[0032] vmeas=vL-v'M，
[0033] 得到测量激光与锁相激光LL的鉴频结果为
[0034] △vM-L=v'M-vL=-vmeas；
[0035] 步骤九、将测量得到的频率值△νM-L作为光频锁定信号输入数字
控制器，根据激光模块输出的锁相激光LL频率与所述激光模块输出的锁相激光LL
谐振腔长度的对应关系，通过温度控
制模块调整激光模块谐振腔温度以实现对谐振腔长度的大范围调节，同时通过PZT驱动
控制模块对谐振腔长度进行快速直接的调节，从而反馈控制锁相激光LL的频率vL使得△νM-L趋于0，当△νM-L=0时，目标端激光模块的光频锁定阶段结束，输出锁相激光LL及回传激光LB的频率锁定为入射的测量激光的频率，
[0036] 即νB=νL=v'M；
[0037] 步骤十、目标端的激光模块在光频锁定控制阶段结束后进入锁相跟踪控制阶段，首先取合光反射拍频信号SR和合光透射拍频信号ST进行反正切相位测量，得到测量激光与锁相激光LL的鉴相结果为 ；将测量得到的相位值 作为锁相闭环控制信号输入数字控制器，通过PZT驱动控制模块对激光模块的谐振腔长度进行精细快速调节，反馈控制锁相激光LL的相位 使得 趋于0，当 时，激光模块的锁相控制过程完成，输出锁相激光LL及回传激光LB的频率锁定为入射的测量激光的相位，[0038] 即
[0039] 步骤十一、当光学锁相跟踪系统失锁时，重复步骤九和步骤十，激光模块的锁相激光LL及回传激光LB即可对测量激光重新锁相跟踪；
[0040] 步骤十二、利用四分之一波片将频率和相位均锁定于测量激光的线偏振回传激光LB转化为圆偏振光，所述圆偏振光回传至测量端后再由四分之一波片将圆偏振光转化为偏振方向水平的线偏振光，受目标端相对测量端位移变化而导致多普勒频移效应的影响，回传激光LB到达测量端的频率发生变化，将回传激光测量频率表示为v'B，则根据多普勒频移的近似公式有
[0041]
[0042] 式中，u为目标端相对测量端的运动速度，λ为测量激光与回传激光LB的平均波长，
[0043] 步骤十三、将回传激光LB与参考激光合光并进行混频得到外差干涉测量的测量信号，利用高速探测器将该拍频信号转化为拍频电信号，将拍频电信号记为Smeas，拍频信号频率为参考激光LR1与回传激光LB的频率差
[0044]
[0045] 步骤十四、将外差干涉测量的参考信号Sref和测量信号Smeas分别输入相位细分模块后进行频率相减，由此得到目标端运动而产生的多普勒频移信号，对所述多普勒频移信号进行相位细分及累加计算后，由位移计算模块根据累计的相位值解算出目标端相对测量端的位移。
[0046] 实现上述一种基于四通道探测技术的弱光锁相星间位移测量方法的装置，它包括测量端和目标端，
[0047] 测量端包括双纵模激光模块、稳频控制模块、第一二分之一波片、第一消偏振分光棱镜、第一检偏器、第一高速光电探测器、第一偏振分光棱镜、第一四分之一波片、第四四分之一波片、第六偏振分光棱镜、第二检偏器、第六高速光电探测器、相位细分模块和位移计算模块，
[0048] 目标端包括第二四分之一波片、第二偏振分光棱镜、第二二分之一波片、第二消偏振分光棱镜、第三偏振分光棱镜、第二高速光电探测器、第三高速光电探测器、光学相位延迟器、第四偏振分光棱镜、第四高速光电探测器、第五高速光电探测器、信号调理模块、频率测量模块、
正交鉴相模块、数字控制器、
温度控制模块、PZT驱动控制模块、激光模块、第三二分之一波片、第五偏振分光棱镜、第三四分之一波片，
[0049] 稳频控制模块的输出端与双纵模激光模块的输入端相连，第一二分之一波片、第一消偏振分光棱镜、第一偏振分光棱镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、第二偏振分光棱镜、第二二分之一波片、第二消偏振分光棱镜、光学相位延迟器、第四偏振分光棱镜和第五高速光电探测器顺次放置在双纵模激光模块的出射光路上，
