一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置
阅读：600发布：2020-05-12
专利汇可以提供一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 申请 公开了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，用于实现一被测热电材料样品的亚表面热电优值因子行为的高分辨显微成像，包括：亚表面热电 信号 原位激发模 块 ，用于原位激发被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克 电流 信号；热 电信号 原位检测模块，用于对被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号进行原位实时检测；热电信号显微成像模块，用于对亚表面热电优值因子信号的高分辨显微成像并显示。本申请的具有亚表面热电信号原位激发、原位同步表征的独特功能，且具有高 分辨率 、高灵敏度、高 信噪比 、测试直接等优点。本申请的关键技术装置结构简单、兼容性强，适与不同商用扫描 电子 显微镜 系统相结合，是一项易于推广和应用的新技术。，下面是一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置专利的具体信息内容。
1.一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，用于实现一被测热电材料样品的亚表面热电优值因子行为的高分辨显微成像，其特征在于，所述装置进一步包括：
亚表面热电信号原位激发模块，用于原位激发所述被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号；
热电信号原位检测模块，用于对所述被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号进行原位实时检测；
热电信号显微成像模块，用于对亚表面热电优值因子信号的高分辨显微成像并显示；
其中，所述热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号与所述热电优值因子的关系为：
其中，所述I2ω为非线性2ω的塞贝克电流，Π、ZT、τ、P为热电材料的帕尔帖系数、热电优值因子、非线性束流特征弛豫时间及电子动能转化的热功率密度，所述非线性2ω的塞贝克电流I2ω的大小反映所述被测材料样品的微区热电优值因子行为的分布不均匀性。
2.根据权利要求1所述的热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，所述亚表面热电信号原位激发模块进一步包括：
一电子枪，一电子束偏转器，一信号发生器，一扫描电子显微镜镜筒，一扫描电子显微镜样品室和一热电信号探测器，所述信号发生器控制所述电子束偏转器，自所述电子枪发出的电子束通过所述电子束偏转器，进入所述扫描电子显微镜镜筒，再入射到所述扫描电子显微镜样品室上的所述被测热电材料样品，所述热电信号探测器用以原位检测所述被测热电材料样品与周期性调制电子束相互作用所产生的微弱亚表面热电电流信号。
3.根据权利要求2所述的热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，
所述扫描电子显微镜镜筒包括:第一聚光镜、第二聚光镜、扫描线圈和物镜。
4.根据权利要求1至3中任何一项所述的热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，所述热电信号探测器进一步包括：
一探测器上盖，一金属垫圈，一绝缘体,一探测器壳体，一信号输出端，一定位端，所述探测器上盖设置在所述被测热电材料样品上，所述被测热电材料样品底部依次设置所述金属垫圈、所述绝缘体、所述探测器壳体和所述定位端依次相连，所述信号输出端与所述金属垫圈底部相连，用于有效输出所述热电信号。
5.根据权利要求4所述的热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，
所述亚表面热电信号原位检测模块进一步包括：一前置放大器和一锁相放大器，其中，所述热电信号探测器的信号端、所述前置放大器和所述锁相放大器依次相连，实现对所述非线性2ω的塞贝克电流I2ω的原位检测和处理。
