Interatomic force microscope apparatus
专利汇可以提供Interatomic force microscope apparatus专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且PURPOSE: To make the apparatus compact in size by casting light to a cantilever from a projecting optical fiber, receiving the reflecting light by a detecting optical fiber, and detecting the displacement or vibration of the cantilever.
CONSTITUTION: A light is cast to a cantilever 7 via a projecting optical fiber 62 from a light source 61. The light reflected from the cantilever 7 is, through a detecting optical fiber 64, detected by a photocell 63. At this time, the intensity of light returning to the detecting optical fiber 64 is changed by the gap between an end face of the fiber and the cantilever 7, and by utilizing this fact, the displacement or vibration of the cantilever 7 is detected. In this manner, the whole size of the interatomic force microscope can be made small, and moreover, the temperature drift can be restricted to be small.
COPYRIGHT: (C)1992,JPO&Japio，下面是Interatomic force microscope apparatus专利的具体信息内容。
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