一种交联纳米颗粒薄膜及制备方法与薄膜光电子器件
阅读：199发布：2020-05-08
专利汇可以提供一种交联纳米颗粒薄膜及制备方法与薄膜光电子器件专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开一种交联纳米颗粒 薄膜 及制备方法与薄膜光 电子 器件，其中，包括：将纳米颗粒分散在 溶剂 中，并搅拌均匀，得到纳米颗粒溶液；通过溶液法将纳米颗粒溶液制成纳米颗粒薄膜，并通入组合气体，促使交联反应发生，得到交联纳米颗粒薄膜。本发明采用在纳米颗粒成膜时，通入组合气体，促使颗粒之间相互交联，由此增加颗粒之间的电学耦合，降低载流子传输的势垒，增加载流子迁移率，从而大幅度提升电学性能。，下面是一种交联纳米颗粒薄膜及制备方法与薄膜光电子器件专利的具体信息内容。
1.一种交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其特征在于，包括：
步骤A、将纳米颗粒分散在溶剂中，并搅拌均匀，得到纳米颗粒溶液；
步骤B、通过溶液法将纳米颗粒溶液制成纳米颗粒薄膜，并通入组合气体，促使交联反应发生，得到交联纳米颗粒薄膜；
所述组合气体包括还原性气体、氧气、水汽和二氧化碳；
所述还原性气体为一氧化碳、氢气和氨气中的一种。
2.根据权利要求1所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其特征在于，还原性气体偏压
4 3
控制在1～100Pa之间，氧气偏压控制在0～2×10 Pa之间，水汽偏压控制在0～2×10Pa之间，二氧化碳偏压控制在0～100Pa之间。
3.根据权利要求1所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤A中，所述纳米颗粒溶液的质量浓度为1～100mg/ml。
4.根据权利要求1所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其特征在于，所述纳米颗粒为氧化物纳米颗粒、硫化物纳米颗粒、硒化物纳米颗粒、氮化物纳米颗粒、氟化物纳米颗粒中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其特征在于，所述纳米颗粒的平均直径控制在5nm以内。
6.根据权利要求1所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其特征在于，所述溶剂为醇类溶剂。
7.根据权利要求1所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤B具体包括：
步骤B1、首先将纳米颗粒溶液置于密闭的环境中，通过溶液法将纳米颗粒溶液制成纳米颗粒薄膜；
步骤B2、然后往密闭的环境中通入组合气体，促使交联反应发生，得到交联纳米颗粒薄膜。
8.根据权利要求1所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤B具体包括：
步骤B1’、首先将纳米颗粒溶液置于惰性气体环境中，通过溶液法将纳米颗粒溶液制成纳米颗粒薄膜；
步骤B2’、然后将纳米颗粒薄膜置于密闭的环境中，往密闭的环境中通入组合气体，促使交联反应发生，得到交联纳米颗粒薄膜。
9.根据权利要求1所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤B中，所述交联纳米颗粒薄膜的厚度为15～60nm。
10.一种交联纳米颗粒薄膜，其特征在于，采用如权利要求1～9任一项所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法制备而成。
11.一种薄膜光电子器件，其特征在于，包括如权利要求10所述的交联纳米颗粒薄膜。
12.根据权利要求11所述的薄膜光电子器件，其特征在于，所述薄膜光电子器件为电致发光器件、薄膜光伏、薄膜光探测器、薄膜晶体管中的任意一种。
一种交联纳米颗粒薄膜及制备方法与薄膜光电子器件
技术领域
背景技术
[0002] 氧化物纳米颗粒（或球形氧化物纳米晶）具有良好的结晶程度，这保证了其与体材料（低维材料）相似的光学、电学性质；另一方面，由于纳米颗粒自组装成膜的效果很好，使低成本的涂布制备工艺可以被应用。溶液法制备的光电子器件的过程中，纳米颗粒是形成相应氧化物薄膜的重要解决方案之一。常见的例子包括氧化锌（ZnOx）纳米颗粒，氧化钛（TiOx）颗粒的薄膜在发光二极管、薄膜太阳能电池、薄膜晶体管中作为传输电子的半导体材料；氧化镍（NiOx）在同样器件中作为传输空穴的半导体材料。
