专利汇可以提供一种微球聚合物涂层制备装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型提供一种微球 聚合物 涂层制备装置,所述的装置包括进气管、射频屏蔽罩、电感线圈、 石英 谐振腔 、 真空 室。石英谐振腔位于电感线圈中,电感线圈位于射频屏蔽罩中,进气管与石英谐振腔连接,石英谐振腔与真空室连接,真空室内设有样品架、样品升降台、敲击杆。本实用新型应用于激光 惯性约束聚变 领域靶丸烧蚀层材料的制备,具有能实现微球聚合物涂层厚度可控、微球聚合物涂层 单层 及多层掺杂等特点。,下面是一种微球聚合物涂层制备装置专利的具体信息内容。
1.一种微球聚合物涂层制备装置,包括进气管(1)、射频屏蔽罩(2)、电感线圈(3)、石英谐振腔(4)、真空室(8);其特征在于:石英谐振腔(4)位于电感线圈(3)中,电感线圈(3)位于射频屏蔽罩(2)中;电感线圈(3)两引线从装置顶端的接线柱引出,与射频电源(10)相连;进气管(1)与石英谐振腔(4)连接,石英谐振腔(4)与真空室(8)连接;真空室(8)内设有样品架(5)、样品升降台(6)、敲击杆(7),样品架(5)与样品升降台(6)连接。
2.根据权利要求1所述的微球聚合物涂层制备装置,其特征在于:石英谐振腔(4)上端为圆柱形,下端为锥形。
3.根据权利要求1所述的微球聚合物涂层制备装置,其特征在于:电感线圈(3)的线圈匝数可调。
4.根据权利要求1所述的微球聚合物涂层制备装置,其特征在于:敲击杆(7)由螺线管、电磁铁不锈钢杆组成,不锈钢杆伸入真空室(8)与样品架(5)接触。
5.根据权利要求1所述的微球聚合物涂层制备装置,其特征在于:样品架(5)由碗状样品盘(11)、真空电机(12)及电机托架(13)构成;碗状样品盘(11)与真空电机(12)连接,真空电机(12)置于电机托架(13)内。
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