[0050] 第一检偏器和第一高速光电探测器顺次放置在第一消偏振分光棱镜的反射输出面之后，
[0051] 双纵模激光模块出射的双纵模激光经第一二分之一波片透射至第一消偏振分光棱镜，第一消偏振分光棱镜的反射光束入射至第一检偏器，经第一检偏器透射的光束入射至第一高速光电探测器，第一高速光电探测器的电信号输出端与相位细分模块的第一输入端相连，
[0052] 第一消偏振分光棱镜的
透射光束入射至第一偏振分光棱镜，第一偏振分光棱镜的透射光束经第一四分之一波片透射后作为测量激光发射至目标端，
[0053] 目标端的第二四分之一波片接收测量激光，并透射至第二偏振分光棱镜，激光模块发出的线偏振激光经第三二分之一波片透射至第五偏振分光棱镜，第五偏振分光棱镜反射的竖直线偏振激光作为锁相激光LL与第二偏振分光棱镜的透射光束形成合光光束，所述合光光束经第二二分之一波片透射至第二消偏振分光棱镜，
[0054] 经第二消偏振分光棱镜反射的合光反射光束入射至第三偏振分光棱镜，经第三偏振分光棱镜反射的反射光束入射至第二高速光电探测器，经第三偏振分光棱镜透射的透射光束入射至第三高速光电探测器，
[0055] 经第二消偏振分光棱镜透射的合光透射光束入射至光学相位延迟器，光学相位延迟器输出的延迟光束入射至第四偏振分光棱镜，经第四偏振分光棱镜反射的反射光束入射至第四高速光电探测器，经第四偏振分光棱镜透射的透射光束入射至第五高速光电探测器，
[0056] 第二高速光电探测器、第三高速光电探测器、第四高速光电探测器和第五高速光电探测器采集的信号分别输出给信号调理模块，信号调理模块的反射光束差信号输出端同时与频率测量模块的输入端和正交鉴相模块的输入端相连，信号调理模块的透射光束差信号输出端同时与频率测量模块的输入端和正交鉴相模块的输入端相连，频率测量模块的输出端与数字控制器的第一输入端相连，正交鉴相模块的输出端与数字控制器的第二输入端相连，数字控制器的控制温度信号输出端与温度控制模块的输入端相连，温度控制模块的输出端与激光模块的第一控制端相连，数字控制器的PZT驱动信号输出端与PZT驱动控制模块的输入端相连，PZT驱动控制模块的输出端与激光模块的PZT驱动信号控制端相连，[0057] 第五偏振分光棱镜的透射光束经第三四分之一波片透射后作为回传激光发射回测量端，测量端的第四四分之一波片接收回传激光，并透射至第六偏振分光棱镜，透射至第六偏振分光棱镜的回传激光LB与第一偏振分光棱镜反射的参考激光合光后，再经第二检偏器透射至第六高速光电探测器，第六高速光电探测器的电信号输出端与相位细分模块的第二输入端相连，相位细分模块的输出端与位移计算模块的输出端相连。
[0058] 本发明的优点：
[0059] （1）与现有的星间位移测量方法相比，本发明所设计的弱光锁相星间位移测量方法在将回传激光与测量激光锁相之前增加了光频锁定控制过程。由于光频锁定的捕获带宽远大于锁相跟踪的捕获带宽，因此目标端与测量端相对运动引入实时变化的多普勒频移时，回传激光仍能够通过先锁频再锁相的过程实现对测量激光的高精度锁相跟踪，同时大幅度的提高系统的抗干扰性，这是区别于
现有技术的创新点之一。
[0060] （2）本发明所设计的弱光锁相星间位移测量装置中使用了高精度的集成激光鉴频鉴相器，其中的激光鉴频环节在测得两束激光频率差绝对值的同时，还根据两路合光拍频信号的超前滞后关系确定了两束入射激光的频率大小关系，真正实现了对两束入射激光频率差的准确测量；激光鉴相环节则通过对四个探测通道所生成的两路正交拍频信号的反正切相位测量与信号辨向，实现了高精度的相位测量。其四个通道的平衡探测，使得激光功率
波动对测量结果的影响得到了很好的抑制，这是区别于现有技术的创新点之二。
附图说明
[0061] 图1为本发明装置的结构示意图；