[0003] 尽管如此，纳米颗粒之间相互堆积形成的薄膜与体材料薄膜仍然存在区别，这主要体现在载流子的传输特性上。虽然纳米颗粒内部具有良好的结晶性，但这样的结构只局限在纳米级别的范围内，即便在密排的情况下，纳米颗粒之间往往是由绝缘的表面配体填充甚至没有任何物质填充。如此，纳米颗粒之间存在相当高的载流子传输势垒，载流子在纳米颗粒薄膜内部的传输只能遵循跳跃式传输的规律，这导致材料在薄膜尺度下表现出的载流子迁移率远小于相应的体材料薄膜。
[0004] 因此，现有技术还有待于改进和发展。
发明内容
[0005] 鉴于上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种交联纳米颗粒薄膜及制备方法与薄膜光电子器件，旨在解决现有器件薄膜的载流子传输势垒较高，载流子迁移率较低的问题。
[0006] 本发明的技术方案如下：
[0007] 一种交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其中，包括：
[0008] 步骤A、将纳米颗粒分散在溶剂中，并搅拌均匀，得到纳米颗粒溶液；
[0009] 步骤B、通过溶液法将纳米颗粒溶液制成纳米颗粒薄膜，并通入组合气体，促使交联反应发生，得到交联纳米颗粒薄膜。
[0011] 所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其中，还原性气体偏压控制在1 100Pa之~间，氧气偏压控制在0 2×104Pa之间，水汽偏压控制在0 2×103Pa之间，二氧化碳偏压控制~ ~
在0 100Pa之间。
~
在0 100Pa之间。
~
[0012] 所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其中，所述步骤A中，所述纳米颗粒溶液的质量浓度为1 100mg/ml。~
[0013] 所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其中，所述纳米颗粒为氧化物纳米颗粒、硫化物纳米颗粒、硒化物纳米颗粒、氮化物纳米颗粒、氟化物纳米颗粒中的一种或多种。
[0014] 所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其中，所述纳米颗粒的平均直径控制在5nm以内。
[0015] 所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其中，所述溶剂为醇类溶剂。
[0016] 所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其中，所述步骤B具体包括：
[0017] 步骤B1、首先将纳米颗粒溶液置于密闭的环境中，通过溶液法将纳米颗粒溶液制成纳米颗粒薄膜；
[0018] 步骤B2、然后往密闭的环境中通入组合气体，促使交联反应发生，得到交联纳米颗粒薄膜。
[0019] 所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其中，所述步骤B具体包括：
[0020] 步骤B1’、首先将纳米颗粒溶液置于惰性气体环境中，通过溶液法将纳米颗粒溶液制成纳米颗粒薄膜；
[0021] 步骤B2’、然后将纳米颗粒薄膜置于密闭的环境中，往密闭的环境中通入组合气体，促使交联反应发生，得到交联纳米颗粒薄膜。
[0023] 所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法，其中，所述步骤B中，所述交联纳米颗粒薄膜的厚度为15 60nm。~
[0024] 一种交联纳米颗粒薄膜，其中，采用如上任一项所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法制备而成。
[0025] 一种薄膜光电子器件，其中，包括如上所述的交联纳米颗粒薄膜。
[0026] 所述的薄膜光电子器件，其中，所述薄膜光电子器件为电致发光器件、薄膜光伏、薄膜光探测器、薄膜晶体管中的任意一种。
[0027] 有益效果：本发明在纳米颗粒成膜时使颗粒之间相互交联，以增加颗粒之间的电学耦合，降低载流子传输的势垒，增加载流子迁移率，从而大幅度提升电学性能，这样制备出的纳米颗粒薄膜可以显著提升薄膜光电子器件的性能。附图说明
[0028] 图1为现有未交联氧化锌纳米颗粒薄膜的结构示意图。
[0029] 图2为本发明方法制备的交联氧化锌纳米颗粒薄膜的结构示意图。
具体实施方式
[0031] 本发明提供一种交联纳米颗粒薄膜及制备方法与薄膜光电子器件，为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0032] 本发明的一种交联纳米颗粒薄膜的制备方法较佳实施例，其中，包括：
