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门 阀装置及 真空 镀膜设备

阅读：107发布：2020-05-08

专利汇可以提供门阀装置及真空镀膜设备专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及门阀技术领域，尤其涉及一种门阀装置及真空镀膜设备。该门阀装置包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部，所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所述滑动螺母分别与两个所述螺纹部对应螺纹配合，两个所述滑动螺母与两个所述连杆的一端对应铰接，两个所述连杆的另一端分别与所述阀板铰接。本实用新型所述的门阀装置，不仅能够有效减小阀板在上下升降过程中的冲力，使得阀板的运动更加容易控制，而且使得门阀装置的整体体积较小，方便拆装维护。，下面是门阀装置及真空镀膜设备专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种门阀装置，其特征在于：包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部；所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所述滑动螺母分别与两个所述螺纹部对应螺纹配合，两个所述滑动螺母与两个所述连杆的一端对应铰接，两个所述连杆的另一端分别与所述阀板铰接。
2.根据权利要求1所述的门阀装置，其特征在于：所述阀体包括壳体，所述壳体沿所述阀板的运动方向延伸设置；所述壳体中设有卡槽，所述卡槽的形状与所述阀板相匹配，所述卡槽设置在所述壳体靠近所述阀板的一侧；所述壳体上设有阀口，所述阀口贯穿所述壳体并与所述卡槽贯通。
3.根据权利要求2所述的门阀装置，其特征在于：所述阀板上对应所述阀口的侧面设有密封件，所述密封件在所述阀板上的投影包围所述阀口在所述阀板上的投影。
4.根据权利要求2所述的门阀装置，其特征在于：还包括驱动机构，所述驱动机构设置于所述壳体外部，所述驱动机构与所述双向丝杠驱动连接。
5.根据权利要求4所述的门阀装置，其特征在于：所述驱动机构包括驱动电机和联轴器，所述驱动电机的动力输出端与所述联轴器的一端连接，所述联轴器的另一端与所述双向丝杠的一端连接。
6.根据权利要求4所述的门阀装置，其特征在于：所述驱动机构通过支架与所述壳体安装固定。
7.根据权利要求2所述的门阀装置，其特征在于：所述双向丝杠的两端分别通过轴承安装在所述壳体上。
8.根据权利要求2所述的门阀装置，其特征在于：还包括导向机构，所述导向机构包括导向槽以及与所述导向槽滑动配合的导向滑块，所述导向槽设置在所述壳体上并沿所述阀板的运动方向延伸设置，所述导向滑块与所述阀板相连。
9.根据权利要求2所述的门阀装置，其特征在于：所述阀板的纵截面为梯形结构，所述卡槽的纵截面为与所述阀板相适配的梯形结构。
10.一种真空镀膜设备，其特征在于：包括真空腔室和门阀装置，所述门阀装置如权利要求1-9任一项所述；
所述门阀装置的阀体用于将所述真空腔室分割为多个空间；或，
所述门阀装置设置于所述真空腔室的开口处。

说明书全文

门 阀装置及 真空 镀膜设备

技术领域

[0001] 本实用新型涉及门阀技术领域，尤其涉及一种门阀装置及真空镀膜设备。

背景技术

[0002] 在真空镀膜设备中，需要采用门阀装置来对真空腔室进行密封。现有的门阀装置，通常采用气缸来直接驱动阀板作直线往复运动，进而实现对门阀的开闭操作。

[0003] 现有的门阀装置，在进行门阀的开闭操作时，由于气缸运动具有较强冲击，因此导致气缸驱动阀板时，难以精确的控制阀板运动位置，进而影响门阀装置的工作稳定性和密封效果。

[0004] 此外，气缸安装在真空腔室中，需要足够大的空间用于容纳气缸的尺寸以及气缸运动行程。因此不适用于腔室内部空间狭小的真空镀膜设备。实用新型内容

[0005] (一)要解决的技术问题

[0006] 本实用新型的目的是提供一种门阀装置及真空镀膜设备，解决现有门阀装置采用气动驱动时冲击较强，难以进行有效控制的问题。

[0007] (二)技术方案

[0008] 第一方面，本实用新型提供了一种门阀装置，包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部；所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所述滑动螺母分别与两个所述螺纹部对应螺纹配合，两个所述滑动螺母与两个所述连杆的一端对应铰接，两个所述连杆的另一端分别与所述阀板铰接。