[0062] 图2为到达目标端的测量激光频率v'M大于锁相激光LL频率vL时，合光反射拍频信号SR与合光透射拍频信号ST的相位关系示意图；
[0063] 图3为到达目标端的测量激光频率v'M小于锁相激光LL频率vL时，合光反射拍频信号SR与合光透射拍频信号ST的相位关系示意图。
具体实施方式
[0064] 具体实施方式一：下面结合图1至图3说明本实施方式，本实施方式所述一种基于四通道探测技术的弱光锁相星间位移测量方法，该方法包括以下步骤：
[0065] 步骤一、开启处于目标端的激光模块，经过预热过程后该激光模块进入稳定工作状态，利用二分之一波片和偏振分光棱镜将激光模块输出的线偏振激光分为两部分，一部分作为目标端的回传激光，将所述回传激光记为LB，另一部分作为锁相激光用于反馈控制激光模块，将所述锁相激光记为LL，锁相激光LL的为竖直线偏振激光，回传激光LB的频率与锁相激光LL的频率相同，将所述回传激光频率和锁相激光频率分别记为vB和vL；
[0066] 步骤二、开启处于测量端的双纵模激光模块，经过预热及稳频控制过程后，双纵模激光模块输出激光包含偏振态相互垂直的两个纵模激光成分，调整两个纵模激光的偏振态使其分别成为水平线偏振激光LM和竖直线偏振激光LR，水平线偏振激光的频率为vM，竖直线偏振激光的频率为vR，且vM>vR；
[0067] 步骤三、利用消偏振分光棱镜将所述水平线偏振激光LM和竖直线偏振激光LR分为反射部分和透射部分，反射部分的水平线偏振激光LM和反射部分的竖直线偏振激光LR进行光学混频得到拍频信号，由高速光电探测器将该拍频信号转化为电信号，将外差干涉测量的参考信号记为Sref，外差干涉测量的参考信号频率为两个纵模激光的频率差vref=vM-vR；
[0068] 透射部分的竖直线偏振激光LR作为参考激光与目标端的回传激光LB进行激光合束及光学混频，透射部分的水平线偏振激光LM被转化为圆偏振光后，作为测量激光由测量端向目标端射出；
[0069] 步骤四、所述测量激光到达目标端以后，先将所述测量激光由圆偏振光转换为偏振方向为水平的线偏振光，再与目标端的锁相激光LL进行激光合束形成合光光束，利用二分之一波片调整所述合光光束中激光LM与LL的偏振方向，使得两束激光的偏振方向都与水平方向成45°夹角；
[0070] 步骤五、利用消偏振分光棱镜将所述合光光束分为反射合光光束LF和透射合光光束LT，其中反射合光光束LF经偏振分光棱镜形成两路相位相差180°的拍频光信号，分别由两个高速光电探测器转换为拍频电信号并送入信号调理模块，透射合光光束LT首先经光学相位延迟器将合光光束中测量激光的相位延迟90°，然后通过偏振分光棱镜形成两路相位相差180°的拍频光信号，分别由另外两路高速光电探测器转换为拍频电信号并送入信号调理模块；
[0071] 步骤六、由于目标端相对测量端位移变化引入多普勒频移效应，测量激光到达目标端的频率发生变化，将所述锁相激光LL的频率表示为v'M，同时将反射合光光束LF中的测量激光到达光电探测器的相位记为 ，将反射合光光束LF中的锁相激光LL到达光电探测器的相位记为 ，信号调理模块将反射合光光束LF对应的两路拍频电信号相减得到合光反射拍频信号，将所述合光反射拍频信号记为SR，
[0072] 则当v'M=vL时，
[0073] 当v'M>vL时，
[0074] 当v'M
[0075] 步骤七、信号调理模块同时将透射合光光束LT对应的两路拍频电信号相减得到合光透射拍频信号，将所述合光透射拍频信号记为ST，由于光学相位延迟器的作用，透射合光光束LT中的测量激光到达光电探测器的相位记为 ，透射合光光束LT中的锁相激光LL到达光电探测器的相位记为 ，
[0076] 则当v'M=vL时，
[0077] 当v'M>vL时，
[0078] 当v'M
[0079] 步骤八、目标端的激光模块进入光频锁定控制阶段，首先取合光反射拍频信号SR和合光透射拍频信号ST进行频率测量，测频结果记为vmeas，
