专利汇可以提供一种HACL太阳电池的制备方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种HACL太阳 电池 的制备方法,其包括以下步骤:(1)对 硅 片 表面进行去除损伤层和清洗处理;(2)以 硅片 作为基底其两面制备相同掺杂类型的重掺杂晶体硅层;(3)双面减反射 钝化 层制备;(4)双面按照细金属 栅线 的图案进行开槽;(5)表面清洗;(6)依次沉积本征非晶硅 钝化层 和重掺杂非晶硅层;(7)金属栅线制备;(8)去除栅线 覆盖 区域之外区域的非晶硅 薄膜 。本发明实现了HACL结构双面太阳电池的制备,且技术方案适宜大规模批量生产;同时本发明先完成全表面的 镀 膜 再制备金属栅线,使得金属栅线在其基本作用外还起到了掩膜的作用,保护需要的非晶硅膜层,实现了非晶硅膜层的局域化。,下面是一种HACL太阳电池的制备方法专利的具体信息内容。
1.一种HACL太阳电池的制备方法,其特征在于,包括依次进行的以下步骤:
步骤(1)对硅片两表面进行处理,去除损伤层并进行清洗;
步骤(2)双面重掺杂晶体硅层制备,以所述硅片作为基底,在其两面制备相同掺杂类型的重掺杂晶体硅层;
步骤(3)双面减反射钝化层制备,在硅片两面的所述重掺杂晶体硅层上采用PECVD方法制备氮化硅作为减反射钝化层,并在PEVD制备结束后对所述硅片进行快速热处理;
步骤(4)双面开槽,在所述硅片的两表面按照细金属栅线的图案进行开槽,在两面上形成若干组的凹槽,并去除所述凹槽相应位置上的氮化硅以及其下面的重掺杂晶体硅层;
步骤(5)表面清洗,采用RCA清洗工艺结合氢氟酸去除自然氧化层的方式对双面开槽后的硅片表面进行清洗;
步骤(6)非晶硅薄膜沉积,在硅片其中一面的减反射钝化层、凹槽内均依次沉积本征非晶硅钝化层和重掺杂p型非晶硅层;在硅片另外一面的减反射钝化层、凹槽内依次沉积本征非晶硅钝化层和重掺杂n型非晶硅层;
步骤(7)金属栅线制备,在所述凹槽处制备金属栅线,以Ni/Cu/Ag或者Ti/Ag复合膜层结构作为导电细栅线;
步骤(8)去除所述金属栅线覆盖区域之外区域的非晶硅薄膜,以稀碱溶液浸泡的方式去除所述金属栅线覆盖区域之外的非晶硅薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种HACL太阳电池的制备方法,其特征在于:在所述步骤(7)制备金属栅线前,在硅片两表面减反射钝化层和凹槽内均沉积一层5-100nm厚的TCO材料;
在金属栅线制备完成后,采用稀酸浸泡的方式去除金属栅线覆盖区域之外的TCO材料。
3.根据权利要求1所述的一种HACL太阳电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中所述重掺杂晶体硅层为n型,其厚度为5-50nm。
4.根据权利要求1所述的一种HACL太阳电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(4)采用丝网印刷刻蚀剂进行刻蚀,或者紫外激光开槽,或者光刻结合湿化学法刻蚀的方案进行开槽。
5.根据权利要求1所述的一种HACL太阳电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(6)中的本征非晶硅薄膜和重掺杂非晶硅薄膜的沉积采用热丝化学气相沉积法完成,其中所述本征非晶硅薄膜的厚度为5-15nm,所述重掺杂p型非晶硅薄膜和所述重掺杂n型非晶硅薄膜的厚度为10-20nm。
6.根据权利要求1所述的一种HACL太阳电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(8)中稀碱溶液采用有机碱。
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