束装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开一种静电势阱 磁约束 装置,包括筒体、电磁线圈、第一电源、第二电源和 截止 阀 ,所述电磁线圈与第二电源电连接,所述电磁线圈套设于筒体的外侧以使筒体内形成电 磁场 ,所述筒体内装设有 电极 环,所述电极环的一端与第一电源电连接,所述筒体设有开口,所述电极环的另一端穿过开口与 截止阀 电连接,所述筒体接地线。本实用新型能对脱离靶材的 等离子体 进行加功,以此使全部等离子体能溅射到基材上,有效提高溅射效果,稳定溅射 质量 。,下面是一种静电势阱磁约束装置专利的具体信息内容。
1.一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:包括筒体、电磁线圈、第一电源、第二电源和截止阀,所述电磁线圈与第二电源电连接,所述电磁线圈套设于筒体的外侧以使筒体内形成电磁场,所述筒体内装设有电极环,所述电极环的一端与第一电源电连接,所述筒体设有开口,所述电极环的另一端穿过开口与截止阀电连接,所述筒体接地线。
2.根据权利要求1所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述筒体包括呈球状的第一筒体和自第一筒体两侧向外延伸形成的第二筒体,所述电磁线圈套设于第二筒体的外侧,所述电极环装设于第一筒体内,所述开口设于第一筒体上。
3.根据权利要求1所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述电极环为阳极环。
4.根据权利要求1所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:还包括第二电阻和第一电阻,所述第二电阻的一端与电极环电连接,所述第二电阻的另一端与第一电阻的一端电连接,所述第一电阻的另一端与第一电源电连接。
5.根据权利要求2所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:还包括密封圈,所述第二筒体还设有用于安装密封圈的安装槽,所述安装槽与开口相互连通。
6.根据权利要求1所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述第一电源为直流电源,所述第一电源的电压值为0-500V。
7.根据权利要求1所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述电磁场的磁场强度为1-2T。
8.根据权利要求2所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述第二筒体的内部直径为180mm。
9.根据权利要求2所述的一种静电势阱磁约束装置,其特征在于:所述第一筒体的长度为160mm,所述第二筒体的长度为80mm。
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