专利汇可以提供Apparatus for forming thin film专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且PURPOSE:To increase the controllability, by a method wherein the member for evaporation is annularly arranged and the ion stream from the ion implanter is implanted into the target through the path for ion current thereof. CONSTITUTION:The apparatus for forming film implant ions into the target 3 and simultaneously deposit, in a vacuum manner, the film forming material on the member 2 for evaporation on the surface of target3 by respectively arranging the ion implanting end 4 of ion implanter 1 and the member 2 for evaporation of evaporator so as to face the target 3. That member 2 for evaporation is annularly so constructed that the path 2' for ion current exists at its center and at the same time this member 2 for evaporation is so arranged that the axis of the path 2' for ion current face the surface of target 3. Further, the ion implanting end 4 of ion implanter 1 at the position back the member 2 for evaporation and at the extended position of path axis.,下面是Apparatus for forming thin film专利的具体信息内容。
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