6.根据权利要求5所述的热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，
所述亚表面热电信号显微成像模块进一步包括：一扫描电子显微镜控制系统以及一计算机系统，用以实现亚表面热电信号的原位实时处理和显示高分辨显微成像结果。
7.根据权利要求6所述的热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，
所述电子束偏转器置于所述扫描电子显微镜镜筒中第一级光阑和第二级光阑之间。
8.根据权利要求7所述的热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，
所述电子束偏转器由一对平行金属极板构成，一端接地，另一端与所述信号发生器输出端相连，所述平行金属极板间距为3mm～10mm之间。
9.根据权利要求8所述的热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，
所述电子束偏转器两端的交变激励电压幅度范围为30V～100V、工作频率范围1kHz～
200kHz，用以实现所述电子束的周期性调制。
一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置
技术领域
背景技术
[0002] 基于热能与电能相互转换效应的热电材料作为当前一种重要的能源材料，在工业余废热和汽车尾气废热的回收利用、高精度温控器件、空间技术、军事装备、信息技术等众多重要高新技术领域中具有十分广阔的应用前景，因而引起了世界各国的极大关注，如美国开发半导体热电材料实现核反应热能转变为电能的高效太空电源，为其重返月球及未来载人火星探测计划提供高效可靠的能源保证。
[0003] 热电优值因子(又称为ZT因子)是表示热电材料性能高低和热电转换效率高低的唯一指标。热电优值因子的定义为：
[0004] ZT＝S2σT/κ (1)
[0005] 其中，
[0006] S――热电材料的塞贝克系数
[0007] σ――电导率
[0008] T――绝对温度
[0009] κ――热导率
[0010] 热电优值因子的确定通常是分别测出电导率、塞贝克系数和热导率等参数，然后根据ZT因子的定义便可确定被测材料的热电优值因子。迄今为止，尚无能够实现热电优值因子空间分布的高分辨显微成像技术，由此，难以直观理解和揭示微区热电输运的动态规律。为了开发高热电转换效率的热电材料，迫切需要发展新的表征技术以实现热电微结构与热电输运行为之间构效关系的深入理解，特别是能够实现热电材料和器件热电优值因子行为的高分辨显微成像的表征技术，以推动高性能、高转换效率、新型热电材料和器件的自主创新研发。发明内容
[0011] 基于目前热电材料和热电器件亚表面热电输运性能研究之急需，本申请在普通扫描电子显微镜平台上提出了一种亚表面热电优值因子行为高分辨显微成像的新方法，并藉此建立了电子束调制扫描热电显微镜，实现了热电材料和热电器件内部热电行为的原位、无损高分辨显微成像，为有关热电材料和热电器件的物性评价提供了一种高分辨原位表征技术。
[0012] 本申请公开了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，用于实现一被测热电材料样品的亚表面热电优值因子行为的高分辨显微成像，其特征在于，所述装置进一步包括：亚表面热电信号原位激发模块，用于原位激发所述被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号；
[0013] 热电信号原位检测模块，用于对所述被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号进行原位实时检测；
[0014] 热电信号显微成像模块，用于对亚表面热电优值因子信号的高分辨显微成像并显示；
[0015] 其中，所述热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号与所述热电优值因子的关系为：
[0016]
[0017] 其中，所述I2ω为非线性2ω的塞贝克电流，Π、ZT、ι、P为热电材料的帕尔帖系数、热电优值因子、非线性束流特征弛豫时间及电子动能转化的热功率密度，所述非线性2ω的塞贝克电流I2ω的大小反映所述被测材料样品的微区热电优值因子行为的分布不均匀性。
