专利汇可以提供一种太阳能电池减反射膜结构专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型提供一种 太阳能 电池 减反射膜结构,涉及 太阳能电池 技术领域。该减反射膜结构包括依次形成在太阳能电池的 硅 基底上的第一膜层和第二膜层,第一膜层为氮化硅层,第二膜层为 碳 氧 化硅层,第一膜层的厚度在50nm至70nm的范围内,第二膜层的厚度在10nm至30nm的范围内。本实用新型采用由氮化硅层和碳氧化硅层构成的双层减反射介质膜,通过优化膜层厚度,可以降低太阳能电池对 波长 500nm以下入射光的反射以及提升在800nm以上长波段的 光谱 响应,从而提高了电池效率。(ESM)同样的 发明 创造已同日 申请 发明 专利,下面是一种太阳能电池减反射膜结构专利的具体信息内容。
1.一种太阳能电池减反射膜结构,其特征在于,包括依次形成在太阳能电池的硅基底上的第一膜层和第二膜层,所述第一膜层为氮化硅层,所述第二膜层为碳氧化硅层,所述第一膜层的厚度在50nm至70nm的范围内,所述第二膜层的厚度在10nm至30nm的范围内。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池减反射膜结构,其特征在于,所述第一膜层和所述第二膜层通过等离子体增强化学气相沉积来制备。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池减反射膜结构,其特征在于,所述第一膜层通过使用SiH4和NH3的混合气体作为反应气体来制备。
4.根据权利要求2所述的太阳能电池减反射膜结构,其特征在于,所述第二膜层通过使用SiH4、CH4和N2O的混合气体作为反应气体来制备。
5.根据权利要求3所述的太阳能电池减反射膜结构,其特征在于,所述第一膜层的折射率在2.1至2.3的范围内。
6.根据权利要求4所述的太阳能电池减反射膜结构,其特征在于,所述第二膜层的折射率在1.7至1.9的范围内。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的太阳能电池减反射膜结构,其特征在于,在所述第二膜层上还形成有第三膜层,所述第三膜层为多孔二氧化硅层。
8.根据权利要求7所述的太阳能电池减反射膜结构,其特征在于,所述第三膜层通过采用溶胶-凝胶法来制备。
9.根据权利要求7所述的太阳能电池减反射膜结构,其特征在于,所述第三膜层的厚度在5nm至20nm的范围内。
10.根据权利要求8所述的太阳能电池减反射膜结构,其特征在于,所述第三膜层的折射率在1.1至1.38的范围内。
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