고진공게터가 실장된 초소형 엑스선튜브
专利汇可以提供고진공게터가 실장된 초소형 엑스선튜브专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且본발명은고진공게터가실장된초소형엑스선튜브에관한것으로써, 본발명에따른비확산게터가장착된소형엑스선튜브는벌브와벌브의내부에장착되어열전자를방출시키는캐소드와열전자를제어하는그리드와열전자가충돌되는타켓및 엑스선을방출하는아노드로이루어진소형엑스선관에있어서, 캐소드상부에는외부전압이인가될경우주울열을발생시켜가스흡착을위한비확산게터를포함하며비확산게터는밀도를높게하기위하여작은봉 형태로적어도복수개로이루어지며내부공간을최적화함으로써초소형엑스선튜브를구현할수 있다.，下面是고진공게터가 실장된 초소형 엑스선튜브专利的具体信息内容。
상기 캐소드 상부에는 외부 전압이 인가될 경우 주울 열을 발생시켜 가스 흡착을 위한 비확산 게터를 포함하는 것을 특징으로 하는 비확산 게터가 장착된 소형 엑스선튜브.
상기 비확산 게터는 밀도를 높게 하기 위하여 작은 봉 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 비확산 게터가 장착된 소형 엑스선튜브.
상기 비확산 게터는 복수 개로 이루어진 것을 특징으로 하는 비확산 게터가 장착된 소형 엑스선튜브.
상기 비확산 게터는 지르코늄 또는 타이타늄의 물질을 다공성 구조로 도포하여 형성되는 것을 특징으로 하는 비확산 게터가 장착된 소형 엑스선튜브.
고진공게터가 실장된 초소형 엑스선튜브{X-ray tube having high-degree vacuum getters}
본 발명은 초소형 엑스선튜브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고진공 게터를 실장한 초소형 엑스선튜브에 관한 것이다.
일반적으로, 엑스선(X-ray) 발생장치는 진공관 내부에 설치된 음극으로부터 발생된 전자가 양극 구조체의 타겟에 충돌하면서 엑스선을 발생시키는 장치로서, 비파괴 검사용이나 의료진단용 또는 화학분석용 등 다양한 검사장치 또는 진단장치에 응용되어 폭넓게 사용되고 있다.
엑스선 발생장치는 일반적으로, 진공 밀봉된 진공관 내에 설치되어 고에너지의 전자를 방출하는 음극, 진공관 내에 음극과 대향하도록 설치되어 음극에서 방출된 전자와 충돌하여 엑스선을 발생시키는 양극 구조체 및 음극으로부터 방출된 전자를 양극 구조체 방향으로 가이드하기 위한 가이드 전극 등을 포함한다. 여기서, 음극에서 방출된 전자는 가이드 전극에 의해 가이드되어 양극 구조체의 타겟에 충돌하게 되고, 타겟을 이루는 물질은 전자의 충돌에 의해 엑스선을 발생시키게 된다.
한편 게터란 화학적으로 배기된 밀폐된 진공계에서 잔류가스 및 발생가스를 화학적으로 흡착시켜 재 방출하지 않고 장기간 일정하게 고진공을 유지시켜 주는 역할을 수행하거나 특수 처리공정을 위해 특정 기체만을 흡수하도록 하는 역할을 한다. 게터는 엑스선관을 구성하는데 매우 중요한 역할을 하는데 이러한 게터는 화학적으로 안정성이 매우 중요하며 열적 안정성 및 흡착가스에 대한 유지성이 우수해야 한다. 그러한 차원에서 고진공게터로 각광받아온 게터로는 두꺼운 동전모양의 게터가 그 안정성으로 각광을 받아오며 활용되어 왔으며 디스플레이용 게터로는 냉음극형광램프(CCFL) 게터라 하는 얇은 봉 형태의 게터가 주로 사용되어 왔다.
한편 CCFL게터는 냉음극형광램프(CCFL) 내부에 발광에 필요한 수은을 주입하는 동시에 산소·질소 등 불순 가스를 흡착해 진공도를 개선하는 역할을 하나 인체에 유해한 수은등이 포함되기 때문에 그 활용성은 다양하지 않았다.
그러나 초소형 엑스선튜브를 구현하기 위해서는 다른 부품들의 소형화와 함께 게터의 물질이나 형태도 초소형 엑스선튜브의 구현을 위해 다양하게 요구되고 있는 실정이다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 초소형 엑스선튜브에 적합한 게터를 위해, 특히 매우 좁은 공간에서 게터의 특성을 안정성 있게 구현하기 위한 게터의 물질 및 형태를 고안하였으며 더 나아가 이러한 게터를 탑재한 초소형 엑스선튜브를 제공한다.