[0018] 比较好的是，本发明进一步揭示了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，所述亚表面热电信号原位激发模块进一步包括：
[0019] 一电子枪，一电子束偏转器，一信号发生器，一扫描电子显微镜镜筒，一扫描电子显微镜样品室和一热电信号探测器，所述信号发生器控制所述电子束偏转器，自所述电子枪发出的电子束通过所述电子束偏转器，进入所述扫描电子显微镜镜筒，再入射到所述扫描电子显微镜样品室上的所述被测热电材料样品，所述热电信号探测器用以原位检测所述被测热电材料样品与周期性调制电子束相互作用所产生的微弱亚表面热电电流信号。
[0020] 比较好的是，本发明进一步揭示了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，所述扫描电子显微镜镜筒包括:第一聚光镜、第二聚光镜、扫描线圈和物镜。
[0021] 比较好的是，本发明进一步揭示了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，所述热电信号探测器进一步包括：
[0022] 一探测器上盖，一金属垫圈，一绝缘体,一探测器壳体，一信号输出端，一定位端，所述探测器上盖设置在所述被测热电材料样品上，所述被测热电材料样品底部依次设置所述金属垫圈、所述绝缘体、所述探测器壳体和所述定位端依次相连，所述信号输出端与所述金属垫圈底部相连，用于有效输出所述热电信号。
[0023] 比较好的是，本发明进一步揭示了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，
[0024] 所述亚表面热电信号原位检测模块进一步包括：一前置放大器和一锁相放大器，其中，所述热电信号探测器的信号端、所述前置放大器和所述锁相放大器依次相连，实现对所述非线性2ω的塞贝克电流I2ω的原位检测和处理。
[0025] 比较好的是，本发明进一步揭示了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，所述亚表面热电信号显微成像模块进一步包括：一扫描电子显微镜控制系统以及一计算机系统，用以实现亚表面热电信号的原位实时处理和显示高分辨显微成像结果。
[0026] 比较好的是，本发明进一步揭示了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，所述电子束偏转器置于所述扫描电子显微镜镜筒中第一级光阑和第二级光阑之间。
[0027] 比较好的是，本发明进一步揭示了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，所述电子束偏转器由一对平行金属极板构成，一端接地，另一端与所述信号发生器输出端相连，所述平行金属极板间距为3mm～10mm之间。
[0028] 比较好的是，本发明进一步揭示了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，其特征在于，所述电子束偏转器两端的交变激励电压幅度范围为30V～100V、工作频率范围1kHz～200kHz，用以实现所述电子束的周期性调制。
[0029] 本申请提供了能用于热电材料和热电器件内部热电行为高分辨显微成像的一种装置。将扫描电子显微镜成像功能、周期性调制电子束与热电材料互作用的热波效应、焦耳热效应、热电塞贝克效应、热电帕尔帖效应等多重物理效应相结合，从而建立其可有效原位激发热电材料及热电器件的亚表面热电信号并实现高分辨热电显微成像的电子束调制扫描热电显微镜。本申请不仅具有亚表面热电信号原位同时激发、原位同步表征的独特功能，而且具有高分辨率、高灵敏度、高信噪比、测试直接等优点。本申请所述的关键技术装置结构简单、兼容性强，适与不同商用扫描电子显微镜系统相结合，是一项易于推广和应用的新技术。
[0030] 电子束调制扫描热电显微镜拓展了现有商用扫描电子显微镜所不具有的热电材料和热电器件亚表面热电物性评价功能，为深入研究热电材料的热电输运理论及热电材料及其器件的创新研发提供了重要的原位、高分辨表征新方案。附图说明
