离子束照射装置专利检索-条形码贴标专利检索查询-专利查询网

离子束照射装置

阅读：734发布：2024-01-10

专利汇可以提供离子束照射装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且离子束照射装置(10)具备：真空槽(14)，其收容对基板 (S)进行保持的输送托盘(T)；输送部，其在真空槽(14)内向输送方向输送输送托盘(T)；离子束照射部(21L、21U)，其向真空槽(14)内的预定的照射位置照射离子束；以及位置检测部(23A-23D)，其检测输送托盘(T)的位置。位置检测部(23A-23D)通过输送托盘(T)的输送而在预定的拍摄位置对表示输送托盘(T)上的部位的、沿输送方向排列且彼此不同的多个指标分别进行拍摄，基于所拍摄到的指标来检测出输送托盘(T)相对于拍摄位置的位置。，下面是离子束照射装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种离子束照射装置，具备：真空槽，其收容对基板进行保持的输送托盘；输送部，其在所述真空槽内向输送方向输送所述输送托盘；离子束照射部，其向所述真空槽内的预定的照射位置照射离子束；以及位置检测部，其检测所述输送托盘的位置，其特征在于，所述位置检测部通过所述输送托盘的输送而在预定的拍摄位置对表示所述输送托盘上的部位的、沿所述输送方向排列且彼此不同的多个指标分别进行拍摄，基于所拍摄到的所述指标来检测出所述输送托盘相对于所述摄像位置的位置。
2.根据权利要求1所述的离子束照射装置，其中，
所述离子束照射部具备：
输出检测部，其检测离子束的输出；
取得部，其以预定的周期取得所述位置检测部的检测结果和所述输出检测部的检测结果；以及
存储部，其将所述位置检测部的检测结果和所述输出检测部的检测结果以彼此关联的方式存储，所述位置检测的检测结果和所述输出检测部的检测结果是所述取得部取得的检测结果。
3.根据权利要求2所述的离子束照射装置，其中，
所述输出检测部检测离子束的输出停止。
4.根据权利要求3所述的离子束照射装置，其中，
所述输送部在输送处理的开始位置和该输送处理的结束位置之间输送所述输送托盘，所述输送部具备控制部，该控制部控制所述输送部的输送，
所述存储部将所述位置检测部的检测结果中的、与所述输出停止进行关联的检测结果作为停止位置而存储，
在所述输出检测部检测出输出停止时，
所述控制部以使所述输送托盘在所述开始位置和所述结束位置之间进行往返的方式驱动所述输送部，
所述离子束照射部基于所述停止位置和所述位置检测部的检测结果，而向所述基板上的离子束未照射部位输出离子束。
5.根据权利要求4所述的离子束照射装置，其中，
在所述输出检测部检测出输出停止时，
所述控制部向所述输送方向输送所述输送托盘直到所述输送托盘相对于所述拍摄位置的位置处于离子束没有照射到所述基板上的非照射位置后，从所述非照射位置向所述输送方向的反方向输送所述输送托盘，
所述离子束照射部在所述输送托盘相对于所述拍摄位置的位置到达所述非照射位置时再次开始离子束的照射，并在所述输送托盘相对于所述拍摄位置的位置到达所述停止位置时停止所述离子束的照射。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的离子束照射装置，其中，
所述多个指标分别为条形码，并且其在所述输送托盘的输送方向上从所述输送托盘的一端排列到另一端。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的离子束照射装置，其中，
所述离子束照射部具备输出离子束的离子源，
所述位置检测部相对于所述输送托盘被配置在所述离子源的相反侧上。
8.根据权利要求7所述的离子束照射装置，其中，
所述位置检测部被配置在与所述离子源的照射位置不对置的位置上。
9.根据权利要求1-8中任意一项所述的离子束照射装置，其中，
所述离子束照射部的照射位置由在与所述输送方向交叉的交叉方向上被划分且彼此接触的第1照射位置和第2照射位置组成，
所述离子束照射部具备：第1离子源，其向所述第1照射位置照射离子束；以及第2离子源，其向所述第2照射位置照射离子束。
10.根据权利要求9所述的离子束照射装置，其中，
所述多个指标分别为条形码，
所述输送托盘具有2个条形码群，该条形码群由多个所述条形码构成，所述2个所述条形码群在所述交叉方向上以夹着所述第1照射位置和第2照射位置的方式配置，并且由所述第1照射位置侧的第1条形码群和所述第2照射位置侧的第2条形编码群构成，
所述位置检测部由第1位置检测部和第2位置检测部构成，所述第1位置检测部被配置在与所述第1条形码群彼此对置的位置上并拍摄所述第1条形码群，所述第2位置检测部被配置在与所述第2条形码群彼此对置的位置上并拍摄所述第2条形码群，在所述第1离子源输出时，所述离子照射部取得第2位置检测部的检测结果，在所述第2离子源输出时，所述离子照射部取得第1位置检测部的检测结果。

说明书全文

离子束照射装置

技术领域

[0001] 本发明涉及向各种基板、例如构成大型FPD(Flat Panel Display，平板显示器)的基板等照射离子束的离子束照射装置。

背景技术

[0002] 有机EL显示器或液晶板显示器等大型FPD经过向构成大型FPD的基板照射离子束的处理而被制造。作为进行这样的离子束照射处理的装置，已知有例如如专利文献1所记载的一种装置，其使用多个离子源，并且只使基板向输送方向输送，就可以多次进行离子束的照射。根据这样的构成，与由单个的离子源进行离子束照射的构成相比，能够容易使照射到基板上的离子束的剂量或能量等照射特性多样化。

[0003] 现有技术文献

[0004] 专利文献

[0005] 专利文献1：日本特开2011-129332号公报

[0006] 可是，在如上述的离子束照射装置中，随着基板的大型化的普及，会有不少的这样的情况：离子束对基板的照射时间超过离子源的输出被维持的时间。在这样的情况下，在正在对基板照射离子束的中途，来自离子源的输出下降或停止，其结果，会产生这样的问题：离子束的照射量在基板的面内产生偏差。这点，若是上述专利文献1所记载的构成的话，可以考虑通过增加基板的输送次数、调整各个离子源的输出、或通过并用这些等的方法来弥补照射量的不足，即使在基板面内上的照射量均匀。

[0007] 另一方面，基板在如上述的装置中的输送通常是通过配置在输送路径上的输送滚子的转动，即、使输送滚子转动的电机的转动来进行。并且，如果在离子源的输出下降时或输出停止时离子束多次重叠照射在以这样的状态被输送的基板上，在面内的照射量均匀的基础上，需要在每次照射时准确地检测出离子束在基板上的照射位置。但是，在上述的输送系统中，由于保持基板的输送托盘相对于输送机构进行滑动的情况也不少，所以单从电机的转动位置检测出基板位置的方式中，基板位置的检测结果本身产生偏差。

[0008] 其结果，只要这样的基板位置的检测误差不减少，即使采取如上述的任何方法，基板面内的照射量的偏差依然不会减少。所以，在离子束照射装置中要求更准确地检测出在基板上的照射位置。