[0080] vmeas=|v'M-vL|，
[0081] 当合光反射拍频信号SR相位超前合光透射拍频信号ST90°时，表明v'M>vL，此时测频结果为
[0082] vmeas=v'M-vL，
[0083] 得到测量激光与锁相激光LL的鉴频结果为
[0084] △vM-L=v'M-vL=vmeas，
[0085] 当合光反射拍频信号SR相位滞后合光透射拍频信号ST90°时，表明v'M
[0086] vmeas=vL-v'M，
[0087] 得到测量激光与锁相激光LL的鉴频结果为
[0088] △vM-L=v'M-vL=-vmeas；
[0089] 步骤九、将测量得到的频率值△νM-L作为光频锁定信号输入数字控制器，根据激光模块输出的锁相激光LL频率与所述激光模块输出的锁相激光LL谐振腔长度的对应关系，通过温度控制模块调整激光模块谐振腔温度以实现对谐振腔长度的大范围调节，同时通过PZT驱动控制模块对谐振腔长度进行快速直接的调节，从而反馈控制锁相激光LL的频率vL使得△νM-L趋于0，当△νM-L=0时，目标端激光模块的光频锁定阶段结束，输出锁相激光LL及回传激光LB的频率锁定为入射的测量激光的频率，
[0090] 即νB=νL=v'M；
[0091] 步骤十、目标端的激光模块在光频锁定控制阶段结束后进入锁相跟踪控制阶段，首先取合光反射拍频信号SR和合光透射拍频信号ST进行反正切相位测量，得到测量激光与锁相激光LL的鉴相结果为 ；将测量得到的相位值 作为锁相闭环控制信号输入数字控制器，通过PZT驱动控制模块对激光模块的谐振腔长度进行精细快速调节，反馈控制锁相激光LL的相位 使得 趋于0，当 时，激光模块的锁相控制过程完成，输出锁相激光LL及回传激光LB的频率锁定为入射的测量激光的相位，[0092] 即
[0093] 步骤十一、当光学锁相跟踪系统失锁时，重复步骤九和步骤十，激光模块的锁相激光LL及回传激光LB即可对测量激光重新锁相跟踪；
[0094] 步骤十二、利用四分之一波片将频率和相位均锁定于测量激光的线偏振回传激光LB转化为圆偏振光，所述圆偏振光回传至测量端后再由四分之一波片将圆偏振光转化为偏振方向水平的线偏振光，受目标端相对测量端位移变化而导致多普勒频移效应的影响，回传激光LB到达测量端的频率发生变化，将回传激光测量频率表示为v'B，则根据多普勒频移的近似公式有
[0095]
[0096] 式中，u为目标端相对测量端的运动速度，λ为测量激光与回传激光LB的平均波长，
[0097] 步骤十三、将回传激光LB与参考激光合光并进行混频得到外差干涉测量的测量信号，利用高速探测器将该拍频信号转化为电信号，将拍频信号记为Smeas，拍频信号频率为参考激光LR1与回传激光LB的频率差
[0098]
[0099] 步骤十四、将外差干涉测量的参考信号Sref和测量信号Smeas分别输入相位细分模块后进行频率相减，由此得到目标端运动而产生的多普勒频移信号，对所述多普勒频移信号进行相位细分及累加计算后，由位移计算模块根据累计的相位值解算出目标端相对测量端的位移。
[0100] 开始工作时，开启处于目标端的激光模块26，经过预热过程其进入稳定工作状态。利用第三二分之一波片27和第五偏振分光棱镜28将其输出的线偏振激光分为两部分，其中透过偏振分光棱镜的水平偏振分量作为目标端的回传激光，将其记为LB，由偏振分光棱镜反射的竖直偏振分量作为锁相激光，将其记为LL，回传激光LB与锁相激光LL的频率相同，将其分别记为vB和vL。
[0101] 开启处于测量端的双纵模激光模块1，经过预热过程后由稳频控制模块2控制其进入频率稳定状态，其输出激光包含偏振态相互垂直的两个线偏振纵模成分。利用第一二分之一波片3将两个纵模激光的偏振方向分别调整为水平和竖直方向，将水平和竖直线偏振纵模激光分别记为LM和LR，其频率分别记为vM和vR，其中vM>vR。
