一种离子注入机检测装置
专利汇可以提供一种离子注入机检测装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及 离子注入 机 技术领域，具体为一种离子注入机检测装置，包括扫描盘，扫描盘的周围环设有若干均匀分布的控制装置，控制装置一端和扫描盘连接,控制装置上设置有法拉第杯，控制装置包括 手柄 、 丝杆 、外筒、 弹簧 、控制盒和固定座，丝杆的一端固定连接有手柄,丝杆的另一端延伸到外筒中，外筒形状为一端开口的圆柱壳体结构，外筒的内腔中设置有弹簧和控制盒，控制盒位于外筒的开口端 位置 ，控制盒的一端 接触 有弹簧,弹簧的一端抵在外筒的凹槽底面，本实用新型构造设计实现法拉第杯快速和扫描盘实现空间位置同步固定，操作简单，需要旋转手柄，即可完成法拉第杯的快速脱离和结合，节省了大量时间，提高离子注入机的工作效率。，下面是一种离子注入机检测装置专利的具体信息内容。
1.一种离子注入机检测装置，包括扫描盘(1)，其特征在于：所述扫描盘(1)的周围环设有若干均匀分布的控制装置(2)，所述控制装置(2)一端和扫描盘(1)连接,控制装置(2)上设置有法拉第杯(12)，所述控制装置(2)包括手柄(3)、丝杆(4)、外筒(5)、弹簧(6)、控制盒(7)和固定座(8)，所述丝杆(4)的一端固定连接有手柄(3),丝杆(4)的另一端延伸到外筒(5)中，所述外筒(5)形状为一端开口的圆柱壳体结构，外筒(5)的内腔中设置有弹簧(6)和控制盒(7)，所述控制盒(7)位于外筒(5)的开口端位置，控制盒(7)的一端接触有弹簧(6),弹簧(6)的一端抵在外筒(5)的凹槽底面，弹簧(6)和丝杆(4)活动套接，丝杆(4)一端延伸到控制盒(7)中，控制盒(7)形状为圆柱壳体结构，控制盒(7)内腔中设置有圆板状的拦截板(9),丝杆(4)一端端部和拦截板(9)固定连接，所述外筒(5)上远离手柄(3)的一端连接有固定座(8)，所述固定座(8)一端端部固定嵌入到扫描盘(1)的壳体中，法拉第杯(12)设置于固定座(8)中。
2.根据权利要求1所述的一种离子注入机检测装置，其特征在于：所述固定座(8)形状为方形板端部一体连接L型弯折板，固定座(8)的L型弯折板一端端部和外筒(5)外壁固定连接，所述固定座(8)的方形板上开设有卡位座(10)，所述卡位座(10)形状为三棱柱状凹槽。
3.根据权利要求2所述的一种离子注入机检测装置，其特征在于：外筒(5)的内壁上开设有长方体状滑槽，控制盒(7)的外壁上固定环设有若干均匀分布的凸出滑块(11)，所述凸出滑块(11)一端延伸到外筒(5)上的滑槽中。
4.根据权利要求1所述的一种离子注入机检测装置，其特征在于：所述外筒(5)上开设有螺纹孔，丝杆(4)贯穿外筒(5)上开设的螺纹孔，丝杆(4)贯穿控制盒(7)上开设的柱状通孔。
一种离子注入机检测装置
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具体实施方式
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