[0033] 步骤A、将纳米颗粒分散在溶剂中，并搅拌均匀，得到纳米颗粒溶液；
[0034] 所述步骤A具体为，按质量浓度为1 100mg/ml的配比，将纳米颗粒分散在溶剂中，~并搅拌至混合均匀，配制得到可供溶液法成膜使用的纳米颗粒溶液。其中，所述纳米颗粒可以为宽带隙的氧化物纳米颗粒、硫化物纳米颗粒、硒化物纳米颗粒、氮化物纳米颗粒、氟化物纳米颗粒中的一种或多种，所述氧化物纳米颗粒可以为但不限于ZnOx（如ZnO）、TiOx（如TiO2）等中的一种；所述硫化物纳米颗粒可以为但不限于硫化锌、硫化钼中的一种；所述硒化物纳米颗粒可以为但不限于硒化锌、硒化铅中的一种；所述氮化物纳米颗粒可以为但不限于氮化硅、氮化铝中的一种；所述氟化物纳米颗粒可以为但不限于氟化镧、氟化钠中的一种。本发明控制纳米颗粒的尺寸，较佳地将球状纳米颗粒的平均直径控制在5nm以内，以保证有足量表面态金属原子可以参与反应。所述溶剂可以为醇类溶剂，如甲醇、乙醇等。
[0036] 具体地，所述组合气体包括还原性气体、氧气、水汽和二氧化碳。较佳地，还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在0 2×104Pa之~ ~间，水汽偏压控制在0 2×103Pa之间、二氧化碳偏压控制在0 100Pa之间。本发明控制与膜~ ~
接触的组合气体，较佳地将与膜接触的组合气体控制在上述偏压范围内，这是因为在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子电子迁移率也会较高。
接触的组合气体，较佳地将与膜接触的组合气体控制在上述偏压范围内，这是因为在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子电子迁移率也会较高。
[0037] 下面对上述各类型纳米颗粒发生交联反应的条件进行详细说明。
[0038] 1、氧化物纳米颗粒
[0039] 纳米颗粒为氧化锌纳米颗粒时，将还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在0 1×103Pa之间，水汽偏压控制在0 1×103Pa之间、二~ ~ ~氧化碳偏压控制在0 100Pa之间。在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子~
电子迁移率也会较高。
电子迁移率也会较高。
[0040] 纳米颗粒为氧化钛纳米颗粒时，将还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在0 1×104Pa之间，水汽偏压控制在0 2×103Pa之间、二~ ~ ~氧化碳偏压控制在0 100Pa之间。在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子~
电子迁移率也会较高。
电子迁移率也会较高。
[0041] 纳米颗粒为氧化镍纳米颗粒时，将还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在0 5×103Pa之间，水汽偏压控制在0 2×103Pa之间、二~ ~ ~氧化碳偏压控制在0 100Pa之间。在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子~
电子迁移率也会较高。
电子迁移率也会较高。
[0042] 2、硫化物纳米颗粒
[0043] 纳米颗粒为硫化锌纳米颗粒时，将还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压3
控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在小于0.1Pa，水汽偏压控制在0 2×10Pa之间、二氧化~ ~
碳偏压控制在0 100Pa之间。在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子电子~
迁移率也会较高。
控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在小于0.1Pa，水汽偏压控制在0 2×10Pa之间、二氧化~ ~
碳偏压控制在0 100Pa之间。在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子电子~
迁移率也会较高。
[0044] 纳米颗粒为硫化钼纳米颗粒时，将还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压3
