用於製造非揮發性電荷捕獲記憶體元件之基氧化方法
阅读：548发布：2024-02-13
专利汇可以提供用於製造非揮發性電荷捕獲記憶體元件之基氧化方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一種用於製造非揮發性電荷捕獲記憶體元件之方法被描述。該方法包含使一 基板 承受一第一 氧 化製程以在一多晶矽通道上方形成一穿隧氧化物層，以及在該穿隧氧化物層上方形成一多層電荷儲存層，該儲存層包括一包含氮化物之含氧第一層及一包含該第一層上之氮化物之缺氧第二層。該基板接著係承受一第二氧化製程以耗用一部分第二層並在該多層電荷儲存層上方形成一高溫氧化物(HTO)層。該第一層之化學計量組成成分致使它實質上無捕獲，且該第二層之化學計量組成成分致使它為密集捕獲。該第二氧化製程可包括一電漿氧化製程或使用現場 蒸汽 產生技術之一基氧化製程。，下面是用於製造非揮發性電荷捕獲記憶體元件之基氧化方法专利的具体信息内容。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 一种MoSe2/铁磁金属太赫兹辐射源、制备及太赫兹波激发方法 | 2020-05-08 | 151 |
| 一种微波等离子辅助的溅射光学成膜方法 | 2020-05-08 | 534 |
| 用于砂岩铀矿的表面活性剂联合酸法地浸的采铀方法 | 2020-05-08 | 57 |
| 一种利用微生物的污水处理剂的制备方法 | 2020-05-08 | 234 |
| 一种5G通信用多频谱集成自旋纳米振荡器及其制备方法 | 2020-05-11 | 181 |
| 一种生物兼容型铁-二氧化锰体系微纳米马达及其制备方法 | 2020-05-08 | 154 |
| 锆钛氧化物栅介质层柔性底栅薄膜晶体管及其制作方法 | 2020-05-11 | 433 |
| 一种具有嵌入式源漏的晶体管及其制备方法 | 2020-05-08 | 179 |
| 一种垃圾渗滤液处理系统 | 2020-05-08 | 385 |
| 一种用于海绵城市雨水的处理和收集装置 | 2020-05-08 | 900 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
分析报告
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
QQ群二维码
意见反馈
意见反馈