技术领域
[0001] 本实用新型涉及半导体测试技术领域，尤其涉及一种
半导体芯片测试用探针卡。
背景技术
[0002] 探针卡是集成
电路工艺领域中的重要器件，应用在集成电路尚未封装之前，针对
晶圆以探针做功能测试，通过将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或
凸块直接
接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与
软件控制对芯片参数进行测试，选出不合格产品再进行后续的封装工程，避免不良产品继续加工而造成浪费。
[0003] 现有的探针卡在运输因不具有任何保护装置而很容易受到外界硬物的掉落碰擦，使探针脱落损坏，且在探针不使用时由于没有保护装置，探针极易受到颗粒粉尘的污染，从而造成探针的测试精确度和可靠性降低。
发明内容
[0004] 本实用新型的目的在于：提供一种半导体芯片测试用探针卡，能够对探针进行保护，防止探针脱落损坏，颗粒粉尘对探针造成污染，保证探针的测试精确度和可靠性。
[0005] 本实用新型采用的技术方案如下：
[0006] 一种半导体芯片测试用探针卡，包括印刷
电路板，设在印刷电路板上的探针
基座，以及设在探针基座上的探针，所述探针上方设有圆弧形的透明保护盖，圆弧形的透明保护盖可以避免灰尘堆积，所述透明保护盖两端分别固定在第一缓冲机构和第二缓冲机构上，所述第一缓冲机构的下端通过第一固定座固定在印刷电路板上，所述第二缓冲机构的下端设有第二固定座，所述第二固定座底部设有卡块，所述卡块卡接在弹性卡座内，所述弹性卡座和第一固定座通过粘合材料固定在印刷电路板上。
[0007] 本实用新型的工作原理为：
[0008] 将弹性卡座和第一固定座粘在固印刷电路板上，保护盖和第一缓冲机构即被固定在印刷电路板上，然后将第二缓冲机构底部的卡块卡入弹性卡座内实现固定，由于弹性卡座和第一固定座是粘在固印刷电路板上的，在需要将保护盖取下时，只需将其拔起脱离印刷电路板即可，安装和拆卸都十分方便，相对于
螺栓等
紧固件，本实用新型可以避免拆卸时对印刷电路板和探针造成损伤，而在运输过程中，当遇到碰撞作用时，保护盖可以对里面的探针进行保护，防止探针脱落损坏，而第一缓冲机构和第二缓冲机构可以吸收掉碰撞产生的
能量，避免保护盖遭受强烈的作用
力发生
变形和损坏，提高保护盖的使用寿命。
[0009] 进一步地，所述第一缓冲机构和第二缓冲机构结构相同，包括竖直滑轨，套设在滑轨上的滑套，以及
弹簧，所述滑套侧面设有固定块，所述透明保护盖端部设在固定块上，所述第一缓冲机构的固定块底部通过弹簧固定在第一固定座上，所述第二缓冲机构的固定块底部通过弹簧固定在第二固定座上。当遇到碰撞作用时，弹簧可以吸收掉碰撞产生的能量，避免保护盖遭受强烈的作用力发生变形和损坏，提高保护盖的使用寿命，同时滑轨可以限制保护盖的侧位移，防止保护盖移位。
[0010] 进一步地，所述卡块包括上下依次设置的第一卡接部和第二卡接部，所述第一卡接部为圆柱形，所述第二卡接部为圆球形，且第二卡接部的直径大于第一卡接部。通过设置弹性卡座，使卡块很容易地卡入到弹性卡座内，且由于第二卡接部的直径大于第二卡接部，卡入之后第二卡接部能够起到限位作用，防止卡块和弹性卡座脱离。
[0011] 进一步地，所述保护盖内侧设有放大镜片，通过设置放大镜片，人们可以清楚地观测探针的各个部位，及时发现处理探针的异常问题，保证测试的准确性和精确度。
[0012] 进一步地，所述粘合材料为
泡沫胶。泡沫胶粘贴牢固，耐
水耐候性好可以避免弹性卡座和第一固定座在遭遇撞击时发生脱落。
[0013] 综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
[0014] 1.本实用新型通过将弹性卡座和第一固定座粘在固印刷电路板上，保护盖和第一缓冲机构即被固定在印刷电路板上，然后将第二缓冲机构底部的卡块卡入弹性卡座内实现固定，由于弹性卡座和第一固定座是粘在固印刷电路板上的，在需要将保护盖取下时，只需将其拔起脱离印刷电路板即可，安装和拆卸都十分方便，相对于螺栓等紧固件，本实用新型可以避免拆卸时对印刷电路板和探针造成损伤。
[0015] 2.本实用新型通过设置保护盖，当遇到碰撞作用时，保护盖可以对里面的探针进行保护，防止探针脱落损坏，在探针不使用时可以避免探针受到颗粒粉尘的污染，保证探针的测试精确度和可靠性，同时圆弧形的保护盖可以避免灰尘堆积。
