真空镀膜设备的传输装置
阅读：1041发布：2020-09-26
专利汇可以提供真空镀膜设备的传输装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种 真空 镀 膜 设备的传输装置，包括：动 力 源、传输载体和传动装置，其中传动装置包括主动轮、两个张紧轮和开环的 钢 带，主动轮与动力源相连接，两张紧轮设置在主动轮的两侧， 钢带 绕过两张紧轮和主动轮，其两端与传输载体相连接。本实用新型采用具有高强度、重量轻、耐磨、耐 腐蚀 、传动过程中几乎无伸长等优点的钢带作为传输带，使传输装置传动 精度 高、 稳定性 好，能够满足该类设备的高温高真空环境的使用要求，并保证传动过程中可精确 定位 且平稳可靠。，下面是真空镀膜设备的传输装置专利的具体信息内容。
1.一种真空镀膜设备的传输装置，其特征在于，包括：
动力源；
传输载体；和
传动装置，其包括主动轮、两个张紧轮和开环的钢带，所述主动轮与所述动力源相连接，两所述张紧轮设置在所述主动轮的两侧，所述钢带绕过所述主动轮和两个所述张紧轮，所述钢带的两端与所述传输载体相连接。
2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，
所述钢带设置有两个，一个所述钢带的一端缠绕在所述主动轮上，另一端绕过一个所述张紧轮后与所述传输载体连接，另一个所述钢带的一端缠绕在所述主动轮上，另一端绕过另一个所述张紧轮后与所述传输载体连接。
3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，
所述主动轮设置有两个，两个所述钢带的一端分别缠绕在两个所述主动轮上。
4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，
一个所述张紧轮位于另一个所述张紧轮的上方，与位于上方的所述张紧轮相关联的所述主动轮位于另一个所述主动轮的上方。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的传输装置，其特征在于，还包括：
定位传感器，所述定位传感器用于检测所述传输载体的位置。
6.根据权利要求5所述的传输装置，其特征在于，
所述定位传感器包括两个第一定位传感器，两个所述第一定位传感器设置成相对于所述真空镀膜设备固定，且两个所述第一定位传感器分别位于所述传输载体的传输行程的两端。
7.根据权利要求6所述的传输装置，其特征在于，
所述定位传感器还包括两个第二定位传感器，两个所述第二定位传感器设置成相对于所述真空镀膜设备固定并且位于两个所述第一定位传感器之间，两个所述第二定位传感器分别对应于所述传输载体的减速位置。
8.根据权利要求1-4中任一项所述的传输装置，其特征在于，
所述动力源包括电机、磁性流体装置和传动轴，所述传动轴的一端与所述电机的电机轴相连接，另一端穿过所述磁性流体装置后伸入所述真空镀膜设备内，所述主动轮安装在所述传动轴的所述另一端上。
9.根据权利要求1-4中任一项所述的传输装置，其特征在于，
所述传输载体包括传输车，所述传输车与所述钢带相连接。
10.根据权利要求9所述的传输装置，其特征在于，还包括：
框架，所述框架设置成安装在所述真空镀膜设备内，且所述框架上设有导轨，所述传输车沿所述导轨移动。
真空镀膜设备的传输装置
技术领域
背景技术
[0002] 制造太阳能电池过程中会使用很多真空镀膜工艺，并且多数环境下均为在一定温度(如高温)下进行，因此需要稳定的传输系统，并且在工艺过程中会产生一些腐蚀气体，因此需要传输系统满足环境要求且有效可靠。
[0003] 普通环境下传输玻璃基片可使用常见的皮带(齿形带)传动方式，但这种皮带结构不适用于高温环境，除了高温会给皮带带来损害外，还会使皮带变质并挥发出影响镀膜工艺的气体，造成不良影响。真空高温下传输玻璃基片还可以使用链传动的结构来实现，虽然其能够适应于恶劣的环境，但是链轮的传动精度不高，长时间使用容易磨损、伸长，并且由于其需要张紧结构，故很难使用在往复运动的场合。实用新型内容