[0009] 通过双向丝杠的转动能够带动两个滑动螺母进行相对或相向运动，两个滑动螺母的相对或相向运动能够带动两个连杆进行转动，从而带动阀板在阀体中进行上下升降运动，进而实现门阀装置的开闭操作。

[0010] 进一步地，所述阀体包括壳体，所述壳体沿所述阀板的运动方向延伸设置；所述壳体中设有卡槽，所述卡槽的形状与所述阀板相匹配，所述卡槽设置在所述壳体靠近所述阀板的一侧；所述壳体上设有阀口，所述阀口贯穿所述壳体并与所述卡槽贯通。

[0011] 所述阀板向上运动时，所述阀板能够卡装在所述卡槽中，从而使所述阀口关闭，实现所述阀板与所述阀体之间的闭合密封。所述阀板向下运动时，能够使所述阀板从所述卡槽中脱离，从而使所述阀口打开，实现所述阀板与所述阀体之间的开启。

[0012] 具体地，所述阀板上对应所述阀口的侧面设有密封件，所述密封件在所述阀板上的投影包围所述阀口在所述阀板上的投影。

[0013] 当所述门阀装置关闭时，所述阀板卡装在所述卡槽中，通过在所述阀板上设置密封件，能够对所述阀口进行有效密封，增强所述阀板与所述阀体之间闭合时的密封性。

[0014] 进一步地，还包括驱动机构，所述驱动机构设置于所述壳体外部，所述驱动机构与所述双向丝杠驱动连接。

[0015] 将所述驱动机构设置于所述阀板的壳体外部，能够避免驱动机构占用所述阀板的内部空间，有效节省空间。

[0016] 具体地，所述驱动机构包括驱动电机和联轴器，所述驱动电机的动力输出端与所述联轴器的一端连接，所述联轴器的另一端与所述双向丝杠的一端连接。

[0017] 所述驱动电机能够通过所述联轴器带动所述双向丝杠转动，进而带动所述阀板进行上下升降运动，实现对门阀装置的开闭操作。

[0018] 具体地，所述驱动机构通过支架与所述壳体安装固定，所述支架包括电机连接部和壳体连接部，所述电机连接部通过第一连接件与所述驱动电机相连，所述壳体连接部的一端与所述电机连接部相连，所述壳体连接部的另一端设有连接耳，所述连接耳通过第二连接件与所述壳体相连。

[0019] 通过设置所述支架能够将所述驱动机构安装固定在所述壳体的外侧壁上，进而有效节省所述阀板的内部空间。

[0020] 具体地，所述双向丝杠的两端分别通过轴承安装在所述壳体上。

[0021] 通过在所述双向丝杠的两端分别设置所述轴承，能够实现所述双向丝杠在所述壳体上的安装，从而保证所述驱动机构能够带动所述双向丝杠转动。

[0022] 进一步地，还包括导向机构，所述导向机构包括导向槽以及与所述导向槽滑动配合的导向滑块，所述导向槽设置在所述壳体上并沿所述阀板的运动方向延伸设置，所述导向滑块与所述阀板相连。

[0023] 当所述阀板进行上下升降运动时，所述阀板能够带动所述导向滑块在所述导向槽中进行上下滑动，从而对所述阀板起到导向作用，进而保证所述阀板运动的稳定性。

[0024] 进一步地，所述阀板的纵截面为梯形结构，所述卡槽的纵截面为与所述阀板相适配的梯形结构。

[0025] 当所述阀板向上运动时，所述阀板逐渐卡装在所述卡槽中，由于所述阀板和所述卡槽均采用梯形结构，在此过程中，所述阀板与所述卡槽内壁之间的间隙越来越小，从而使所述阀板上密封件所受的压力越来越大，进而能够有效增强所述阀板与所述阀体之间的闭合密封性。