[0031] 下面，参照附图，对于熟悉本技术领域的人员而言，从对本申请的详细描述中，本申请的上述和其他目的、特征和优点将显而易见。
[0032] 图1示意出本申请的亚表面热电行为显微成像技术的电子束调制扫描热电显微镜的原理图；
[0033] 图2(a)为周期性方波调制电子束波形图；
[0034] 图2(b)为周期性调制电子束与热电材料相互作用原位激发非线性束流示意图；
[0035] 图3示意出本申请的亚表面热电行为显微成像装置的结构框图；
[0036] 图4示意出图3中所述扫描电子显微镜镜筒主体的结构框图；
[0037] 图5示意出图3中所述亚表面热电信号探测器的结构框图；
[0038] 图6示意出CoSb3热电材料亚表面热电行为的高分辨成像结果；
[0039] 图7示意出Bi2Te3热电器件的亚表面热电行为的高分辨成像结果。
[0040] 附图标记
[0041] 11——电子枪
[0042] 12——电子束偏转器
[0043] 13——扫描电子显微镜镜筒
[0044] 14——扫描电子显微镜样品室
[0045] 15——热电信号探测器
[0046] 16——前置放大器
[0047] 17——锁相放大器
[0048] 18——扫描电子显微镜控制系统
[0049] 19——计算机系统
[0050] 20——信号发生器
[0051] 131——第一聚光镜
[0052] 132——第二聚光镜
[0053] 133——扫描线圈
[0054] 134——物镜
[0055] 14――扫描电子显微镜样品室
[0056] 151――被测热电材料样品
[0057] 152――金属垫圈
[0058] 153――探测器上盖
[0059] 154――探测器壳体
[0060] 155――信号输出端
[0061] 156――绝缘体
[0062] 157――定位端
[0063] 100――亚表面热电信号原位激发模块
[0064] 200――亚表面热电信号原位检测模块
[0065] 300――亚表面热电信号原位成像模块
具体实施方式
[0066] 以下实例均是应用本申请的电子束调制扫描热电显微镜对热电材料和热电器件的亚表面热电行为成像的结果，以进一步说明本申请的效果，但并非仅限于下述实施例。
[0067] 本申请建立了一种热电材料亚表面热电行为的显微成像的新方法和新装置。
[0068] 本申请相关的工作原理如图1所示，具体可表述如下:
[0069] 步骤S1，当扫描电子显微镜电子束被一频率为ω的交变电压进行周期性调制时；
[0070] 步骤S2，将在热电材料样品内部形成频率为ω的周期性热波；
[0071] 步骤S3，由于热电材料的热电塞贝克效应，热电帕尔帖效应等特有的物理效应，周期性热波与热电材料互作用将产生非线性2ω的塞贝克电流；
[0072] 步骤S4，根据热波的频谱关系，热波穿透深度受热波调制频率决定。频率越高，热波穿透深度浅；反之，热波穿透深度深，因此，不同频率下的热波所激发的热电效应可反映热电材料内部不同深度的热电响应行为；
[0073] 步骤S5，根据热电效应和频谱关系，由此，原位检测不同频率下的2ω的塞贝克电流即可实现热电材料微区内部(即亚表面)热电行为的高分辨显微成像。
[0074] 图2(a)和(b)给出了周期性方波调制电子束及其原位激发非线性束流的示意图。
[0075] 理论分析表明，该2ω-电流直接与热电优值因子(ZT)密切关联。理论分析详细如下：
[0076] 图2(a)为周期性方波调制电子束波形图，图2(b)为周期性调制电子束与热电材料相互作用原位激发非线性束流示意图，周期性电子束与热电材料互作用将产生多重物理效应，包括焦耳热效应、塞贝克效应、帕尔帖效应等。如图2(b)所示，根据传热学原理，热电微区通用导热方程可写作如下形式：
[0077]
[0078] 公式(2)中，
[0079] c――热电样品的热容
[0080] ρ――热电样品的密度
[0081] σ――电导率
[0082] Π――Peltier系数
[0083] λ――热导率
[0084] 其中，T(t)和 表示动态分布的温度和电势。式中右边第一项为Peltier效应产生的热流密度，第二项为温度梯度产生的热流密度，第三项为焦耳热效应产生的功率密度，第四项p表示电子动能转化的热功率密度。温度梯度激发了塞贝克效应，塞贝克效应关系可以由如下表达式给出：
[0085]
[0086] 结合热学和热电学基本关系：
[0087] cρa＝λ (4)
[0088]
[0090]