发明内容

[0009] 本发明是鉴于这样的实情而做出的，其目的在于，提供一种能够提高离子束在基板上的照射位置的检测精度的离子束照射装置。

[0010] 以下，记载用于解决上述课题的方法及其作用效果。

[0011] 根据本发明的第1方式为，一种离子束照射装置，具备：真空槽，其收容对基板进行保持的输送托盘；输送部，其在所述真空槽内向输送方向输送所述输送托盘；离子束照射部，其向所述真空槽内的预定的照射位置照射离子束；以及位置检测部，其检测所述输送托盘的位置，其中，所述位置检测部通过所述输送托盘的输送而在预定的拍摄位置对表示所述输送托盘上的部位并沿所述输送方向排列的彼此不同的多个指标分别进行拍摄，基于所拍摄到的所述指标来检测出所述输送托盘相对于所述摄像位置的位置。

[0012] 在本发明的第1方式中，通过对表示在输送托盘上的各个部位的多个指标分别进行拍摄，从而检测出输送托盘相对于拍摄位置的位置。这时，拍摄指标的拍摄位置和离子束照射的照射位置的相对关系在输送托盘被输送的期间也被维持在预定的关系。因此，在每次由位置检测部检测出输送托盘上的指标时，检测出输送托盘相对于拍摄位置的位置、即输送托盘相对于照射位置的位置。并且，与从输送输送托盘的输送机构的驱动量等检测出输送托盘的位置的方式相比，可以直接检测出输送托盘相对于照射位置输送托盘的位置。其结果，即使在输送输送托盘的输送机构和输送托盘上产生偏差的情况下，也能抑制因为这样的偏差而产生检测位置的误差。进而，能够提高被保持在输送托盘上的照射位置的检测精度。

[0013] 在本发明的第2方式中，所述离子束照射部具备：输出检测部，其检测离子束的输出；取得部，其以预定的周期取得所述位置检测部的检测结果和所述输出检测部的检测结果；以及存储部，其将所述位置检测部的检测结果和所述输出检测部的检测结果以彼此关联的方式存储，所述位置检测的检测结果和所述输出检测部的检测结果是所述取得部取得的检测结果。

[0014] 根据本发明的第2方式，由于位置检测部的检测结果和输出检测部的检测结果以彼此对应的方式存储，所以可以从被存储在存储部中的信息掌握以所需输出照射离子束的基板的部位。换句话来讲，可以掌握以所需输出以外的输出照射离子束的基板的部位、或没有照射离子束的基板的部位。因此，可以以高精度对离子束照射不足的基板的部位进行用于弥补照射不足的进一步的照射处理。

[0015] 在本发明的第3方式中，所述输出检测部检测离子束的输出停止。

[0016] 根据本发明的第3方式，可以掌握基板上的照射位置中的、成为输出停止的位置。因此，即使对于离子束变成输出停止的位置也能提高检测精度，进而可以以高精度对离子束没有照射的基板的部位再次进行照射处理。

[0017] 在本发明的第4方式中，所述输送部在输送处理的开始位置和该输送处理的结束位置之间输送所述输送托盘，所述输送部具备控制部，该控制部控制所述输送部的输送，所述存储部将所述位置检测部的检测结果中的、与所述输出停止进行关联的检测结果作为停止位置而存储，在所述输出检测部检测出输出停止时，所述控制部以使所述输送托盘在所述开始位置和所述结束位置之间进行往返的方式驱动所述输送部，所述离子束照射部基于所述停止位置和所述位置检测部的检测结果，而向所述基板上的离子束未照射部位照射离子束。

[0018] 如上所述，随着为离子束的照射对象的基板的大型化，会有不少这样的情况，即基板在横穿离子束的照射位置的途中，会产生离子束的输出停止。

[0019] 这点，在本发明的第4方式中，在检测出离子束的输出停止时，这时的输送托盘相对于拍摄位置的位置作为与输出停止进行关联的停止位置而被存储在存储部中。并且，在输送托盘相对于拍摄位置的位置处于停止位置和结束位置之间时，再度输出离子束。因此，对于离子束没有照射的部位，以较高的位置精度再次进行离子束的照射。

[0020] 在本发明的第5方式中，在所述输出检测部检测出输出停止时，所述控制部向所述输送方向输送所述输送托盘直到所述输送托盘相对于所述拍摄位置的位置处于离子束没有照射在所述基板上的非照射位置后，从所述非照射位置向所述输送方向的反方向输送所述输送托盘，所述离子束照射部在所述输送托盘相对于所述拍摄位置的位置到达所述非照射位置时再次开始离子束的照射，并在所述输送托盘相对于所述拍摄位置的位置到达所述停止位置时停止所述离子束的照射。

[0021] 在离子束照射部中，通常，使离子束的输出到达所需的设定值的为止所需的时间比企图停止离子束的输出所需的时间长。

[0022] 这点，在本发明的第5方式中，在检测出离子束的输出停止时，这时的输送托盘相对于拍摄位置的位置作为与输出停止进行关联的停止位置而被存储在存储部中。并且，在输送托盘被输送到非照射位置后，再次开始离子束的照射，之后开始向与之前进行离子束的照射时相反的方向输送输送托盘，并在输送托盘相对于拍摄位置的位置到达停止位置时，停止离子束的照射。因此，可以对基板上的没有进行离子束的照射的部位，以高位置精度再次进行离子束的照射。

[0023] 并且，在对离子束的照射不足的部位再次照射离子束的方式中列举了如下方式：从停止位置向输送方向输送输送托盘，从而对基板扫描离子束；以及，朝向与输送方向相反的方向输送输送托盘直到停止位置，从而对基板扫描离子束。这些方式中的、在从停止位置向输送方向输送输送托盘的方式中，由于需要在输送托盘配置在停止位置之前再次开始离子束的输出，所以对已经照射离子束的位置会有一点点被再次照射离子束。

[0024] 这点，在本发明的第5方式中，在发生了输出停止后的离子束的照射通过向与输送方向相反的方向输送输送托盘来进行。因此，与从停止位置向输送方向输送输送托盘的方式相比，以离子束的输出维持在设定值的状态对基板进行离子束的照射。由此，即使离子束的输出在照射的途中停止，也可以从基板上的输送方向的一端到另一端抑制离子束的照射量的偏差的同时，能够从基板上的输送方向的一端到另一端进行离子束的照射。

[0025] 在本发明的第6方式中，所述多个指标分别为条形码，并且其在所述输送托盘的输送方向上从所述输送托盘的一端排列到另一端。

[0026] 在本发明的第6方式中，多个条形码被排列在输送托盘上，而且该多个条形码在所述输送托盘的输送方向上从输送托盘的一端排列到另一端。若是这样的方式的话，由于可以从输送托盘的一端到另一端获得输送托盘相对于拍摄位置的位置，所以即使处于在输送托盘上的输送方向的任意的位置，也能够进一步提高输送托盘的位置的检测精度。

[0027] 在本发明的第7方式中，所述离子束照射部具备输出离子束的离子源，所述位置检测部相对于所述输送托盘被配置在所述离子源的相反侧上。

[0028] 根据本发明的第7方式，由于位置检测部相对于输送托盘被配置在离子源的相反侧上，所以被这样的位置检测部拍摄的指标也理所当然相对于输送托盘被配置在与位置检测部相同的一侧上。如果是这样的方式的话，因为指标被配置在输送托盘上的没有照射离子束的一侧上，所以可以抑制由于离子束的热等而使指标的轮廓劣化。所以，抑制因为指标的轮廓劣化而导致离子束的照射位置的检测精度下降。

