专利汇可以提供相变薄膜微区光谱测量装置和测量方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种 相变 薄膜 微区 光谱 测量装置和测量方法,该装置由 光源 、光阑、斩光器、第二半反半透镜、第三半反半透镜、物镜、成像透镜、第一透镜、第一光谱仪、第一光电探测器、 锁 相 放大器 、第二光电探测器、第二光谱仪、第二透镜、第三透镜、声光器件、第四透镜、扩束镜、 激光器 和计算机构成,本 发明 可以测试待测样品在激光不同激 发条 件下,包括不同激光功率、脉宽、重复 频率 、作用次数的激光诱导相变前后的微区 透射光 谱和反射光谱。可用于评价相变薄膜的微区光学响应特性和光热 稳定性 。,下面是相变薄膜微区光谱测量装置和测量方法专利的具体信息内容。
1、一种相变薄膜微区光谱测量装置,其特征在于:该装置由光源(1)、光阑 (2)、斩光器(3)、第二半反半透镜(5)、第三半反半透镜(6)、物镜(7)、成像透 镜(9)、第一透镜(10)、第一光谱仪(11)、第一光电探测器(12)、锁相放大器 (13)、第二光电探测器(14)、第二光谱仪(15)、第二透镜(16)、第三透镜(17)、 声光器件(18)、第四透镜(19)、扩束镜(20)、激光器(21)和计算机(24)构 成,其位置关系如下:由所述的光源(1)出射的光经光阑(2),通过斩光器(3) 的调制,再依次经过第二半反半透镜(5)、第三半反半透镜(6)透过的光经过物镜(7) 聚焦照射到样品台上的样品(8)的表面上,透过所述的样品(8)的光经过成像透 镜(9)和第一透镜(10)进入第一光谱仪(11),光谱信号由第一光电探测器(12) 探测;被所述的样品(8)反射的光经过所述的物镜(7)返回成像,然后经所述的 第三半反半透镜(6)的反射后,经第二透镜(16)的聚焦进入所述的第二光谱仪(15), 光谱的信号由第二光电探测器(14)探测,所述的第一光电探测器(12)和第二光 电探测器(14)的输出端与锁相放大器(13)的输入端相连,所述的第一光电探测 器(12)和第二光电探测器(14)的第二输出端与计算机(24)相连,该计算机(24) 的输出端接所述的锁相放大器(13)的第三输入端,该锁相放大器(13)参考输入 端接所述的斩光器(3),在所述的第二半反半透镜(5)的反射光方向依次是第三 透镜(17)、声光器件(18)、第四透镜(19)、扩束镜(20)和激光器(21)。
2、根据权利要求1所述的相变薄膜微区光谱测量装置,其特征在于所述的待 测样品(8)置于三维平移台上。
3、根据权利要求1所述的相变薄膜微区光谱测量装置,其特征在于在所述的 斩光器(3)和第二半反半透镜(5)之间设有第一半反半透镜(4),在所述的第一半 反半透镜(4)的反射光方向依次有衰减片(22)和CCD探测器(23)。
4、根据权利要求1所述的相变薄膜微区光谱测量装置,其特征在于在所述的 激光器(21)是He-Ne激光器。
5、利用权利要求1所述的相变薄膜微区光谱测量装置进行相变薄膜微区光谱测 量的方法,其特征在于包括下列步骤:
①用信号线将所述的斩光器(3)的频率输出信号输出端与锁相放大器(13) 的参考输入端相连;将第一光电倍增管(12)和第二光电倍增管(14)的信号输出 端与所述的锁相放大器(13)的信号输入端相连;用串口线将第一光谱仪(11)、 第二光谱仪(15)和锁相放大器与计算机(24)的串口相连;
②顺次开启各仪器的电源,打开计算机(24)上的控制软件,保证串口连接; 设置第一光谱仪(11)、第二光谱仪(15)和锁相放大器(13)的参数,启动第一 光谱仪(11)和第二光谱仪(15)使光栅复位,待光源稳定,调整光路;
③在所述的三维平移台上先不放置待测样品(8),第一光电倍增管(12)探测 所述的第一光谱仪(11),记录透过的基准信号,并将该透过的基准信号数据存储 在所述的计算机(24)硬盘上;
④在所述的三维平移台上放置一反射镜,调整第二透镜(16),使由反射镜反 射的光经所述的第三半反半透镜(6)的反射、由第二透镜(16)聚焦后进入所述的 第二光谱仪(15)的狭缝,由第二光电倍增管(14)探测所述的第二光谱仪(15) 的光谱,获得反射的基准信号,并将该反射的基准信号数据存储在所述的计算机 (24)硬盘上;
⑤在所述的三维平移台上放置所述的待测样品(8),通过微调使光源光束的焦 点聚焦在待测样品(8)的表面,并适当前后调整所述的第一透镜(10),使光斑照 射在第一光谱仪(11)的狭缝上,以收集到更强的光信号,设置扫描范围,把透射 光谱扫描并通过第一光电倍增管(12)记录下来,所获得的待测样品(8)的透射 光谱数据保存在所述的计算机(24)硬盘上;
⑥调整第二透镜(16),使光斑照射在第二光谱仪(15)的狭缝上,以收集到 更强的光信号,设置扫描范围,把反射光谱扫描并通过第二光电倍增管(14)记录 下来,所获得的待测样品(8)的反射光谱数据保存在所述的计算机(24)的硬盘 上;
⑦计算机(24)将待测样品的透射光谱数据与透射基准信号进行除法运算得到 透射率谱;
⑧计算机(24)将待测样品的反射光谱数据谱与所述的反射基准信号进行除法 运算得到反射率谱。
6、根据权利要求5所述的相变薄膜微区光谱测量的方法,其特征在于还包括下 列步骤,以获得激光辐照微区后的光谱:
⑨开启所述的激光器(21),激光经所述的扩束镜(20)、第四透镜(19)、声 光器件(18)和第三透镜(17),激光的脉宽由所述的声光器件(18)的函数发生 器控制,经过调制的激光照射在待测样品(8)上的位置和所述的光源(1)的光束 的照射的位置重合:
⑩再重复所述的④~⑧步骤,又获得激光辐照微区后的透射率谱和反射率谱。
本发明涉及光学薄膜,特别是一种相变薄膜微区光谱测试装置和测量方法。
技术背景
光谱的变化源于物质结构的相变,因此通过物质光谱的测量可以研究物质结构 的变化。而普通光谱仪对于微米量级尺寸的微小区域的测量往往误差很大。对于相 变薄膜材料,一般是通过加热退火的方法研究结构相变,但是如果用微小激光束加 热,用普通光谱仪进行测量则很难实现微小相变区域定位。文献(参见文献1,郭 红莲,程丙英等,微区光谱技术在细胞生物学中的应用,量子电子学报,Vol.19,No3, 2002:223-225)报道了一种用于细胞微区测量的光谱仪。虽然可以用于微小尺寸待测 样品的光谱分析,但对于相变材料的微小结构分析同样存在上述问题。
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