专利汇可以提供一种离子注入机绝缘环组件专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供一种 离子注入 机 绝缘环组件,该绝缘环组件用于完成低能大束流离子注入机 能量 减速系统,它将整个离子注入机光路分割成两个电位区域,当离子束从一个电位区域运动到另一个电位区域,离子能量发生变化。绝缘环组件包括绝缘环和 电子 屏蔽系统,绝缘环实现光路束线的物理绝缘,电子屏蔽系统实现绝缘环与离子束的物理隔离。,下面是一种离子注入机绝缘环组件专利的具体信息内容。
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