[0029] 在本发明的第8方式中，所述位置检测部被配置在与所述离子源的照射位置不对置的位置上。

[0030] 根据本发明的第8方式，由于位置检测部被配置在与离子源的照射位置不对置的位置上，所以可以抑制因为离子束的热等而使位置检测部的拍摄机构热性劣化。所以，抑制因为指标的轮廓劣化而是使离子束的照射位置的检测精度降低。

[0031] 在本发明的第9方式中，所述离子束照射部的照射位置由在与所述输送方向交叉的交叉方向上被划分且彼此接触的第1照射位置和第2照射位置组成，所述离子束照射部具备：第1离子源，其向所述第1照射位置照射离子束；以及第2离子源，其向所述第2照射位置照射离子束。

[0032] 在本发明的第9方式中，离子束照射部的照射位置由第1照射位置和第2照射位置组成、且在第1照射位置和第2照射位置上由不同的离子源进行离子束的照射。因此，由于由多个离子源对上述照射位置照射离子束，所以相比于用单个离子源进行离子束的照射，可以以多种方式对上述照射位置照射离子束。所以，离子束容易以所需的照射量照射在上述照射区域内。

[0033] 另一方面，离子束的照射位置由第1照射位置和第2照射位置组成、且在存在这些的一部分重叠的重复区域的情况下，对该重复区域的离子束的照射量为来自第1离子源的照射量与来自第2离子源的照射量之和。因此，在向上述照射位置内照射预定量的离子束的情况下，来自第1离子源及第2离子源的离子束的照射方式需要考虑在另一个离子源上的离子束的照射方式而设定。

[0034] 这点，在上述本发明的第9方式中，由于第1照射位置和第2照射位置以邻接的方式被配置，所以在第1离子源及第2离子源上的离子束的照射方式不需要考虑如上述的重复区域而设定、即能够个别设定第1离子源及第2离子源的离子束的照射方式。所以，离子束在第1离子源及第2离子源上的照射方式成为更简单的方式，并且还能提高离子束照射工序的吞吐量。

[0035] 在本发明的第10方式中，所述多个指标分别为条形码，所述输送托盘具有2个条形码群，该条形码群由多个所述条形码构成，所述2个所述条形码群在所述交叉方向上以夹着所述第1照射位置和第2照射位置的方式配置，并且其由所述第1照射位置侧的第1条形码群和所述第2照射位置侧的第2条形编码群构成，所述位置检测部由第1位置检测部和第2位置检测部构成，所述第1位置检测部被配置在与所述第1条形码群彼此对置的位置上并拍摄所述第1条形码群，所述第2位置检测部被配置在与所述第2条形码群彼此对置的位置上并拍摄所述第2条形码群，在所述第1离子源输出时，所述离子照射部取得第2位置检测部的检测结果，在所述第2离子源输出时，所述离子照射部取得第1位置检测部的检测结果。

[0036] 在本发明的第10方式中，输送托盘具有被设置在输送托盘上的第1照射位置侧上的第1条形码群、及被设置在输送托盘上的第2照射位置侧上的第2条形码群。并且，在向第1照射位置照射离子束时拍摄条形码的第2位置检测部读取第1条形码群，另一方面在向第2照射位置照射离子束时拍摄条形码的第1位置检测部读取第1条形码群。因此，可以抑制从离子束照射部输出的离子束在到达基板之前被位置检测部妨碍、即可以抑制从离子束照射部输出的离子束照射在位置检测部上。正因为这样，对于基板的离子束的照射不被妨碍，并能提高离子束照射位置的检测精度。附图说明

[0037] 图1(a)是表示将离子束照射装置具体化的一个实施方式的平面构造的俯视图，是用实线表示被收容于其内部的输送托盘的图。

[0038] 图1(b)是表示相同实施方式的侧面构造的侧视图，是同样地用虚线表示被收容于其内部的输送托盘的概要构成图。

[0039] 图2是将处理室的内部构造与输送托盘的侧面构造一起示出的构成图。

[0040] 图3(a)是放大表示上部条形码局部的放大图。

[0041] 图3(b)是表示第1条形码读取部从上部条形码读取到的信息的图。

[0042] 图4是表示离子束照射装置的电气构成的框图。

[0043] 图5是表示离子束照射处理的顺序的时序图。

[0044] 图6是表示反向输送处理的顺序的时序图。

[0045] 图7(a)～(f)是表示输送托盘在离子束照射处理中的动作的作用图。

[0046] 图8(a)～(e)是表示输送托盘在离子束照射处理中的动作的作用图。

[0047] 图9(a)～(f)是表示输送托盘在反向输送处理中的动作的作用图。

[0048] 图10(a)～(c)是表示输送托盘在反向输送处理中的动作的作用图。

[0049] 图11是放大表示变形例中的上部条形码的局部的放大图。

具体实施方式

[0050] 以下，参照图1-图10，对将本发明的离子束照射装置具体化的一个实施方式进行说明。

[0051] [离子束照射装置的整体构成]

[0052] 首先，参照图1对离子束照射装置的整体构成进行说明。

[0053] 如图1(a)所示，在离子束照射装置10上搭载有装卸室11、加载互锁真空室(load-lock chamber)12、缓冲室13、以及处理室14，并且这些室11-14各自通过闸阀15而与相邻的室连接。

[0054] 在离子束照射装置10中彼此平行地铺设有：为输送路径的去路R1，其从装卸室11向处理室14延伸；以及为输送路径的回路R2，其从处理室14向装卸室11延伸。呈矩形板状的多个输送托盘T沿去路R1及回路R2输送。

[0055] 在装卸室11中，将从外部搬入的处理前的基板S安装到处于放倒状态的输送托盘T上，并且将输送托盘T以竖立的状态搬出到加载互锁真空室12中。在装卸室11中，将从加载互锁真空室12搬入的输送托盘T变成放倒状态，并且从输送托盘T卸下处理后的基板S并将其搬出到外部。装卸室11在大气压下进行这样的基板S在输送托盘T上的装卸、及输送托盘T的姿势的变更。

[0056] 输送托盘T具有与输送路径相互平行的、上下呈一对的上部框及下部框。在输送托盘T被竖立时，在对基板S的上端进行保持的上部框上贴有上部条形码群C1，该上部条形码群C1由表示上部框上的各个部位的多个条形码形成，而另一方面，在对基板S的下端进行保持的下部框上贴有下部条形码群C2，该下部条形码群C2由表示下部框上的各个部位的多个条形码形成。条形码群C1、C2被粘贴在上部框及下部框上的从输送方向的一端到另一端的整个区域上。条形码群C1、C2例如为在由聚酯形成的胶带上印字有多个条形码的条形码群(参照图3(a))。

[0057] 加载互锁真空室12在将内部变成大气压的状态下，沿去路R1从装卸室11搬入输送托盘T，并且在对内部进行减压的状态下，将输送托盘T沿去路R1搬出到缓冲部13中。加载互锁真空室12在对内部进行减压的状态下，沿回路R2从缓冲室13搬入输送托盘T，并在将内部设为大气压的状态下，将输送托盘T沿回路R2搬出到装卸室11中。

[0058] 缓冲室13在将内部减压成与上述加载互锁真空室12同等的压力的状态下，沿去路R1从加载互锁真空室12搬入输送托盘T，并且沿回路R2从处理室14搬入输送托盘T。

