PIEZORESISTIVE CANTILEVER FOR ATOMIC FORCE MICROSCOPY
专利汇可以提供PIEZORESISTIVE CANTILEVER FOR ATOMIC FORCE MICROSCOPY专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且A microminiature cantilever structure is provided having a cantilever arm (102) with a piezoresistive resistor (120) embedded in at least the fixed end of th cantilever arm. Deflection of the free end of the cantilever arm produces stress in the base (150) of the cantilever that changes the piezoresistive resistor's resistance in proportion to the deflection. Resistance measuring apparatus (124) is coupled to the piezoresistive resistor. The microminiautre cantilever is formed on a semiconductor substrate (152). The cantilever arm is doped to form an electrically separate U-shaped piezoresistive resistor (160). A metal layer (266) is deposited over the semiconductor's surface and patterned to form electrical connections (162, 164) between the piezoresistive resistor and a resistance measuring circuit. The semiconductor substrate below the cantilever arm is substantially removed forming a cantilevered structure, and a tip (104) is connected to the free end of the cantilever arm for use in an atomic force microscope (100).，下面是PIEZORESISTIVE CANTILEVER FOR ATOMIC FORCE MICROSCOPY专利的具体信息内容。
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