控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在小于0.1Pa，水汽偏压控制在0 2×10Pa之间、二氧化~ ~
碳偏压控制在0 100Pa之间。在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子电子~
迁移率也会较高。
控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在小于0.1Pa，水汽偏压控制在0 2×10Pa之间、二氧化~ ~
碳偏压控制在0 100Pa之间。在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子电子~
迁移率也会较高。
[0045] 3、硒化物纳米颗粒
[0046] 纳米颗粒为硒化锌纳米颗粒时，将还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在小于0.1Pa，水汽偏压控制在0 1×102Pa之间、二氧化~ ~碳偏压控制在0 10Pa之间。在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子电子~
迁移率也会较高。
迁移率也会较高。
[0047] 纳米颗粒为硒化铅纳米颗粒时，将还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在小于0.1Pa，水汽偏压控制在小于0.1Pa、二氧化碳偏~压控制在0 100Pa之间。在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子电子迁移~
率也会较高。
率也会较高。
[0048] 4、氮化物纳米颗粒
[0049] 纳米颗粒为氮化硅纳米颗粒时，将还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压3
控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在0.1 1Pa，水汽偏压控制在0 2×10Pa之间、二氧化碳~ ~ ~
偏压控制在0 100Pa之间。此外，氮气保持在1×105Pa左右。在该偏压范围内制成的薄膜致~
密度会较高，薄膜中载流子电子迁移率也会较高。
控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在0.1 1Pa，水汽偏压控制在0 2×10Pa之间、二氧化碳~ ~ ~
偏压控制在0 100Pa之间。此外，氮气保持在1×105Pa左右。在该偏压范围内制成的薄膜致~
密度会较高，薄膜中载流子电子迁移率也会较高。
[0050] 纳米颗粒为氮化铝纳米颗粒时，将还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压3
控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在小于0.1Pa，水汽偏压控制在0 2×10Pa之间、二氧化~ ~
碳偏压控制在10 100Pa之间。此外，氮气保持在1×105Pa左右。在该偏压范围内制成的薄膜~
致密度会较高，薄膜中载流子电子迁移率也会较高。
控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在小于0.1Pa，水汽偏压控制在0 2×10Pa之间、二氧化~ ~
碳偏压控制在10 100Pa之间。此外，氮气保持在1×105Pa左右。在该偏压范围内制成的薄膜~
致密度会较高，薄膜中载流子电子迁移率也会较高。
[0051] 5、氟化物纳米颗粒
[0052] 纳米颗粒为氟化镧纳米颗粒时，将还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在小于0.1Pa，水汽偏压控制在0 1×102Pa之间、二氧化~ ~碳偏压控制在0 10Pa之间。在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子电子~
迁移率也会较高。
迁移率也会较高。
[0053] 纳米颗粒为氟化钠纳米颗粒时，将还原性气体（如一氧化碳、氢气或氨气等）偏压控制在1 100Pa之间，氧气偏压控制在小于0.1Pa，水汽偏压控制在0 2×103Pa之间、二氧化~ ~碳偏压控制在10 100Pa之间。在该偏压范围内制成的薄膜致密度会较高，薄膜中载流子电~
子迁移率也会较高。
子迁移率也会较高。
[0054] 本发明使纳米颗粒在成膜时相互交联，交联是指纳米颗粒之间有物质填充并通过化学键使纳米颗粒连接。相对应地，未交联的纳米颗粒之间没有通过化学键作用连接的物质。本发明通过上述交联方法，可提高相应薄膜的致密度和载流子迁移率。