[0059] 在处理室14中的去路R1的终端侧上，且在去路R1和回路R2之间搭载有一对转换部TR。转换部TR使被输送到去路R1的终端附近的输送托盘T移动到回路R2的始端附近，从而使输送托盘T的输送路径从去路R1转换为回路R2。

[0060] 在处理室14中，在沿上述输送方向延伸的两个侧壁部中的、回路R2侧的侧壁部上搭载有向处理室14内照射离子束的第1离子源21L，上述输送方向是室11-14的连接方向。并且，在上述侧壁部上的比第1离子源21L更靠回路R2的始端侧的位置上，同样地搭载有向处理室14内照射离子束的第2离子源21U。第1离子源21L和第2离子源21U例如以隔开输送托盘T在输送方向上的宽度的方式配置。一方面，第1离子源21L被配置在其被搭载的侧壁部的下侧，而另一方面，第2离子源21U被配置在其被搭载的侧壁部的上侧。

[0061] 另外，在下文中，在处理室14内，将依照离子束对输送托盘T的照射处理的顺序输送该输送托盘T的方向设定为正方向。另一方面，将与离子束对输送托盘T的照射处理的顺序相反地输送该输送托盘T的方向设定为反方向。即、在输送托盘T在去路R1上输送时，向离开缓冲室13的方向的输送为向正方向的输送，另一方面，在输送托盘T在回路R2上输送时，向缓冲室13的方向的输送为向正方向的输送。并且，向与这些相反的方向的输送为向反方向的输送。另外，图1的白色空心箭头表示向上述正方向的输送。

[0062] 第1离子源21L向为真空槽的处理室14内的预定的第1照射位置照射离子束，并对于被安装在输送托盘T上的基板S，通过输送托盘T的输送而向该基板S上的下侧一半的部分、即下部区域SL照射离子束。第2离子源21U向处理室14内的预定的第2照射位置照射离子束，并对于被安装在输送托盘T上的基板S，通过输送托盘T的输送而向该基板S的上侧一半的部分、即上部区域SU照射离子束。离子源21L、21U分别对被安装到在去路R1上输送的输送托盘T上的基板S照射离子束，并且向被安装到在回路R2上输送的输送托盘T上的基板S照射离子束。即、离子源21L、21U分别以不同的时机对被安装在同一个输送托盘T上的一个基板S的相互不同的部位进行两次离子束的照射。离子源21L、21U由于对输送中的输送托盘T进行离子束的照射，所以基板S上的离子束照射部位沿输送托盘T的输送方向，而在基板S上相对地移动。

[0063] 如此，基板S由上部区域SU和下部区域SL构成，且在上部区域SU和下部区域SL上由不同的离子源21L、21U以不同的时机进行两次离子束的照射。因此，与由单个离子源对基板S进行离子束的照射的情况、或对各个区域SU、SL只进行一次离子束的照射的情况相比，能够以更多种的方式进行对基板S的离子束的照射。所以，离子束容易以所需的照射量照射在基板面内。各个区域SU、SL彼此接触，并且由不同的离子源21L、21U对各个区域照射离子束。因此，与离子束的照射区域重叠的构成相比，能够个别地设定各个离子源21L、21U的离子束的照射方式，使得离子束在各个离子源21L、21U上的照射方式变得更简单，并能够提高离子束照射工序的吞吐量。

[0064] 另外，为了便于图示，离子源21L、21U都被示出在离开处理室14的位置上。但是实际上离子源21L、21U为被设置在处理室14的外部的离子源经由离子束所通过的通路而被连接在处理室14上的构成。

[0065] 在处理室14内，测量第1离子源21L输出的离子束的第1轮廓测量部22L以在俯视时夹着去路R1和回路R2而与第1离子源21L对置的方式配置。并且，测量第2离子源21U输出的离子束的第2轮廓测量部22U以在俯视时夹着去路R1和回路R2而与第2离子源21U对置的方式配置。第1轮廓测量部22L及第2轮廓测量部22U测量被检测出的离子束的轮廓、例如离子束的输出分布等。

[0066] 在处理室14中以沿着在室11-14的连接方向延伸的侧壁部中的、去路R1侧的侧壁部的方式搭载有第1条形码读取部23A，该第1条形码读取部23A将构成上部条形码群C1的多个条形码分别读取。第1条形码读取部23A在俯视时与上述第1离子源21L、及第1离子源21L的第1照射位置处于同一直线上的拍摄位置拍摄条形码。并且，在去路R1上的输送托盘T到达第1照射位置时，第1条形码读取部23A在该拍摄位置检测出上部条形码群C1的一端。这样，第1条形码读取部23A构成在处理室14内的预定的拍摄位置拍摄在去路R1上的输送托盘T的条形码的第2位置检测部。

[0067] 在处理室14中，在上述侧壁部上的比第1条形码读取部23A更靠近去路R1的终端侧上搭载有第2条形码读取部23B，该条形码读取部23B将构成下部条形码群C2的多个条形码分别读取。第2条形码读取部23B在俯视时与上述第2离子源21U、及第2离子源21U的第2照射位置处于同一直线上的拍摄位置拍摄条形码。在去路R1上的输送托盘T到达第2照射位置时，第2条形码读取部23B在该拍摄位置检测下部条形码群C2的一端。这样，第2条形码读取部23B构成在处理室14内的预定的拍摄位置拍摄在去路R1上的输送托盘T的条形码的第1位置检测部。

[0068] 另外，为了便于图示，条形码读取部23A、23B都被示出在离开处理室14的位置上。但是实际上第1条形码读取部23A以沿上述侧壁部的内侧面的方式被安装在处理室14的上壁的外侧上，而另一方面，第2条形码读取部23B以沿侧壁部的内侧面的方式被安装在处理室14的底壁的外侧上。

[0069] 在处理室14内，在俯视时被上述去路R1和回路R2夹着的区域上搭载有第3条形码读取部23C，该第3条形码读取部23C读取构成下部条形码群C2的多个条形码的各个条形码。第3条形码读取部23C在俯视时与上述第2离子源21U、及第2离子源21U的第2照射位置处于同一直线上的拍摄位置拍摄条形码。在回路R2上的输送托盘T到达第2照射位置时，第3条形码读取部23C在该拍摄位置检测出下部条形码群C2的一端。这样，第3条形码读取部23C构成在处理室14内的预定的拍摄位置拍摄在回路R2上的输送托盘T的条形码的第1位置检测部。

[0070] 在处理室14内，在俯视时被上述去路R1和回路R2夹着的区域上的回路R2的终端侧搭载有第4条形码读取部23D，该第4条形码读取部23D读取构成上部条形码群C1的多个条形码的各个条形码。第4条形码读取部23D在俯视时与上述第1离子源21L、及第1离子源21L的第1照射位置处于同一直线上的拍摄位置拍摄条形码。并且，在回路R2上的输送托盘T到达第1照射位置时，第4条形码读取部23D在该拍摄位置上检测出上部条形码群C1的一端。这样，第4条形码读取部23D构成在处理室14内的预定的拍摄位置拍摄在回路R2上的输送托盘T的条形码的第2位置检测部。

[0071] 另外，第3条形码读取部23C与上述第2条形码读取部23B同样地被安装在处理室14的底壁的外侧上，而另一方面，第4条形码读取部23D与上述第1条形码读取部23A同样地被安装在处理室14的上壁的外侧上。