[0102] 使用第一消偏振分光棱镜4提取双纵模激光的一部分，由第一检偏器5将两个纵模激光转化为同一偏振方向并进行光学混频得到拍频信号。由第一高速光电探测器6将该拍频信号转化为电信号，将其记为Sref，其频率为两个纵模激光的频率差vref=vM-vR。
[0103] 利用第一偏振分光棱镜7将剩余双纵模激光中的两个纵模分量进行分离。其中水平偏振激光LM透射后由第一四分之一波片8转化为圆偏振光，然后作为测量激光由测量端进行发射。竖直偏振激光LR被直接反射后射入第六偏振分光棱镜31，将其作为参考激光LR1与目标端的回传激光LB进行光学合束。
[0104] 测量激光到达目标端以后，由第二四分之一波片9将其由圆偏振光转换为偏振方向为水平的线偏振光，利用第二偏振分光棱镜10将其与第五偏振分光棱镜28反射的锁相激光LL进行光学合束。由于目标端相对测量端位移变化引入多普勒频移效应，测量激光到达目标端的频率发生变化，将其表示为v'M。此合光中包含测量激光和锁相激光LL到达高速光电探测量器时的振动方程可以分别表示为：
[0105]
[0106]
[0107] 利用第二二分之一波片11调整合光光束中测量激光与锁相激光LL的偏振方向，使得两束激光的偏振方向都与水平方向成45°夹角。利用第二消偏振分光棱镜12将合光光束分为反射和透射两部分，分别表示为LF和LT，其中反射合光光束LF经第三偏振分光棱镜13形成两路相位相差180°的拍频光信号，分别由第二高速光电探测器14和第三高速光电探测器15转化为拍频电信号。
[0108] 为消除拍频信号中随激光功率波动而引入的直流偏置，这两路拍频电信号被送入信号调理模块20并相减得到的拍频交流信号SR，其根据两入射激光的频率大小关系表示如下：
[0109] 当v'M>vL时，
[0110] 当v'M
[0111] 当v'M=vL时，
[0112] 透射合光光束LT首先经过光学相位延迟器16将测量激光分量相位延迟90°，此时合光中测量激光的振动方程变为：
[0113]
[0114] 透射合光光束LT进入第四偏振分光棱镜17形成两路相位相差180°的拍频光信号，其分别经过第四高速光电探测器18和第五高速光电探测器19转化为拍频电信号。两路拍频电信号同样传输到信号调理模块16得到拍频交流信号，该拍频交流信号记为ST，其根据两入射激光的频率大小关系表示如下：
[0115] 当v'M>vL时，
[0116] 当v'M
[0117] 当v'M=vL时，
[0118] 此后进入锁相激光LL对测量激光的光频锁定控制阶段，合光反射拍频信号SR和合光透射拍频信号ST传输到频率测量模块21，利用多周期同步测频方法测量得到两束激光的频率差为vmeas。此时，测量得到的只是测量激光与锁相激光LL频率差的绝对值，并不能确定两束激光的频率大小关系，即vmeas=|v'M-vL|。
[0119] 由上述公式，对应测量激光与锁相激光LL频率的不同大小关系，合光反射拍频信号SR和合光透射拍频信号ST的相位超前滞后状态也随之不同。因此，利用四细分辨向技术判断合光反射拍频信号SR和合光透射拍频信号ST的相位超前滞后关系就可以确定测量激光与锁相激光LL的频率v'M与vL的大小关系。
[0120] 如图2所示，若合光反射拍频信号SR的相位超前合光透射拍频信号ST90°，根据SR与ST的表达式可以判断v'M>vL，此时vmeas=v'M-vL，则最终计算得到测量激光与锁相激光LL的准确频率差△vM-L=v'M-vL=vmeas；如图3所示，若合光反射拍频信号SR的相位落后透射拍频信号ST90°，根据SR与ST的表达式可以判断v'M
[0121] 将入射与出射激光频率差值△vM-L输入数字控制器23，其由控制