[0091] 经过傅立叶级数展开，其二倍频谐波信号的幅值可表达为：
[0092]
[0093] 其中，
[0094] Π――热电材料的帕尔帖系数
[0095] ZT――热电优值因子
[0096] τ――非线性束流特征弛豫时间
[0097] P――电子动能转化的热功率密度
[0098] 从上式可以看出，在一定频率下，由于其他各参数均为常量，因此，2ω-电流信号主要反映热电材料热电优值因子ZT值的大小，较大的2ω-电流信号反映材料中较高的热电优值因子特性。
[0099] 另一方面，根据热波的频谱关系，热波穿透深度受热波调制频率决定。频率越高，热波穿透深度浅；反之，热波穿透深度深。因此，不同频率下的热波所激发的热电效应可反映热电材料内部不同深度的热电响应行为。由此，原位检测不同频率下的2ω的塞贝克电流即可实现热电材料微区内部(即亚表面)热电行为的高分辨显微成像。
[0100] 基于该工作原理，本申请建立了一种基于扫描电子显微镜的亚表面热电行为的高分辨显微成像装置—电子束调制扫描热电显微镜
[0101] 本申请的亚表面热电行为显微成像装置结构框图请参见图3所示。
[0102] 包括三部分组成：亚表面热电信号的原位激发模块100、热电信号的原位检测模块200及热电信号的显微成像模块300。
[0103] 其中，亚表面热电信号原位激发模块100，用于原位激发热电材料亚表面热电塞贝克电流信号；亚表面热电信号原位检测模块200，用于实现热电材料亚表面热电塞贝克电流信号的原位实时检测和处理；热电信号显微成像模块300，用于实现亚表面热电信号的高分辨显微成像并显示结果。
[0104] 其中，亚表面热电信号原位激发模块100包括:一电子枪11，一电子束偏转器12，一扫描电子显微镜镜筒13，一扫描电子显微镜样品室14，一热电信号探测器15，一信号发生器20。所述电子枪11，电子束偏转器12，扫描电子显微镜镜筒13，扫描电子显微镜样品室14，热电信号探测器15依次相连，其中，信号发生器20信号输出端与电子束偏转器12相连。
[0105] 其中，电子束偏转器12由两块平行金属极板构成，置于扫描电子显微镜镜筒13中第一级光阑和第二级光阑之间，两块平行金属极板距离为3mm～10mm之间，其两端施加交变激励电压，其信号幅度范围为30V～100V、工作频率范围1kHz～200kHz，由此，通过电子束偏转器12的两块平行金属极板上的交变电压，实现对扫描电子显微镜电子枪11发射的电子束进行周期性调制。
[0106] 图4进一步示意了其中的扫描电子显微镜镜筒13的组成。
[0107] 包括：第一聚光镜131，第二聚光镜132，扫描线圈133及物镜134，构成扫描电子显微镜的镜筒主体结构。
[0108] 图5进一步示意了热电信号探测器15的组成。
[0109] 包括：被测热电材料样品151，金属垫圈152，探测器上盖153，探测器壳体154，信号输出端155，绝缘体156,定位端157；其中探测器上盖153、被测热电材料样品151、金属垫圈152、绝缘体156、探测器壳体154、定位端依次相连；信号输出端155与金属垫圈152底部相连，用于热电信号的有效输出。热电信号探测器15置于扫描电子显微镜样品室14上，通过定位端157相连。热电信号探测器15为亚表面热电信号原位激发的重要部件，其作用是被测热电材料样品151与周期性调制电子束相互作用并原位激发载有被测热电材料样品151内部热电输运信息的且极为微弱的亚表面热电信号。此时，被测热电材料样品151与周期性调制电子束产生焦耳热效应、热电塞贝克效应、热电帕尔帖效应等多重物理效应，从而有效原位激发与被测热电材料样品151内部热电输运密切关联的二倍频非线性热电塞贝克电流信号。
[0111] 图5中，信号输出端155通过电缆与金属垫圈152底部相连，实现亚表面热电信号有效输出。
[0112] 热电信号探测器定位端157与扫描电子显微镜样品室14的构件相连，以实现周期性调制的电子束对被测热电材料样品151的扫描及亚表面热电信号的激发。
[0113] 图2中的信号发生器20施加频率调制交变电压于电子束偏转器12上，从而实现对电子枪发射的电子束进行周期性调制，该频率调制的电子束经扫描电子显微镜镜筒主体13入射于扫描电子显微镜样品室14上的热电信号探测器15的被测热电材料样品151上；周期性调制的电子束对被测热电材料样品151进行周期性扫描，从而在热电样品内部产生周期性热波，并进而因热电塞贝克效应和帕尔帖效应在热电材料内部产生非线性二倍频热电塞贝克电流信号。该电流信号经与热电试样151紧密相连的金属垫圈152底端的信号输出端155输出。