[0026] 本实用新型提供了一种真空镀膜设备，包括真空腔室和门阀装置，所述门阀装置如第一方面所述；

[0027] 所述门阀装置的阀体用于将所述真空腔室分割为多个空间；或，

[0028] 所述门阀装置设置于所述真空腔室的开口处。

[0029] 当所述门阀装置设置于所述真空腔室中用于将所述真空腔室分割为多个空间时，通过控制所述门阀装置的开闭操作，能够实现各个空间的相互贯通或相互封闭。

[0030] 当所述门阀装置设置于所述真空腔室的开口处时，能够实现对该真空腔室开口的开启或封闭操作。

[0031] (三)有益效果

[0032] 本实用新型的上述技术方案具有如下优点：

[0033] 本实用新型提供的门阀装置，通过设置传动机构来将动力传递至阀板，从而实现阀板的上下升降运动，进而实现门阀装置的开闭操作，从而有效减小了阀板在上下升降过程中的冲力，使得阀板的运动更加容易控制，而且使得门阀装置的整体体积较小，方便拆装维护。附图说明

[0034] 图1是本实用新型实施例门阀装置的开启状态示意图；

[0035] 图2是本实用新型实施例门阀装置的闭合状态示意图；

[0036] 图3是本实用新型实施例门阀装置的阀板与卡槽卡装配合结构图。

[0037] 图中：1：阀板；2：双向丝杠；201：螺纹部；3：滑动螺母；4：连杆；5：阀体；501：壳体；503：卡槽；504：阀口；6：驱动机构； 601：驱动电机；602：联轴器；7：支架；701：电机连接部；
702：壳体连接部；703：连接耳；8：轴承；9：密封件；10：导向槽；11：导向滑块；12：第一连接件；13：第二连接件。

具体实施方式

[0038] 为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

[0039] 如图1-3所示，本申请提供一种门阀装置，包括阀体5、传动机构和阀板1，传动机构和阀板1分别设置于阀体的内部。

[0040] 其中，传动机构包括双向丝杠2、两个滑动螺母3和两个连杆4，其中双向丝杠2沿水平向设置，双向丝杠2包括两个旋向相反的螺纹部201，两个滑动螺母3分别与两个螺纹部201对应螺纹配合。两个滑动螺母3与两个连杆4的一端对应铰接，两个连杆4的另一端分别与阀板1铰接。

[0041] 在工作时，通过双向丝杠2的转动能够带动两个滑动螺母3进行相对或相向运动，两个滑动螺母3的相对或相向运动又能够带动两个连杆4进行相对或相向转动，从而带动阀板1在阀体5中进行上下升降运动，进而实现门阀装置的开闭操作。

[0042] 本申请所述的门阀装置，通过传动机构能够将水平向的动力转换为竖直向的动力，从而带动阀板1进行上下升降运动，这种结构设置方式，不仅能够有效减小阀板在上下升降过程中的冲力，使得阀板1 的运动更加容易控制，而且使得门阀装置的整体体积较小，方便拆装维护。

[0043] 在本申请的进一步实施例中，阀体5包括壳体501，壳体501沿阀板1的运动方向延伸设置。壳体5中设有卡槽503，卡槽503的形状与阀板1相匹配，卡槽503设置在壳体501靠近阀板1的一侧。壳体501 上设有阀口504，阀口504贯穿壳体501并与卡槽503贯通。

[0044] 当阀板1向上运动直至连杆4呈竖直状态时，阀板1能够正好卡装在卡槽503中，从而使阀口504关闭，实现阀板1与阀体5之间的闭合密封，此时门阀装置呈关闭状态。

[0045] 当阀板1向下运动直至连杆4呈水平状态时，能够使阀板1从卡槽503中脱离，从而使阀口504打开，实现阀板1与阀体5之间的开启，此时门阀装置呈打开状态。

[0046] 在本申请的具体实施例中，阀板1的纵截面为上小下大的梯形结构，卡槽503采用与阀板1相适配的梯形结构，如图3所示。阀板1 与卡槽503的这种结构设置，能够使阀板1与卡槽503进行卡装时，保证阀板1与阀体5之间的闭合密封性。

[0047] 在本申请的具体实施例中，阀板1上对应阀口504的侧面设有密封件9。

[0048] 当阀板1向上运动时，阀板1逐渐卡装在卡槽503中，由于阀板1 和卡槽503均采用梯形结构，在此过程中，阀板1与卡槽503内壁之间的间隙越来越小，从而对阀板1上的密封圈9压力越来越大，进而通过密封圈9来实现对阀口504的有效闭合，增强阀板1与阀体5之间闭合时的密封性。

[0049] 在本申请的进一步实施例中，所述的门阀装置还包括驱动机构6，驱动机构6设置于壳体501外部，驱动机构6与双向丝杠2驱动连接。也即，通过驱动机构6能够带动双向丝杠2进行转动，进而带动阀板1 进行升降运动。