算法计算得到控制量并分别传输到温度控制模块24和PZT驱动控制模块25。两者都通过调整激光模块26的谐振腔长度来实现对回传激光LB和锁相激光LL频率的控制，但具体实现方式不同。温度控制模块24根据控制量的正负和大小对激光模块26进行不同程度的加热或制冷，通过改变其谐振腔温度对谐振腔长度进行调整，这种方式响应速度虽慢但调节范围大。PZT驱动控制模块25则直接使用压电陶瓷（PZT）对激光模块26的谐振腔长度进行调整，这种方式响应速度快且调节精细，但是可调范围很小。通过温度控制模块24和PZT驱动控制模块25的配合使用，在实现了锁相激光LL对测量激光的精密频率锁定后，光频锁定控制阶段结束，此时vB=vL=v'M。
[0122] 系统随即进入锁相激光LL对测量激光的锁相跟踪控制阶段，将合光反射拍频信号SR和合光透射拍频信号ST传输到正交鉴相模块22。由v'M=vL状态的透射拍频交流信号ST除以反射拍频交流信号SR得：
[0123]
[0124]
[0125]
[0126] 由上式，对 进行反正切运算即可测得测量激光与锁相激光LL的相位差值将此相位差值 输入数字控制器23，其由控制算法计算得到控制量并传输到PZT驱动控制模块25。由PZT驱动控制模块25直接对激光模块26的谐振腔长度进行精细快速的调节，并以此对回传激光LB和锁相激光LL的相位进行精确控制，直到实现了锁相激光LL对测量激光的相位锁定跟踪，相位锁定控制过程结束，此时
[0127] 当光学锁相跟踪系统失锁时，重复光频锁定控制阶段和锁相跟踪控制阶段，即可实现目标端激光模块26输出锁相激光LL及回传激光LB对测量激光的重新锁相跟踪。
[0128] 频率和相位均锁定于测量激光的线偏振回传激光LB由第三四分之一波片29转化为圆偏振光后，从目标端向测量端回传发射。其到达测量端后由第四四分之一波片30转化为水平线偏振光。受目标端相对测量端位移变化而导致多普勒频移效应的影响，回传激光LB到达测量端的频率发生变化，将其表示为v'B。若目标端运动速度为u，激光平均波长为λ，则根据多普勒频移的近似公式有
[0129] 通过第六偏振分光棱镜31将回传激光LB与参考激光LR1进行合光，由第二检偏器32将两束激光混频得到外差干涉测量信号，利用第六高速光电探测器33将拍频信号转换为拍频电信号，将其记为Smeas。其频率vmeas为回传激光LB与参考激光LR1的频率差[0130] 将外差干涉测量的参考信号Sref和测量信号Smeas分别输入相位细分模块34进行频率相减，由此得到目标端运动而产生的多普勒频移信号。对其进行相位细分及累加计算后，由位移计算模块35根据累计的相位值解算出目标端相对测量端的位移。
[0131] 具体实施方式二：下面结合图1说明本实施方式，实现
权利要求1所述的一种基于四通道探测技术的弱光锁相星间位移测量方法的装置，其特征在于，它包括测量端和目标端，
[0132] 测量端包括双纵模激光模块1、稳频控制模块2、第一二分之一波片3、第一消偏振分光棱镜4、第一检偏器5、第一高速光电探测器6、第一偏振分光棱镜7、第一四分之一波片8、第四四分之一波片30、第六偏振分光棱镜31、第二检偏器32、第六高速光电探测器33、相位细分模块34和位移计算模块35，
[0133] 目标端包括第二四分之一波片9、第二偏振分光棱镜10、第二二分之一波片11、第二消偏振分光棱镜12、第三偏振分光棱镜13、第二高速光电探测器14、第三高速光电探测器15、光学相位延迟器16、第四偏振分光棱镜17、第四高速光电探测器18、第五高速光电探测器19、信号调理模块20、频率测量模块21、正交鉴相模块22、数字控制器23、温度控制模块24、PZT驱动控制模块25、激光模块26、第三二分之一波片27、第五偏振分光棱镜28、第三四分之一波片29，