[0004] 为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种具有传动精度高、稳定性好的传输装置，能够满足高温高真空环境的使用要求。
[0005] 为了达到本实用新型的目的，本实用新型提供了一种真空镀膜设备的传输装置，包括：
[0006] 动力源；
[0007] 传输载体；和
[0008] 传动装置，其包括主动轮、两个张紧轮和开环的钢带，所述主动轮与所述动力源相连接，两所述张紧轮设置在所述主动轮的两侧，所述钢带绕过所述主动轮和两个所述张紧轮，所述钢带的两端与所述传输载体相连接。
[0009] 可选地，所述钢带设置有两个，一个所述钢带的一端缠绕在所述主动轮上，另一端绕过一个所述张紧轮后与所述传输载体连接，另一个所述钢带的一端缠绕在所述主动轮上，另一端绕过另一个所述张紧轮后与传输载体连接。
[0010] 可选地，所述主动轮设置有两个，两个所述钢带的一端分别缠绕在两所述主动轮上。
[0011] 可选地，一个所述张紧轮位于另一个所述张紧轮的上方，与位于上方的所述张紧轮相关联的所述主动轮位于另一个所述主动轮的上方。
[0013] 可选地，所述定位传感器包括两个第一定位传感器，两个所述第一定位传感器设置成相对于所述真空镀膜设备固定，且两个所述第一定位传感器分别位于所述传输载体的传输行程的两端。
[0014] 可选地，所述定位传感器还包括两个第二定位传感器，两个所述第二定位传感器设置成相对于所述真空镀膜设备固定并且位于两个所述第一定位传感器之间，两个所述第二定位传感器分别对应于所述传输载体的减速位置。
[0015] 可选地，所述动力源包括电机、磁性流体装置和传动轴，所述传动轴的一端与所述电机的电机轴相连接，另一端穿过所述磁性流体装置后伸入所述真空镀膜设备内，所述主动轮安装在所述传动轴的所述另一端上。
[0016] 可选地，所述传输载体包括：传输车，所述传输车与所述钢带相连接。
[0018] 本实用新型提供的真空镀膜设备的传输装置和现有技术相比，具有如下有益效果：
[0019] 本实用新型中真空镀膜设备的传动装置采用水平上下两层设置的开环钢带，双层钢带配置有利于钢带的双向传递及往复回转运动。传动装置上的两主动轮上下排布，位于中央，两个张紧轮一高一低分布在主动轮两侧，并分别与上下两钢带相对应。钢带一端与主动轮连接，并且缠绕在主动轮上，根据行程做缠绕的圈数及余量，对钢带进行预紧；张紧轮自带弹簧张紧可以收缩以弥补主动轮上缠绕所产生的总有效长度变化，以使钢带张紧，从而实现钢带的精确传动。
[0020] 相比于其他传输带材料，钢带具有强度高、耐磨、重量轻、耐高温、抗腐蚀性强、传动过程中几乎无伸长量且传动精度高等优点。优选地，钢带采用不锈钢钢带，通过与真空室内部其他传动结构选材保持一致，实现全不锈钢材质的结构设计，从而减少高温及腐蚀气体对钢带及传动装置整体耐腐蚀性能的影响，从而提高传动装置的稳定性和耐久性。
[0021] 进一步可选地，传输载体上设置有多组定位传感器，可对传输载体位置进行多点检测，本实施例中，其中，两个第一定位传感器相对于真空镀膜设备固定设置，分别位于传输载体的传输行程的两端。两个第二定位传感器相对于真空镀膜设备固定设置并且位于两个第一定位传感器之间，分别对应于传输载体的减速位置。通过定位传感器可实现传输载体的精确定位，根据传输载体的位置来调控传输载体的速度，进而精确控制传输载体的停靠位置。
[0022] 需要说明的是，至少在传输载体的传输行程的两终端设置两个定位传感器，当然，需要多点检测传输载体的位置时，可以在传输行程中间设置多个定位传感器，实现传输载体位置的精确检测。