[0072] 详细地讲，如图1(b)所示，第1离子源21L的照射位置的大小为在与上述输送方向正交的高度方向上划分基板S而成的两个区域中的、下部区域SL上的高度方向的整体重叠的大小。检测出该离子束的上述第1轮廓测量部22L被设置在与上述第1照射位置相互对置的位置上。另一方面，第2离子源21U的第2照射位置的大小为与上述两个区域中的、上部区域SU上的高度方向的整体重叠的大小。检测出该离子束的上述第2轮廓测量部22U被设置在与上述第2照射位置相互对置的位置上。

[0073] 这样，由多个条形码构成的条形码群C1、C2被设置在输送托盘T上，而且该条形码群C1、C2在输送托盘T的输送方向上、例如正方向上从前端连续到后端。因此，能够通过各个读取部23A-23D，在输送托盘T的从一端到另一端的整个区域得到输送托盘T相对于拍摄位置的位置。所以，在输送托盘T被输送的方向、即正方向及反方向的两个输送方向上，无论是位于输送托盘T上的哪个位置，都可以由各个读取部23A-23D直接得到输送托盘T相对于拍摄位置的位置，并能够进一步提高在输送托盘T上的位置的检测精度。

[0074] 输送托盘T具有：作为第2条形码群的上部条形码群C1，其被设置在基板S上的上部区域SU侧；以及作为第1条形码群的下部条形码群C2，其被设置在基板S上的下部区域SL侧。当离子束照射在上部区域SU上时，作为第1位置检测部的第2条形码读取部23B及第3条形码读取部23C读取下部条形码群C2。另一方面，当离子束照射在下部区域SL上时，作为第2位置检测部的第1条形码读取部23A及第4条形码群23D读取上部条形码群C1。因此，从离子源21L、21U输出的离子束在不受到条形码读取部23A-23D妨碍的状态下到达基板S。所以，能够抑制到达基板S的离子束在照射区域内出现输出的偏差。由于能够避免离子束被照射在条形码读取部23A-23D上，所以能够抑制因为离子束的热等而使条形码读取部23A-23D劣化。

[0075] 这样的处理室14以将内部减压成比上述缓冲室13更低的压力的状态下，沿去路R1从缓冲室13搬入输送托盘T，并向被安装在输送托盘T上的基板S照射离子束。处理室14进行从去路R1向回路R2的输送托盘T的输送。处理室14在向被安装在输送托盘T上的基板S照射离子束后，将输送托盘T沿回路R2搬出至缓冲室13。

[0076] [输送托盘的详细构成]

[0077] 参照图2对关于上述输送托盘T、及输送托盘T的输送的构成进行说明。另外，由于关于输送托盘T的去路R1的构成、和关于输送托盘T的回路R2的构成为如上述同样的构成，所以在下文中只对关于输送托盘T的去路R1的构成详细地进行说明。在图2中示出了处理室14的内部构成、和在去路R1上被输送的输送托盘T的构成中的、从没有照射上述离子束的一侧看时的构成。

[0078] 如图2所示，输送托盘T的托盘框31为具有与基板S大致相同形状的安装孔31a的四角形的筐体。托盘框31由对基板S的上端进行保持的上部框31b、对基板S的下端进行保持的下部框31c、及对基板S的侧部进行保持的两个侧部框31d构成。其中，在上部框31b上，在上部框31b的整个输送方向上贴有上部条形码群C1。在下部框31c上，在下部框
31c的整个输送方向上贴有下部条形码群C2。上部条形码群C1和下部条形码群C2被贴在托盘框31上的、不被照射离子束的一面侧上。在这样的构成中，由于离子束不直接照射在各个条形码群C1、C2上，所以能够抑制因离子束的热等造成的条形码的劣化。

[0079] 被输送托盘T保持的基板S是，例如，宽度W1为2200mm，高度H为2400mm，并且各个侧部框31d的宽度W2例如为250mm。因此，上部条形码群C1及下部条形码群C2所包含的各个条形码表示粘贴有该条形码的框上的从一端起的部位的指标，表示从0mm到2700mm的某一个数值、即表示输送托盘T在输送方向上的绝对位置。例如，表示0mm的条形码被贴在输送托盘T的正方向上的前端上，而另一方面，表示2700mm的条形码被贴在输送托盘T的正方向上的后端上。在输送托盘T到达离子束的照射位置时，由第1条形码读取部23A对上部条形码群C1进行拍摄。因此，从条形码表示的位置、即从输送托盘T相对于拍摄位置的位置减去侧部框31d的宽度W2、即250mm而得到的值为基板S上的照射部位。

[0080] 如此，离子束照射装置10具备第1条形码读取部23A，该第1条形码读取部23A对离子束在基板S上的照射位置被唯一确定的上部条形码群C1进行拍摄。因此，可以抑制基板S上的实际的照射部位、与检测出该照射部位的位置检测部的检测结果产生偏差。所以，能够提高掌握基板S上的照射位置的精度。

[0081] 在输送托盘T上的上侧端面上安装有托盘磁石32，并且在该输送托盘T上的下侧端面上安装有圆柱状的托盘滑块33。

[0082] 在处理室14的底面侧沿上述去路R1配置有多个输送滚子41。输送滚子41分别具有与上述托盘滑块33的宽度大致相同的厚度，并在输送滚子41的圆周方向的端面上形成有保持托盘滑块33的槽部。在输送滚子41上连接有使输送滚子41转动的输送滚子电机，并且输送滚子41根据输送滚子电机的转动而转动。输送滚子电机为可以向正方向及反方向的任意方向转动的电机，输送滚子电机转换转动方向，从而来转换输送滚子的转动方向。

[0083] 即、在输送托盘T沿去路R1向正方向被输送时，多个输送滚子41向同一方向转动，由此，托盘滑块33进而输送托盘T向正方向输送。在输送托盘T沿去路R1向上述反方向输送时，多个输送滚子41向与上述方向相反的方向转动，由此，输送托盘T向反方向输送。

[0084] 在处理室14的上壁部搭载有多个保持部42，该保持部42在与输送滚子41对置的一侧的端部上具有保持磁石42M。保持磁石42M与到达该保持磁石42M的下方的上述托盘磁石32相互作用，从而来维持沿去路R1输送的输送托盘T的姿势。输送托盘T在沿去路R1输送时，例如被维持在从相对于处理室14的底壁垂直的状态向上述离子源21L、21U的相反侧倾斜预定的角度、例如3°的状态。因此，即使因为离子束对基板S的照射使得该基板S产生振动，与将输送托盘T以垂直于处理室14的底壁部的状态输送的情况相比，基板S不易从输送托盘T脱落。

[0085] 另外，关于输送托盘T在加载互锁真空室12及缓冲室13的去路R1及回路R2上的输送的构成，与从被设置在上述处理室14内的构成省略了保持部42的构成相同。

[0086] [条形码的详细构成]

[0087] 参照图3对被贴在上述输送托盘T上的条形码群C1、C2详细地进行说明。另外，上部条形码群C1和下部条形码群C2虽然被贴的位置彼此不同，但是由于关于表示托盘框31的部位的构成相同，所以在下文中使用上部条形码群C1的一部分对其进行说明。在图3中示出从第1条形码读取部23A侧看上部条形码群C1时的构成。

[0088] 如图3(a)所示，上部条形码群C1具有多个条形码C1a。在各个条形码C1a的下方印字有数值部C1b，该数值部C1b表示从上部框31b的正方向上的前端到该条形码C1a被贴的部位的长度。各个条形码C1a的周围被空白部分C1c包围。