[0016] 3.本实用新型通过保护盖两端设置第一缓冲机构和第二缓冲机构，第一缓冲机构和第二缓冲机构中的弹簧可以吸收掉碰撞产生的能量，避免保护盖遭受强烈的作用力发生变形和损坏，提高保护盖的使用寿命，同时滑轨可以限制保护盖的侧位移，防止保护盖移位。
[0017] 4.本实用新型通过设置弹性卡座，使卡块能够很容易地卡入到弹性卡座内，且由于第二卡接部的直径大于第二卡接部，卡入之后第二卡接部能够起到限位作用，防止卡块和弹性卡座脱离。
[0018] 5.本实用新型通过在保护盖内侧设置放大镜片，通过设置放大镜片，人们可以清楚地观测探针的各个部位，及时发现处理探针的异常问题，保证测试的准确性和精确度。
附图说明
[0019] 本实用新型将通过例子并参照附图的方式说明，其中：
[0020] 图1是本实用新型的结构示意图；
[0021] 图2是本实用新型A处放大图。
[0022] 图中标记为：1-印刷电路板，2-探针基座，3-探针，4-透明保护盖，5-放大镜片，6-第二缓冲机构，7-第一固定座，8-第二固定座，81-卡块，811-第一卡接部，812-第二卡接部，9-泡沫胶，10-弹性卡座，11-第一缓冲机构，12-滑轨，13-滑套，14-弹簧，15-固定块。
具体实施方式
[0023] 下面将结合本实用新型
实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0024] 实施例1
[0025] 一种半导体芯片测试用探针卡，包括印刷电路板1，设在印刷电路板1上的探针基座2，以及设在探针基座2上的探针3，所述探针3上方设有圆弧形的透明保护盖4，透明保护盖4可以对里面的探针3进行保护，防止探针3脱落损坏，且在探针3不使用时可以避免探针受到颗粒粉尘的污染，保证探针3的测试精确度和可靠性，透明保护盖4设为可以避免灰尘堆积，所述透明保护盖4两端分别固定在第一缓冲机构11和第二缓冲机构6上，所述第一缓冲机构11的下端通过第一固定座7固定在印刷电路板1上，所述第二缓冲机构6的下端设有第二固定座8，所述第二固定座8底部设有卡块81，所述卡块81卡接在弹性卡座10内，所述弹性卡座10和第一固定座7通过粘合材料固定在印刷电路板1上。
[0026] 本实用新型的工作原理为：
[0027] 将弹性卡座10和第一固定座7粘在固印刷电路板1上，保护盖和第一缓冲机构11即被固定在印刷电路板1上，然后将第二缓冲机构6底部的卡块81卡入弹性卡座10内实现固定，由于弹性卡座10和第一固定座7是粘在固印刷电路板1上的，在需要将透明保护盖4取下时，只需将其拔起脱离印刷电路板1即可，安装和拆卸都十分方便，相对于螺栓等紧固件，本实用新型可以避免拆卸时对印刷电路板1和探针3造成损伤，而在运输过程中，当遇到碰撞作用时，保护盖可以对里面的探针3进行保护，防止探针3脱落损坏，而第一缓冲机构11和第二缓冲机构6可以吸收掉碰撞产生的能量，避免保护盖遭受强烈的作用力发生变形和损坏，提高保护盖的使用寿命。
[0028] 实施例2
[0029] 在实施例1的
基础上，所述第一缓冲机构11和第二缓冲机构6结构相同，包括竖直滑轨12，套设在滑轨12上的滑套13，以及弹簧14，所述滑套13侧面设有固定块15，所述透明保护盖4端部设在固定块15上，所述第一缓冲机构11的固定块15底部通过弹簧14固定在第一固定座7上，所述第二缓冲机构6的固定块15底部通过弹簧14固定在第二固定座8上。当遇到碰撞作用时，弹簧14可以吸收掉碰撞产生的能量，避免透明保护盖4遭受强烈的作用力发生变形和损坏，提高保护盖的使用寿命，同时滑轨12可以限制保护盖的侧位移，防止保护盖移位。
[0030] 实施例3
[0031] 在实施例1的基础上，所述卡块81包括上下依次设置的第一卡接部811和第二卡接部812，所述第一卡接部811为圆柱形，所述第二卡接部812为圆球形，且第二卡接部812的直径大于第一卡接部811。通过设置弹性卡座10，使卡块81很容易地卡入到弹性卡座10内，且由于第二卡接部812的直径大于第二卡接部812，卡入之后第二卡接部812能够起到限位作用，防止卡块81和弹性卡座10脱离。
[0032] 实施例4
[0033] 在实施例1的基础上，所述保护盖内侧设有放大镜片5，通过设置放大镜片5，人们可以清楚地观测探针3的各个部位，及时发现处理探针3的异常问题，保证测试的准确性和精确度。
[0034] 实施例5
[0035] 在实施例1的基础上，所述粘合材料为泡沫胶9。泡沫胶9粘贴牢固，耐水耐候性好可以避免弹性卡座10和第一固定座7在遭遇撞击时发生脱落。