[0134] 稳频控制模块2的输出端与双纵模激光模块1的输入端相连，第一二分之一波片3、第一消偏振分光棱镜4、第一偏振分光棱镜7、第一四分之一波片8、第二四分之一波片9、第二偏振分光棱镜10、第二二分之一波片11、第二消偏振分光棱镜12、光学相位延迟器16、第四偏振分光棱镜17和第五高速光电探测器19顺次放置在双纵模激光模块1的出射光路上，
[0135] 第一检偏器5和第一高速光电探测器6顺次放置在第一消偏振分光棱镜4的反射输出光路上，
[0136] 双纵模激光模块1出射的双纵模激光经第一二分之一波片3透射至第一消偏振分光棱镜4，第一消偏振分光棱镜4的反射光束入射至第一检偏器5，经第一检偏器5透射的光束入射至第一高速光电探测器6，第一高速光电探测器6的电信号输出端与相位细分模块34的第一输入端相连，
[0137] 第一消偏振分光棱镜4的透射光束入射至第一偏振分光棱镜7，第一偏振分光棱镜7的透射光束经第一四分之一波片8透射后作为测量激光发射至目标端，
[0138] 目标端的第二四分之一波片9接收测量激光，并透射至第二偏振分光棱镜10，激光模块26发出的线偏振激光经第三二分之一波片27透射至第五偏振分光棱镜28，第五偏振分光棱镜28反射的竖直线偏振激光作为锁相激光LL与第二偏振分光棱镜10的透射光束形成合光光束，所述合光光束经第二二分之一波片11透射至第二消偏振分光棱镜12，[0139] 经第二消偏振分光棱镜12反射的合光反射光束入射至第三偏振分光棱镜13，经第三偏振分光棱镜13反射的反射光束入射至第二高速光电探测器14，经第三偏振分光棱镜13透射的透射光束入射至第三高速光电探测器15，
[0140] 经第二消偏振分光棱镜12透射的合光透射光束入射至光学相位延迟器16，光学相位延迟器16输出的延迟光束入射至第四偏振分光棱镜17，经第四偏振分光棱镜17反射的反射光束入射至第四高速光电探测器18，经第四偏振分光棱镜17透射的透射光束入射至第五高速光电探测器19，
[0141] 第二高速光电探测器14、第三高速光电探测器15、第四高速光电探测器18和第五高速光电探测器19采集的信号分别输出给信号调理模块20的四个信号输入端，信号调理模块20的反射光束差信号输出端同时与频率测量模块21的输入端和正交鉴相模块22的输入端相连，信号调理模块20的透射光束差信号输出端同时与频率测量模块21的输入端和正交鉴相模块22的输入端相连，频率测量模块21的输出端与数字控制器23的第一输入端相连，正交鉴相模块22的输出端与数字控制器23的第二输入端相连，数字控制器23的控制温度信号输出端与温度控制模块24的输入端相连，温度控制模块24的输出端与激光模块26的第一控制端相连，数字控制器23的PZT驱动信号输出端与PZT驱动控制模块25的输入端相连，PZT驱动控制模块25的输出端与激光模块26的PZT驱动信号控制端相连，[0142] 第五偏振分光棱镜28的透射光束经第三四分之一波片29透射后作为回传激光发射回测量端，测量端的第四四分之一波片30接收回传激光，并透射至第六偏振分光棱镜31，透射至第六偏振分光棱镜31的回传激光与第一偏振分光棱镜7反射的参考激光合光后，再经第二检偏器32透射至第六高速光电探测器33，第六高速光电探测器33的电信号输出端与相位细分模块34的第二输入端相连，相位细分模块34的输出端与位移计算模块35的输出端相连。
[0143] 具体实施方式三：本实施方式对实施方式二作进一步说明，光学相位延迟器16为波片相位延迟器、反射式相位延迟镜、
液晶相位延迟器或电光
移相器。
[0144] 光学相位延迟器16仅对测量激光进行相位延迟。
[0145] 以上结合附图对本发明的具体实施方式进行了说明，但是依照法律规定这些说明不会限制本发明的权利保护范围，本发明的保护范围由随附的权利要求书限定，任何在本发明权利要求基础上进行的、该领域技术人员能够根据已有知识做出的改动都在本发明的保护范围内。
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