[0055] 本发明可在非真空条件下将纳米颗粒溶液直接制成纳米颗粒薄膜，具体地，所述步骤B具体包括：
[0056] 步骤B1、首先将纳米颗粒溶液置于密闭的环境中，通过溶液法将纳米颗粒溶液制成纳米颗粒薄膜；
[0057] 步骤B2、然后往密闭的环境中通入组合气体，促使交联反应发生，得到交联纳米颗粒薄膜。
[0058] 上述步骤即为，在密闭的非真空条件下将纳米颗粒溶液制成纳米颗粒薄膜，然后往该密闭的环境中通入上述组合气体，促使交联反应发生，得到交联纳米颗粒薄膜。
[0059] 本发明不限于上述气体环境下制成交联纳米颗粒薄膜，还可先在惰性气体条件下制成纳米颗粒薄膜后，将得到的纳米颗粒薄膜置于密闭的环境中，然后通入组合气体促使交联反应发生，得到交联纳米颗粒薄膜。具体地，所述步骤B具体包括：
[0060] 步骤B1’、首先将纳米颗粒溶液置于惰性气体环境中，通过溶液法将纳米颗粒溶液制成纳米颗粒薄膜；
[0061] 步骤B2’、然后将纳米颗粒薄膜置于密闭的环境中，往密闭的环境中通入组合气体，促使交联反应发生，得到交联纳米颗粒薄膜。
[0062] 本发明上述交联反应结束后，还对交联纳米颗粒薄膜进行干燥处理，最终得到厚度为15 60nm的交联纳米颗粒薄膜。其中干燥温度高于纳米颗粒溶液中溶剂的沸点；根据膜~厚，干燥时间大于15分钟之每50纳米。
[0063] 本发明还提供一种交联纳米颗粒薄膜，其中，采用如上任一项所述的交联纳米颗粒薄膜的制备方法制备而成。
[0064] 通常的纳米颗粒薄膜由相互不交联的纳米颗粒自组装而成，本发明采用在纳米颗粒成膜时，通入组合气体，促使颗粒之间相互交联，由此增加颗粒之间的电学耦合，降低载流子传输的势垒，增加载流子迁移率，从而大幅度提升电学性能。将如此获得的交联纳米颗粒薄膜应用在诸如溶液法制备的发光二极管、薄膜太阳能电池、光探测器、薄膜晶体管中，可显著提升上述器件的性能。
[0065] 下面以氧化锌纳米颗粒为例，对现有未交联氧化锌纳米颗粒薄膜和通过本发明方法制备的交联氧化锌纳米颗粒薄膜的性能进行测试。结合图1-3，图1为现有未交联氧化锌纳米颗粒薄膜的结构示意图，图2为本发明方法制备的交联氧化锌纳米颗粒薄膜的结构示意图，图3为不同薄膜对ITO/NPB/MoOx/Al器件的电流-电压曲线示意图。从图1可以看出，未交联的纳米颗粒1之间没有通过化学键作用连接的物质；从图2可以看出，纳米颗粒2之间有物质3填充并通过化学键使纳米颗粒2连接。由于加入的氧化锌对ITO/NPB/MoOx/Al这个结构的电流有非常有效的抑制作用，可以通过观察电流是否增加的方式判断ZnO纳米颗粒薄膜有没有在浸泡过程中脱离。从图3可以看出，交联ZnO纳米颗粒薄膜不论是否经过醇类溶剂（如乙醇）浸泡，电流都保持在较低数值，这说明交联ZnO纳米颗粒薄膜没有在浸泡过程中脱离，使得ZnO对ITO/NPB/MoOx/Al这个结构的电流起到了明显的抑制作用；而未交联的ZnO纳米颗粒薄膜经过醇类溶剂（如乙醇）浸泡后，电流显著升高，这说明未交联的ZnO纳米颗粒薄膜在浸泡过程中脱落了，使响应器件的电流显著升高，并非常接近不添加ZnO纳米颗粒薄膜的器件。因此，氧化锌纳米颗粒交联后得到的交联氧化锌纳米颗粒薄膜在原溶剂（指分散氧化锌纳米颗粒时采用的溶剂，通常是醇类溶剂）中浸泡后没有明显溶解或物质脱离；相反，未经交联的纳米颗粒薄膜经过浸泡后很容易脱落。
[0066] 本发明还提供一种薄膜光电子器件，其中，包括如上所述的交联纳米颗粒薄膜。具体地，所述薄膜光电子器件为电致发光器件、薄膜光伏、薄膜光探测器、薄膜晶体管中的任意一种。
[0067] 本发明使纳米颗粒交联可以增加薄膜的致密度并增加载流子在薄膜内的迁移率。将交联的纳米颗粒薄膜应用在溶液法制备的电致发光器件中作为电子传输层可以改善载流子平衡，提高发光效率和器件寿命；将其应用在溶液法制备的薄膜光伏中作为电子传输层可以显著降低器件的线性电阻、提高并联电阻，提高器件的能量转换效率；将其应用在溶液法制备的薄膜光探测器中作为电子抽取层和空穴阻挡层可以降低电流，提高探测率；将其应用在溶液法制备的薄膜晶体管中可以提高半导体层的载流子迁移率，增加源极-漏极电流，提高响应频率。
[0068] 综上所述，本发明提供的一种交联纳米颗粒薄膜及制备方法与薄膜光电子器件，本发明采用在纳米颗粒成膜时，通入组合气体，促使颗粒之间相互交联，由此增加颗粒之间的电学耦合，降低载流子传输的势垒，增加载流子迁移率，从而大幅度提升电学性能。将如此获得的交联纳米颗粒薄膜应用在溶液法制备的薄膜光电子器件中，可以显著提高器件的性能。
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