[0089] 读取这样的上部条形码群C1的第1条形码读取部23A及第4条形码读取部23D具有拍摄部，该拍摄部以预定的周期拍摄上部条形码群C1，并从由拍摄部得到的上部条形码群C1的图像检测出输送托盘T相对于拍摄位置的位置。

[0090] 在由拍摄部得到的图像包含图3(a)所示的“000183”、即表示从上述上部框31b的一端离开183mm的位置的条形码C1a及该条形码C1a的两侧的一部分时，条形码读取部23A、23D将该图像变换为在图3(b)示出的二进制数据。条形码读取部23A、23D对这样的二进制数据进行译码，并以上述的预定的周期检测出从上部框31b的正方向上的前端到拍摄位置的长度、即输送相托盘T相对于拍摄位置的位置。另外，通过检测出从正方向的前端到拍摄位置的长度，也能检测出从反方向的前端到拍摄位置的长度。即、可以检测出从包含正方向及反方向的输送方向上的一端到拍摄位置的长度。

[0091] 另外，读取上述下部条形码群C2的第2条形码读取部23B、及第3条形码读取部23C的构成虽然在处理室14中的搭载位置有所不同，但与上述第1条形码读取部23A、及第
4条形码读取部23D相同。

[0092] 作为如上所述检测绝对位置的、所谓的绝对型线性编码器，已知有例如电磁诱导式线性编码器。电磁诱导式线性编码器具备：分度尺，其为刻有刻度的胶带等；以及读取部，其一边改变相对于分度尺的位置一边检测出刻度，如果读取部与分度尺的距离不在几mm程度的范围内的话，读取部就不能检测出刻度。

[0093] 在此，在输送托盘T以大致垂直于处理室14的底壁部的状态被输送的情况下，输送托盘T因沿与输送方向大致垂直的方向摇动，所以被安装在输送托盘T上的分度尺和读取部的距离会产生变化。由于读取部可以检测的范围如上所述为几mm程度，所以输送托盘T摇动，会导致被安装在输送托盘T上的分度尺和读取部的距离容易超过读取部可以检测的范围。所以，在电磁诱导式线性编码器中，被检测出的距离的信赖性会变低。

[0094] 由于读取部必须配置在处于真空状态的处理室14内，所以在读取部上需要保证：释放出的气体量限制为预定量内、在读取部上没有附着成为颗粒的粒子等。

[0095] 相对于此，本实施方式的条形码读取部23A-23D不与作为分度尺的条形码群C1、C2接触，且为使用了拍摄部的光学型线性编码器。因此，与电磁诱导式线性编码器相比，可以由条形码读取部23A-23D检测出的条形码C1a的距离变大，并且即使是如上述输送托盘T摇动，也能够检测出条形码C1a。所以，根据本实施方式的条形码读取部23A-23D和条形码群C1、C2，检测出绝对位置的同时，能够提高被检测出的距离的信赖性。

[0096] 并且，将条形码读取部23A-23D设置在处理室14外侧，并使条形码群C1、C2相对于条形码读取部23A-23D的位置根据条形码群C1、C2的移动而变化。因此，通过使用条形码读取部23A-23D，从而能够在消除了使用电磁诱导式线性编码器时的制约的同时，检测出绝对位置。

[0097] [离子束照射装置的电气构成]

[0098] 参照图4对离子束照射装置10的电气构成进行说明。另外，在图4中，示出电气构成中的、关于在上述处理室14中进行的离子束的照射及输送托盘T的输送的构成。在下文中，对这样的构成进行说明，并省略对关于其他的电气构成、例如在处理室14以外的室11、12、13进行的输送托盘T的输送、和各个闸阀15开闭的构成的说明。

[0099] 被搭载在离子束照射装置10上的主控制部50主要由微计算机构成，该微计算机具有中央处理装置(CPU)、非易失性存储器(ROM)、及易失性存储器(RAM)。主控制部50基于被储存在上述ROM及上述RAM中的各种数据及程序，来进行关于离子束照射装置10的动作的各种控制。

[0100] 在主控制部50上连接有电机控制部60，该电机控制部60控制被搭载于处理室14内的各种电机、特别是进行输送托盘T的输送的电机的驱动。在电机控制部60上连接有：驱动电路61D，其使被连接在上述输送滚子41上的输送滚子电机61M转动驱动；以及编码器61E，其检测输送滚子电机61M的转动位置。电机控制部60基于从主控制部50输入的驱动指令和从编码器61E输入的转动位置来生成位置指令，并将该位置指令输出至驱动电路
61D。

[0101] 驱动电路61D基于从电机控制部60输入的位置指令来生成输送滚子电机61M的驱动电流，并将该驱动电流输出至输送滚子电机61M。输送滚子电机61M进行与被输入的驱动电流相应的转动，从而使上述输送滚子41进行自转。另外，驱动电路61D及编码器61E被设置在各个输送滚子电机61M上。

[0102] 电机控制部60在从编码器61E输入的转动位置与位置指令的偏差在预定值以下时，生成表示基于上述驱动指令的输送滚子电机61M驱动已完成的完成信号，并将该完成信号输出至主控制部50，等待来自主控制部50的进一步的驱动指令。

[0103] 在电机控制部60上连接有：驱动电路62D，其对上述转换部TR所具备的转换电机62M进行转动驱动；以及编码器62E，其检测转换电机62M的转动位置。电机控制部60基于从主控制部50输入的驱动指令、和从编码器62E输入的转动位置来算出位置指令，并将该位置指令输出至驱动电路62D。

[0104] 驱动电路62D基于从电机控制部60输入的位置指令来生成转换电机62M的驱动电流，并将该驱动电流输出至转换电机62M。转换电机62M进行与被输入的驱动电流相应的转动，从而驱动上述转换部TR。另外，驱动电路62D及编码器62E被设置在构成转换部TR的多个电机的各个电机上。

[0105] 电机控制部60在从编码器62E输入的转动位置与位置指令的偏差在预定值以下时，生成表示基于上述驱动指令的转换电机62M的驱动已完成的完成信号，并将该完成信号输出至主控制部50，等待来自主控制部50的进一步的驱动指令。另外，输送部由电机控制部60、驱动电路61D、输送滚子电机61M、输送滚子41、及编码器61E构成。

[0106] 在主控制部50上连接有离子束控制部70，该离子束控制部70控制上述离子源21L、21U的驱动。在离子束控制部70上连接有：驱动电路71D，其使第1离子源21L输出离子束；第1输出传感器71s，其检测第1离子源21L的输出；以及上述第1轮廓测量部22L。

[0107] 离子束控制部70基于从主控制部50输入的驱动指令、和从第1轮廓测量部22L输入的测量数据来生成输出指令，并将该输出指令输出至驱动电路71D。另外，第1轮廓测量部22L生成与离子束的强度分布等的测量结果相应的测量数据，并将该测量数据输出至离子束控制部70。

[0108] 驱动电路71D基于从离子束控制部70输入的输出指令来生成第1离子源21L的驱动电流，并将该驱动电流输出至第1离子源21L。第1离子源21L进行与被输入的驱动电流相应的离子束的输出。

[0109] 离子束控制部70在基于上述驱动指令的第1离子源21L的驱动已完成时生成完成信号，并将该完成信号输出至主控制部50，等待来自主控制部50的进一步的驱动指令。