[0050] 将驱动机构6设置于壳体501外部，能够避免驱动机构6占用壳体501的内部空间，进而有效节省阀体5的内部可利用空间。

[0051] 在本申请的具体实施例中，驱动机构6包括驱动电机601和联轴器602，驱动电机601的动力输出端与联轴器602的一端连接，双向丝杠2的一端穿过壳体501与联轴器602的另一端连接。

[0052] 驱动电机601的动力输出端能够带动联轴器602转动，再通过联轴器602的转动带动双向丝杠2转动，进而实现对阀板1升降驱动，实现对门阀装置的开闭操作。

[0053] 在本申请的具体实施例中，驱动机构6通过支架7与壳体501安装固定。其中，支架7包括电机连接部701和壳体连接部702，电机连接部701通过第一连接件与驱动电机601相连，壳体连接部702的一端与电机连接部701相连，壳体连接部702的另一端设有连接耳703，连接耳703通过第二连接件与壳体501相连。

[0054] 通过设置支架7能够将驱动机构6安装固定在壳体501的外侧壁上，实现驱动机构6与阀板1之间的安装配合，不仅保证了驱动机构6 的工作性能，而且有效节省了阀体5的内部空间。

[0055] 在本申请的具体实施例中，双向丝杠2的两端分别通过轴承8安装在壳体501上。

[0056] 通过在双向丝杠2的两端分别设置轴承8，能够实现对双向丝杠2 支撑安装，从而确保驱动机构6能够带动双向丝杠2转动。

[0057] 在本申请的进一步实施例中，所述的门阀装置还包括导向机构，通过设置导向机构，用于对阀板1的上下升降运动起到导向作用。

[0058] 具体来说，导向机构包括导向槽10以及与导向槽10滑动配合的导向滑块11，导向槽10设置在壳体501上并沿阀板1的运动方向延伸设置，导向滑块11与阀板1相连。

[0059] 当阀板1进行上下升降运动时，阀板1能够带动导向滑块11在导向槽10中进行上下滑动，从而对阀板1起到导向作用，进而保证阀板 1运动的稳定性。

[0060] 此外，导向机构还可以采用导向柱与导向环的配合结构，其中导向柱沿沿阀板1的运动方向延伸设置，导向环套设在导向柱上，且导向环能够沿导向柱进行上下滑动，导向环与阀板1相连。

[0061] 也即，导向机构的结构形式可以根据实际使用需求而设定，只要能够对阀板1的上下运动起到导向作用即可。

[0062] 在本申请的进一步实施例中，两个滑动螺母3分别与两个第一连接件12的一端固定连接，两个第一连接件12的另一端分别与两个连杆4的一端对应转动连接。两个连杆4的另一端分别与两个第二连接件13的一端对应转动连接，两个第二连接件13的另一端分别与阀板1 固定连接。

[0063] 通过设置第一连接件12能够实现滑动螺母3与连杆4之间的铰接，通过设置第二连接件13能够实现连杆4与阀板1之间的铰接，从而使得双向丝杠2转动时，能够带动两个滑动螺母3进行相对或相向运动，进而带动两个连杆4进行相对或相向转动，进而带动阀板1进行上下升降运动，实现门阀装置的开闭操作。

[0064] 本申请还提供了一种真空镀膜设备，包括真空腔室和门阀装置，门阀装置采用上述实施例的门阀装置。

[0065] 在一种具体实施例中，可以在真空腔室内部设有一个或多个门阀装置，用于将真空腔室分割为多个相互独立的空间。通过控制各门阀装置的开闭操作，能够实现各个独立空间的相互贯通或相互封闭。

[0066] 在另一种具体实施例中，可以将门阀装置设置于真空腔室的开口处。通过控制门阀装置的开闭操作，能够实现对该真空腔室开口的开启或封闭操作。

[0067] 综上所述，本实用新型实施例所述的门阀装置，不仅能够有效减小阀板在上下升降过程中的冲力，使得阀板的运动更加容易控制，而且使得门阀装置的整体体积较小，方便拆装维护。

[0068] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

[0069] 在本实用新型的描述中，除非另有说明，“若干”的含义是一个或多个；“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

[0070] 最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：
其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

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