[0023] 本实用新型的动力源包括电机、磁性流体装置和传动轴，传动轴的一端与电机的电机轴相连接，另一端穿过磁性流体装置后伸入真空镀膜设备内，主动轮安装在传动轴的另一端上。该磁性流体装置起到传动轴的轴承的作用，且可以起到真空密封作用，相比于现有的同类装置，这种动力源结构设计提高了装置的真空密封稳定性，并且磁性流体装置使用寿命长，保证装置具有较强的实用性。
[0024] 进一步可选地，传输载体包括传输车沿框架上的导轨移动。具体地，传输车与两根钢带的另一端相连接，在钢带的带动下沿导轨移动。导轨下方设置框架结构对导轨起保持固定的作用；由此，传输车上设有四组托杆共同托住一片玻璃基片由钢带拉住往复运动，设置多组托杆充分对基片进行支撑，保证了基片传输过程中的平稳性。
[0025] 本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
[0026] 附图用来提供对本实用新型技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本实用新型的技术方案，并不构成对本实用新型技术方案的限制。
[0027] 图1为根据本实用新型的实施例所述的真空镀膜设备的传输装置整体的正视结构示意图；
[0028] 图2为图1所示的真空镀膜设备的传输装置整体的俯视结构示意图。
[0029] 图3为图1中传动装置的主视结构示意图；
[0030] 图4为图3所示的传动装置的俯视结构示意图。
[0031] 图5为图1中动力源的主视结构示意图；
[0032] 图6为图1中传输载体与框架配合的主视结构示意图；
[0033] 图7为图6所示传输载体与框架的俯视结构示意图。
[0034] 其中，图1-图7中附图标记与部件名称之间的关系为：
[0035] 11钢带，12钢带，13主动轮，14主动轮，15张紧轮，16张紧轮，21第一定位传感器，22第一定位传感器，23第二定位传感器，24第二定位传感器，3动力源，31电机，32磁性流体装置，33传动轴，41传输车，42导轨，43框架，44托杆。
具体实施方式
[0036] 为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。
[0037] 如图1和图2所示，本实用新型提供了一种真空镀膜设备的传输装置，包括：传动装置、动力源3和传输载体，动力源3用于为传动装置提供动力，使传动装置运动；传输载体用于承载基片(如玻璃基片)，传输载体在传动装置的带动下运动，以实现运输基片的作用，将待镀膜的基片运输至真空镀膜设备内，及将镀膜完成的基片运输出去。
[0038] 其中，传动装置包括主动轮、两个张紧轮和开环的钢带，主动轮与动力源相连接，以便动力源带动主动轮转动；两张紧轮设置在主动轮的两侧，钢带绕过主动轮和两个张紧轮，且钢带的两端与传输载体相连接。钢带与主动轮和传输载体连接，当主动轮转动时，钢带随之运动，并带动传输载体运动，以运输传输载体上的基片。
[0039] 如图3和图4所示，在本实施例中，传动装置包括两个主动轮13,14、两个张紧轮15,16和两个钢带11,12。其中，本实施例中优选开环的钢带，开环钢带11一端与主动轮13连接，另一端绕过张紧轮15后与传输载体相连接，开环钢带12一端与主动轮14连接，另一端绕过张紧轮16与传输载体相连接。主动轮13,14与动力源3相连接，两张紧轮15,16分别设置在主动轮13,14的两侧，在主动轮13,14的驱动下带动钢带11,12传动。
[0040] 当然，也可以设置一个钢带，此时主动轮也相应地设置一个，钢带的中部缠绕在主动轮上，然后一端绕过张紧轮15后与传输载体相连接，另一端绕过张紧轮16与传输载体相连接。
[0041] 可选地，传动装置上的两个钢带11,12水平上下两层分布，采用双层钢带配置有利于钢带11,12的双向传递及往复回转运动。两主动轮13,14对应高低两个钢带11,12也呈上下两层并列方式设置，并分别对应高低2个张紧轮15,16。