[0110] 上述第1输出传感器71S例如为检测在第1离子源21L的灯丝流动的电流的传感器。第1输出传感器71S在被检测出的电流值小于预定的设置值的情况下，生成表示离子束的输出已停止的输出停止信号，并将该输出停止信号输出至离子束控制部70。

[0111] 在离子束控制部70上连接有：第1条形码读取部23A，其读取上述输送托盘T的上部条形码群C1；以及第4条形码读取部23D，其读取该上部条形码群C1。第1条形码读取部23A及第4条形码读取部23D由在拍摄位置拍摄到的上部条形码群C1的一部分检测出上述绝对位置，并以预定的周期生成与该绝对位置相应的位置数据，将该位置数据输出至离子束控制部70。在第1输出传感器71S输出了输出停止信号时，在该输出停止信号被输出的拍摄周期中的位置数据被存储至离子束控制部70所具有的存储部70a中。即、被输入到离子束控制部70中的位置数据以与第1输出传感器71S的检测结果进行关联的状态被存储至存储器70a中。

[0112] 在离子束控制部70上连接有：驱动电路72D，其使第2离子源21U输出离子束；第2输出传感器72S，其检测第2离子源21U的输出；以及上述第2轮廓测量部22U。

[0113] 离子束控制部70基于从主控制部50输入的驱动指令、和从第2轮廓测量部22U输入的测量数据来生成输出指令，并将该输出指令输出至驱动电路72D。另外，第2轮廓测量部22U生成与上述第1轮廓测量部22L同样的测量数据，并将该测量数据输出至离子束控制部70。

[0114] 驱动电路72D基于从离子束控制部70输入的输出指令来生成第2离子源21U的驱动电流，并将该驱动电流输出至第2离子源21U。第2离子源21U进行与被输入的驱动电流相应的离子束的输出。

[0115] 离子束控制部70在基于上述驱动指令的第2离子源21U的驱动已完成时生成完成信号，并将该完成信号输出至主控制部50，等待来自主控制部50的进一步的驱动指令。

[0116] 上述第2输出传感器72S例如为检测在第2离子源21U的灯丝流动的电流的传感器。第2输出传感器72S在被检测出的电流值小于预定的设定值的情况下生成表示离子束的输出已停止的输出停止信号，并将该输出停止信号输出至离子束控制部70。

[0117] 在离子束控制部70上连接有：第2条形码读取部23B，其读取上述输送托盘T的下部条形码群C2；以及第3条形码读取部23C，其读取该下部条形码群C2。第2条形码读取部23B及第2条形码读取部23C由在拍摄位置拍摄到的下部条形码群C2的一部分检测出上述绝对位置，并生成与该绝对位置相应的位置数据，并将该位置数据输出至离子束控制部70。在第2输出传感器72S输出了输出停止信号时，在该输出停止信号被输出的拍摄周期中的位置数据被存储至离子束控制部70所具有的存储部70a中。即、被输入到离子束控制部70中的位置数据以与第2输出传感器72S的输出结果进行关联的状态被存储至存储部70a中。

[0118] 如此，在控制离子束的驱动的离子束控制部70上连接有条形码读取部23A-23D，该条形码读取部23A-23D检测出输送托盘T相对于拍摄位置的位置。因此，表示离子束是否以所需的输出而输出的数据、和输送托盘T相对于拍摄位置的位置、即关于照射离子束的部位的数据以预定的拍摄周期被输入到同一控制部中。所以，与这些数据被输入到个别的控制部中的情况相比，能够降低离子束停止时的输送托盘T相对于拍摄位置的位置、即停止位置与该离子束的照射位置的偏差。

[0119] 另外，离子束照射部由离子束控制部70、离子源21L、21U、驱动电路71D、72D、及输出传感器71S、72S构成。输出检测部由输出传感器71S、72S构成，而取得部由离子束控制部70构成。

[0120] [离子束照射装置的作用]

[0121] 参照图5-图10，对离子束装置10进行的动作中的、关于在上述处理室14中进行的离子束的照射的动作进行说明。另外，在缓冲室13中的输送托盘T的输送动作、闸阀15的开闭动作、及从缓冲室13向处理室14的输送托盘T的搬入动作等在以下说明的离子束照射处理之前，按照其他的处理工序来进行。并且，在离子源21L、21U对基板S进行离子束的照射时，将发生离子束的无意地停止时等、从上述传感器71S、72S输出有输出停止信号时视为异常停止时，而另一方面，将没有发生这样的停止的情况视为正常照射时。在图7-图10中，用白色空心箭头来表示输送托盘T1、T2向正方向的输送。在图9中，用黑色实心箭头来表示输送托盘T1向反方向的输送。

[0122] [正常照射时]

[0123] 在离子束照射处理开始时，输送托盘T处于停止在处理室14内的预定的停止位置上的状态。在处理室14内收容有一个或两个输送托盘T(参照图7(a))。另外，在下文中，以由第1离子源21L对被安装在后续的输送托盘T2上的处理前的基板S进行离子束照射处理的情况为例进行说明。此时，还进行第2离子源21U对被安装在先行的输送托盘T1上的基板S的离子束的照射。对该输送托盘T1的离子束照射处理按照用于进行与在下文中进行说明的离子束照射处理同样的处理的其他的处理工序来进行。

[0124] 在离子束照射处理中，首先，主控制部50生成对离子束控制部70的驱动指令并输出该驱动指令，从而离子束控制部70生成基于驱动指令的输出指令，并将该驱动指令输出至驱动电路71D。驱动电路71D生成基于输出指令的驱动电流并将该驱动电流输出到第1离子源21L，从而开始从第1离子源21L照射下侧离子束BL(步骤S101)(参照图7(b))。

[0125] 当下侧离子束BL的照射开始时，第1轮廓测量部22L生成与检测出的下侧离子束BL相应的测量数据，并将该测量数据输出至离子束控制部70。在下侧离子束BL以与输出指令相应的预定的轮廓输出时(步骤S102：是)，离子束控制部70生成表示离子束的输出被调整的完成信号，将该完成信号输出至主控制部50。

[0126] 当离子束控制部70除了上述完成信号，还在预定时间内输出表示第2离子源21U输出的上侧离子束BU的调整已完成的完成信号时(步骤S103：是)，主控制部50生成用于将输送托盘T沿正方向输送的驱动指令，并将该驱动指令输出至电机控制部60。当电机控制部60基于被输入的驱动指令和来自编码器61E的转动位置来生成位置指令并将该位置指令输出至驱动电路61D时，驱动电路61D生成与位置指令相应的驱动电流并将该驱动电流输出至输送滚子电机61M。由此，开始输送托盘T2的输送(步骤S104)。这时，也同样地开始输送托盘T1向正方向的输送。

[0127] 另外，输送滚子电机61M的驱动从被设置在去路R1的始端侧上的输送滚子41的输送滚子电机61开始。当该输送滚子电机61M转动到被预先决定的预定的转动位置时，被邻接设置在去路R1的终端侧上的输送滚子41的输送滚子电机61M开始驱动。各个输送滚子电机61M的驱动在进行到预定的转动位置、例如输送滚子41不与托盘滑块33接触的转动位置时会被停止。如此，输送滚子电机61M的驱动从去路R1的始端侧依次进行，从而使输送托盘T2沿从去路R1的始端侧向终端侧的正方向输送。

