专利汇可以提供一种80kg以上大尺寸蓝宝石单晶的生长方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种80kg以上大尺寸蓝 宝石 单晶的生长方法,该蓝宝石单晶生长工艺主要控制阶段包括:引晶、放肩、转肩修形、等径、收尾拉脱和降温 退火 阶段。放肩初期,控制降温速度,保证单晶缓慢生长。单晶生长到1.0~1.5kg时进入转肩修形阶段,首先上调 电压 使单晶停止生长,同时调节旋转参数,使籽晶以一定的速度进行旋转。等径生长阶段,减小提拉速度,同时加快降温速度,直到单晶即将生长结束时,加快降温速度同时将晶体快速提起,使其完全与底部剩余熔体脱离,实现晶体的收尾拉脱。本发明可减少大尺寸蓝宝石单晶内的 缺陷 ,同时也大幅度降低单晶生长的工艺时长。同时,采用该生长工艺可实现自动化拉脱,有效地避免了晶体粘埚,并且降低了底部形成多晶的几率,更加利于生长出高品质、大尺寸的蓝宝石单晶。,下面是一种80kg以上大尺寸蓝宝石单晶的生长方法专利的具体信息内容。
1.一种80kg以上大尺寸蓝宝石单晶的生长方法,其特征在于晶体生长的具体控制阶段主要由:引晶、放肩、转肩修形、等径、收尾拉脱和降温退火阶段组成,放肩阶段初期,将电压、提拉参数分别设为-4mv/h和0.1mm/h,保证单晶以0.05kg/h的速度缓慢生长;单晶生长重量达到1.2kg时进入转肩修形阶段,首先进行转肩,将提拉参数调节为0,电压上调15mv,并将籽晶杆转速设定为3r/min,旋转时间持续10min;转肩结束后开始修形,将电压、提拉参数分别设为-6mv/h和0.5mm/h,并根据晶体生长速度调小炉体侧壁热交换器水流量,使单晶以0.1kg/h的速度缓慢结晶,在该条件下生长22h,保证生长界面的凸出率;等径生长阶段,将电压和提拉参数分别调节为-15mv/h和0.05mm/h;同时加快降温速度,单晶生长至余料
1.5kg时进入收尾拉脱阶段,直到单晶即将生长结束时,加快降温速度同时将晶体快速提起,将电压、提拉参数分别设定为-15mv/h和0mm/h,然后手动快速将单晶提起20mm,使其完全与底部剩余熔体脱离,实现晶体的收尾拉脱;晶体拉脱后采取分段降温方式进行退火;退火阶段初期和末期以30 80℃/h的降温速度进行冷却,在1800 1400℃温度段,以5 15℃/h~ ~ ~
的降温速度进行冷却。
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