[0042] 具体地，主动轮14位于主动轮13的上方，张紧轮16位于张紧轮15的上方，钢带11的一端缠绕在主动轮13上，另一端绕过张紧轮15后与传输载体连接，钢带12的一端缠绕在主动轮14上，另一端绕过张紧轮16后与传输载体连接，两个主动轮13,14分别对应两侧的钢带11,12，张紧轮15,16分别对应一高一低两层钢带11和钢带12。
[0043] 钢带11,12根据行程确定缠绕在主动轮13,14上的圈数及余量，以对钢带11,12进行预紧；张紧轮15,16自带弹簧张紧可以收缩以弥补主动轮13,14上缠绕圈数变化所产生的总有效长度变化，以使钢带11,12张紧，从而实现钢带11,12的精确传动。
[0044] 传动装置的上下两传动组分别实现传输载体的往返运动，如当传输载体向右移动(如将基片运输至真空镀膜设备内)时，动力源带动主动轮13,14顺时针转动，钢带12缠绕到主动轮14上并且其有效长度缩短，钢带11的有效长度变长，钢带12拉动传输载体向右移动；当传输载体向左移动(如将基片运输出真空镀膜设备)时，动力源带动主动轮13,14逆时针转动，钢带11缠绕到主动轮13上并且其有效长度缩短，钢带12的有效长度变长，钢带11拉动传输载体向左移动。
[0045] 由于传动装置为真空镀膜设备运输基片，会在真空高温的密封环境下工作，且该真空高温密封条件下的镀膜工艺过程中会产生一定腐蚀气体，因此，本实施例中，传输带采用钢带，相比于其他传输带材料，钢带11,12具有强度高、耐磨、重量轻、耐高温、抗腐蚀性强、传动过程中几乎无伸长量且传动精度高等优点。优选地，钢带为不锈钢钢带，通过与真空室内部其他传动结构选材保持一致，实现全不锈钢材质的结构设计，从而减少高温及腐蚀气体对钢带11,12及传动装置整体耐腐蚀性能的影响，从而提高传动装置的稳定性和耐久性。
[0046] 进一步，如图1所示，所述传输装置还包括定位传感器，该定位传感器用于检测传输载体的位置。
[0047] 具体的，在本实施例中，传输装置包括多组定位传感器，该定位传感器相对于真空镀膜设备固定设置(如固定在真空镀膜设备的腔壁上)，可对传输载体位置进行多点检测，实现传输载体的精确定位，且还可根据传输载体的位置来调控传输载体的速度，从而精确控制传输载体的停靠位置。
[0048] 具体地，本实施例中，多组定位传感器包括两个第一定位传感器21,22，其分别位于传输载体的传输行程的两端。当第一定位传感器21检测到传输载体运动到第一位置时，控制装置控制动力源停止工作，传输载体停止运动，以便在该位置装载(或卸载)基片；当第一定位传感器22检测到传输载体运动到第二位置时，控制装置控制动力源停止工作，传输载体停止运动，以便在该位置卸载(或装载)基片。
[0049] 多组定位传感器还包括两个第二定位传感器23,24，其位于两个第一定位传感器21,22之间，分别对应于传输载体的减速位置。当第二定位传感器23检测到传输载体运动到第一减速位置时，控制装置控制动力源减小功率，使传输载体减速运动，以便传输载体以较小的速度运动至第一位置并平稳地停在该位置；当第二定位传感器24检测到传输载体运动到第二减速位置时，控制装置控制动力源减小功率，使传输载体减速运动，以便传输载体以较小的速度运动至第二位置并平稳地停在该位置。
[0050] 需要说明的是，至少在传输载体的传输行程的两终端设置两个定位传感器，当然，需要多点检测传输载体的位置时，可以在传输行程中间设置多个定位传感器，实现对传输载体位置的精确检测。
[0051] 可选地，动力源3包括电机31、磁性流体装置32和传动轴33，传动轴33的一端与电机31的电机31轴相连接，另一端穿过磁性流体装置32后伸入真空镀膜设备内，主动轮13安装在传动轴33的另一端上，如图5所示。
[0052] 传动轴33的一端与电机31相连接，另一端穿过磁性流体装置32后伸入真空镀膜设备内，该磁性流体装置32起到传动轴33的轴承的作用，对传动轴进行支撑，且可以起到真空密封作用，相比于现有的同类装置，这种动力源结构设计能提高装置的真空密封稳定性，并且磁性流体装置32的使用寿命长，进而保证装置具有较强的实用性。
