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以干涉儀為基礎的紅外線感知

阅读:551发布:2023-07-30

专利汇可以提供以干涉儀為基礎的紅外線感知专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本發明是有關於紅外線感測元件,透過類似Fabry-Perot干涉儀式的紅外線裝置,該裝置使用一個完全反射曲面面板,和一個平面反射,部分穿透板,這些平板間的空間形成了一個共振腔,它可用來作寬波段範圍或窄波段範圍的共振,其波長範圍是在1到15微米範圍,也可能用組合幾窄波段感測器於一元件之內,實際感測元是 薄膜 電阻,具有高光、熱、電阻轉換效應,薄膜電阻是用熱絕緣方式隔離於共振腔結構體,運用微機電系統(micro- machining)技術製造這種結構元件。,下面是以干涉儀為基礎的紅外線感知专利的具体信息内容。

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