[0114] 亚表面热电信号原位检测模块200包括：一前置放大器16，一锁相放大器17。其中前置放大器16一端与热电信号探测器15的信号输出端155相连，另外一端与前置放大器16输入端相连。前置放大器16输出端与锁相放大器17的信号输入端相连，锁相放大器17的参考信号端与信号发生器20同步信号端口相连。高灵敏度前置放大器16与锁相放大器17共同构成亚表面热电信号原位检测模块200，具有测量灵敏度高、抗干扰性强、且具线性和非线性检测功能、满足系统工作要求等优点，可实现微弱热电信号的高灵敏度检测。
[0115] 亚表面热电信号原位成像模块300包括：一扫描电子显微镜控制系统18以及计算机系统19。锁相放大器17的信号输出端输出非线性2ω塞贝克电流信号于扫描电子显微镜控制系统18和计算机系统19，实现亚表面热电信号的原位实时处理和成像，并显示高分辨成像结果。
[0116] 实施例1
[0117] 应用本申请建立的亚表面热电信号高分辨显微成像装置—电子束调制扫描热电显微镜对热电材料和器件微区亚表面热电行为进行了测试，结果如图6和图7所示。
[0118] 图6给出了一Bi2Te3块体热电材料在不同频率下的热电显微成像结果，其中图(a)为样品表面形貌的二次电子像，图(b-i)为样品的二倍频热电塞贝克电流像。从图中可以看出，热电塞贝克电流像显示出与图(a)形貌像完全不同的信息，其明暗衬度反映出材料微区热电优值因子空间分布不均匀性，这与内部缺陷对热电输运载流子强烈散射密切关联。不同频率的热电显微像反映出调制电子束不同穿透深度的热电缺陷结构，随着调制频率的降低，穿透深度逐渐增大，内部缺陷颗粒的轮廓逐渐显现并愈加清晰，显示出不同深度的缺陷对热电输运行为影响。
[0119] 实施例2
[0120] 图7(a)为一Bi2Te3块体热电器件的热电显微成像结果，其中图(a)为该热电器件表面形貌的二次电子像，显示器件表面的热电材料和金属电极的形貌像，图(b)为图(a)中方框区域的热电显微像，图中可以明显看出，热电材料显示出热电衬度信息，而器件的金属电极部分却无，由此充分说明了电子束调制的扫描热电显微术衬度仅来源于热电效应。图(b)中热电材料复杂的热电衬度像反映出热电材料内部微区热电输运载流子与微区晶粒、晶界、缺陷等微结构互作用行为，反映了热电器件内部热电优值因子的不均匀性，同时也反映了热电输运的空间不均匀性。
[0121] 上述实例表明了基于扫描电子显微镜建立的电子束调制扫描热电显微镜装置解决了热电材料和器件内部亚表面热电优值因子行为高分辨显微成像这一关键技术难题。该新型显微成像装置实现了材料和器件内部热电行为的原位激发和原位检测，拓展了现有商用扫描电子显微镜所不具有的亚表面热电行为高分辨显微成像的功能，为深入研究热电材料和热电器件内部热电微结构与热电输运之间的关联本质，特别是亚表面热电输运动态行为提供了一种重要的原位表征新方法。
[0122] 综上所述，本申请突出优点将扫描电子显微镜成像功能、电子束调制技术、调制电子束与材料互作用的热波效应以及热电材料的塞贝克效应和帕尔帖效应相结合，发展亚表面热电行为表征的新方法，建立起基于扫描电子显微镜的电子束调制的扫描热电显微成像，实现热电材料和热电器件亚表面的热电输运行为的高分辨显微成像。
[0123] 本申请的具有亚表面热电信号原位激发、原位同步表征的独特功能，且具有高分辨率、高灵敏度、高信噪比、测试直接等优点。本申请所述的关键技术装置结构简单、兼容性强，适与不同商用扫描电子显微镜系统相结合，是一项易于推广和应用的新技术，可望在热电材料、半导体材料及其它材料和器件等领域中获得重要应用。
[0124] 前面提供了对较佳实施例的描述，以使本领域内的任何技术人员可使用或利用本申请。对这些实施例的各种修改对本领域内的技术人员是显而易见的，可把这里所述的总的原理应用到其他实施例而不使用创造性。因而，本申请将不限于这里所示的实施例，而应依据符合这里所揭示的原理和新特征的最宽范围。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
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