[0053] 可选地，如图6和图7所示，传输载体包括传输车41，传输装置还包括框架43，框架43可安装在真空镀膜设备内，且框架43上设有导轨42。具体地，传输车41与钢带11,12连接，并且在钢带11,12的带动下沿导轨42移动，导轨42下方设置的框架43结构对导轨42起保持固定的作用。
[0054] 如图2和图7所示，传输车41上设有四组托杆44，共同托住一片玻璃基片，由钢带11,12拉住往复运动，设置多组托杆44充分对基片进行支撑，保证了基片传输过程中的平稳性。
[0055] 下面结合附图1-图7，具体说明本实用新型提供的真空镀膜设备的传输装置。该传输装置包括四大部分：传动装置、定位传感器、动力源3和传输载体。
[0056] 各部分的结构和作用：
[0057] 传动装置：作为整个真空镀膜设备的传输装置核心结构。该传动装置包括主动轮13,14、两个张紧轮15,16和开环的钢带11,12。其中，主动轮13,14与动力源3相连接，两张紧轮15,16设置在主动轮13,14的两侧，钢带11,12分别绕过两张紧轮15,16和主动轮13,14，并且与传输载体相连接。
[0058] 本实施例中采用强度高、耐磨、重量轻，抗腐蚀性强、传动过程中几乎无伸长量且传动精度高的不锈钢钢带11,12，实现全不锈钢材质的结构设计，从而提高传动装置的传动精度、传动稳定性和耐久性。
[0059] 定位传感器：
[0060] 传输载体上设置有四个定位传感器，两个第一定位传感器21,22相对于真空镀膜设备固定设置，分别位于传输载体的传输行程的两端。两个第二定位传感器23,24相对于真空镀膜设备固定设置并且位于两个第一定位传感器21,22之间，分别对应于传输载体的减速位置。定位传感器可对传输载体位置进行多点检测，实现传输载体的精确定位，根据传输载体的位置来调控传输载体的速度(通过调控动力源来实现)，从而精确控制传输载体的停靠位置。
[0061] 需要说明的是，至少在传输载体的传输行程的两终端设置两个传感器，当然，需要多点检测传输载体的位置时，还可以在传输行程中间设置多个定位传感器，实现传输载体位置的精确检测。
[0062] 动力源3：包括电机31、磁性流体装置32和传动轴33，传动轴33的一端与电机31的电机31轴相连接，另一端穿过磁性流体装置32后伸入所述真空镀膜设备内，主动轮13,14安装在所述传动轴33的所述另一端上。该磁性流体装置32起到传动轴33的轴承的作用，且能够提高装置的真空密封性，并且磁性流体装置32使用寿命长，进而保证装置具有较强的实用性。
[0063] 传输载体：包括传输车41，传输车41与钢带11,12两端连接，并沿框架42上的导轨43移动，导轨43下方设置的框架42结构对导轨43起保持固定的作用。传输车41上设有四组托杆44共同托住一片玻璃基片45，由钢带11,12拉住往复运动，设置多组托杆44充分保证了基片传输过程中的平稳性。
[0064] 本实用新型的实施例属于制造太阳能电池真空设备领域，涉及真空高温环境下传输装置。本实用新型的实施例提供的真空镀膜设备的传输装置采用双层钢带配置，通过将钢带11,12与主动轮13,14、张紧轮15,16连接配合实现钢带11,12的精确传动，并设置多组定位传感器实现传输载体的精确定位和速度的调控，同时动力源3中采用真空密封性强、使用寿命长的磁性流体装置，使传输装置整体具有高的稳定性和耐久性，因此具有较强的实用性，使传输装置可在多种设备如各种CVD、PVD等镀膜设备中使用。
[0065] 需要说明的是，上述实施例仅是本实用新型的一个具体示例，真空镀膜设备的结构并不限于上述结构，如：传输载体上的定位传感器的数量及布置方式等可以与上述实施例不同，如定位传感器可以设置在框架上。
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