본 발명의 일 특징에 따른 소형 엑스선튜브는 벌브와 상기 벌브의 내부에 장착되어 열전자를 방출시키는 캐소드와 상기 열전자를 제어하는 그리드와 상기 열전자가 충돌되는 타켓 및 엑스선을 방출하는 아노드로 이루어진 소형 엑스선관에 있어서, 상기 캐소드 상부에는 외부 전압이 인가될 경우 주울 열을 발생시켜 가스 흡착을 위한 비확산 게터를 포함한다.
상기 비확산 게터는 밀도를 높게 하기 위하여 작은 봉 형태로 이루어진다.
상기 비확산 게터는 복수 개로 이루어졌으며 지르코늄 또는 타이타늄의 물질을 다공성 구조로 도포하여 형성될 수 있다.
이와 같은 소형 엑스선관에 따르면, 적은 공간에 고진공 게터를 탑재할 수 있어 소형 엑스선튜브를 구현하는데 매우 용이할 수 있다.
도 1은 엑스선 튜브에 장착되는 일반적인 게터 형태를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초소형 엑스선튜브의 내부공간에 장착하게 되는 게터의 형태등을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게터를 포함하는 초소형 엑스선튜브의 전체 구성도를 도시한 도면이다.
상술한 본 발명의 특징 및 효과는 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이며, 그에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 엑스선 튜브에 장착되는 일반적인 게터 형태를 도시한 도면이다.
게터란 화학적으로 배기된 밀폐된 진공계에서 잔류가스 및 발생가스를 화학적으로 흡착시켜 재 방출하지 않고 장기간 일정하게 고진공을 유지시켜 주는 역할을 하며 엑스선튜브를 구성하는데 매우 중요한 역할을 수행한다. 특히 게터는 화학적으로 안정성이 매우 중요하며 열적 안정성 및 흡착가스에 대한 유지성이 우수해야 한다. 그러한 차원에서 엑스선튜브 내에는 고진공게터로 도 1에 도시된 것처럼 두꺼운 동전모양의 게터가 그 안정성으로 각광을 받아오면서 활용되어 왔다. 그러나 이러한 형태의 게터로는 소형 엑스선튜브를 구현하는데 애로가 있었다. 한편 디스플레이용 게터로는 냉음극형광램프(CCFL) 게터라 하는 얇은 봉 형태의 게터가 주로 사용되어 왔으며 이러한 게터는 내부에 수은을 주입하여 불순가스를 흡착하는 역할을 한다. 앞서 언급하였듯이 소형 엑스선튜브내에는 좁은 공간에서 효능을 발휘하게 하기 위해 밀도를 높게 하기 위해 분말상태로 녹여서 원형의 컵형인 CCFL게터와 동일한 형태로 구현할 경우 초소형 엑스선튜브에 효율적으로 장착할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초소형 엑스선튜브의 내부공간에 장착하게 되는 게터의 형태 등을 도시한 도면이다. 도 2를 참조하여 설명하면, 앞서 설명한 원형의 컵형인 고진공 게터(240)를 사용하여 캐소드지그(210)상에 위치한 캐소드(220) 상부에 상부로 연장되도록 전극(230)이 위치하며 좌우 양편에 고진공 게터(240)를 상부로 향하도록 위치할 수 있는 공간을 활용하여 캐소드(200) 상부에 복수개의 홈(250)을 만들어 고진공 게터(240)가 위치하도록 한다. 이러한 구조로 형성할 경우 좁은 공간에 게터를 최적화하게 위치할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면 2개의 봉 형태의 게터를 장착할 수 있도록 도시하였으나 경우에 따라서는 2개 이상의 게터를 장착할 수 있다. 다만 한 개의 게터를 사용할 경우에는 게터의 역할을 수행할 수 있으나 공간 활용에 다소 미흡할 수도 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게터를 포함하는 초소형 엑스선튜브의 전체 구성도를 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 초소형 엑스선튜브(300)는 전극(340)이 양/음극이 위치해 있고 반대 방향으로 고진공게터들(340)이 위치하여 전체 높이가 엇비슷하게 구성되어 있어 전체적으로 공간적인 측면에서 효용성을 보여주고 있다. 그리고 이러한 고진공 게터(340)는 별도로 공간을 두지 않아도 여유공간에 위치시킬 수 있기 때문에 도시하지는 않았으나 엑스선튜브의 다른 부품들인 그리드, 아노드 및 필라멘트 등과 같은 부품들의 공간도 효율적으로 구성하여 전체적으로 초소형 엑스선 튜브(300)를 구현하는 것이 가능하다.
이상과 같이, 고진공게터를 원형의 컵형으로 구성하여 캐소드 상부에 홈을 두어 그 홈에 고진공게터를 상부로 향하는 전극과 함께 동일한 높이로 구성함으로써 초소형 엑스선튜브를 구현할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 동전형상의 게터 210 : 캐소드지그
220 : 캐소드 230, 330 : 전극
240, 340 : 게터 250: 홈
300 : 초소형 엑스선튜브
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