[0128] 当输送托盘T2被输送而使表示输送托盘T2的上部条形码群C1的正方向上的前端、例如从输送托盘T的前端起的长度为0mm的条形码到达第1条形码读取部23A的拍摄位置时，开始上部条形码群C1的拍摄、即开始检测输送托盘T2相对于拍摄位置的位置(步骤S105)(参照图7(c))。

[0129] 在基于第1条形码读取部23A的上部条形码群C1的拍摄开始时，也进行离子束对输送托盘T2的照射。这时，在由第1条形码读取部23A检测出表示从输送托盘T的上述前端起的长度为250mm的条形码时，开始下侧离子束BL对基板S的的照射。

[0130] 在来自第1离子源21L的下侧离子束BL的照射被维持的状态下，由第1条形码读取部23A检测出表示从输送托盘T的前端起的长度为2700mm的条形码(步骤S106：是、步骤S107：是)。接着，离子束控制部70生成用于停止第1离子源21L的输出的输出指令，并将该信号输出至驱动电路71D。驱动电路71D基于被输入的输出指令来生成驱动电流，并将该驱动电流输出至第1离子源21L。在第1离子源21L中，根据被输入的驱动电流，来停止下侧离子束BL的输出(步骤S108)。当第1输出传感器71S将表示第1离子源21L的输出电流为0A的信号输入至离子束控制部70时，离子束控制部70生成表示基于上述驱动指令的离子束的照射已完成的完成信号，将该完成信号输出至主控制部50，等待进一步的驱动指令。

[0131] 当下侧离子束BL的照射停止时，主控制部50生成用于在将输送托盘T2向正方向输送预定距离之后使该输送停止的驱动指令，并将该指令输出至电机控制部60。上述预定距离被设定为，例如被输送该预定距离的输送托盘T2位于第1离子源21L的照射位置、和第2离子源21U的照射位置之间的距离。

[0132] 电机控制部60基于上述驱动指令和来自编码器61E的转动位置来生成位置指令，并将该位置指令输出至驱动电路61D。驱动电路61D基于被输入的位置指令来生成驱动电流，并将该驱动电流输出至输送滚子电机61M。输送滚子电机61M进行与驱动电流相应的转动。

[0133] 当被从编码器61E输入的转动位置相对于上述位置指令的偏差小于预定值时，电机控制部60生成用于使输送滚子电机61M的转动停止的位置指令，并将该位置指令输出至驱动电路61D。驱动电路61D基于被输入的位置指令来生成驱动电流，并将该驱动电流输出至输送滚子电机61M。由此，输送滚子电机61M的转动被停止，从而输送托盘T2的输送结束(步骤S109)。

[0134] 这时，在输送托盘T2的输送结束时，如果表示第2离子源21U的输出停止的信号输入至主控制部50(步骤S110：否)，主控制部50就生成用于使输送托盘T2向正方向的输送再开始延迟预定期间的驱动指令，并将该驱动指令输出至电机控制部60。电机控制部60基于驱动指令和来自编码器61E的转动位置来生成位置指令，并将该位置指令输出至驱动电路61D。驱动电路61D基于位置指令来生成驱动电流，并将该位置指令输出至输送滚子电机61M。输送滚子电机61M根据被输入的驱动电流，而变成转动在预定位置停止的状态。由此，输送托盘T2成为在输送处理的结束位置待机的状态(步骤S151)。输送停止持续的时间、即待机时间是指到完成在下文中说明的异常停止时的反向输送处理为止的时间。由此，主控制部50暂先结束离子束照射处理。

[0135] 另外，在输送托盘T2从处理室14搬出之前，除了上述第1次的下侧离子束BL的照射，还以第1次的上侧离子束BU的照射、第2次的上侧离子束BU的照射、及第2次下侧离子束BL的照射的顺序对输送托盘T2进行离子束的照射。并且，在各个离子束的照射中，成为驱动对象的离子源21L、21U、或输送滚子电机61M等虽不同，但是根据与上述同样的处理工序来进行离子束照射处理。

[0136] 详细地讲，在进行第1次上侧离子束BU的照射时，如图7(d)-图7(f)所示，首先，测量从第2离子源21U输出的上侧离子束BU的轮廓。接着，通过输送托盘T2向去路R1的终端侧沿正方向输送，而使上侧离子束BU照射在基板S上的上部区域SU上。另外，在第1次的上侧离子束BU的照射中，在被输送到去路R1的终端侧的输送托盘T2通过转换部TR而被配置在回路R2上后，结束该输送托盘T2的输送。这时，输送托盘T1的搬出处理、输送托盘T3的搬入处理、及闸阀15的开闭处理按照其他的处理工序来进行。

[0137] 接着，在进行第2次上侧离子束BU的照射时，如图8(a)及图8(b)所示，首先，测量从第2离子源21U输出的上侧离子束BU的轮廓。接着，输送托盘T2通过向去路R2的终端侧沿正方向输送，从而使得上侧离子束BU照射在基板S上的上部区域SU上。

[0138] 在进行第2次下侧离子束BL的照射时，如图8(c)-图8(e)所示，首先，测量从第1离子源21L输出的下侧离子束BL的轮廓。输送托盘T2通过向回路R2的终端侧沿正方向输送，从而使得下侧离子束BL照射在基板S上的下部区域SL上。

[0139] [异常停止时]

[0140] 如上所述，当输送托盘T2到达第1离子源21L的照射位置时，开始对被安装在输送托盘T2上的基板S照射下侧离子束BL(参照图9(a))。当在输送托盘T2横穿第1离子源21L的照射位置的期间停止下侧离子束BL的照射时(参照图9(b))，第1输出传感器71S生成关于第1离子源21L的输出停止信号，并将该信号输出至离子束控制部70。

[0141] 离子束控制部70基于上述输出停止信号的输入来生成表示第1离子源21L的输出被异常停止的异常停止信号，并将该异常停止信号输出至主控制部50(步骤S106：否)。由此，在上述处理室14中进行反向输送处理(步骤S141)。

[0142] 以下，参照图6对进行输送托盘T2向反方向的输送的反向输送处理进行说明。另外，在下文中，将上侧离子束对输送托盘T1的照射视为正常进行的离子束的照射。

[0143] 离子束控制部70在被从第1输出传感器71S输入上述输出停止信号时，将在该信号被输入的拍摄周期中的位置数据作为下侧离子束BL的照射停止的停止位置而存储(步骤S201)。

[0144] 接着，与第1离子源21L的照射正常的情况同样地，主控制部50生成用于使输送托盘T2输送到该输送处理的结束位置的驱动指令，并将该驱动指令输出至电机控制部60。电机控制部60基于驱动指令和来自编码器61E的转动位置来生成位置指令并将其输出至驱动电路61D，驱动电路61D基于位置指令来生成驱动电流。驱动电路61D将该驱动电流输出至输送滚子电机61M，由此，输送滚子电机61M根据驱动电流而进行转动。

[0145] 当输送托盘T2沿正方向输送到输送处理的结束位置时，输送托盘T2的输送停止(步骤S202)(参照图9(c))。这时，与前面的步骤S151同样地，主控制部50生成用于使输送托盘T1在结束位置待机的驱动指令，并将该驱动指令输出至电机控制部60。

[0146] 接着，主控制部50对于离子束控制部70生成用于从第1离子源21L输出下侧离子束BL的驱动指令，并将该驱动指令输出至离子束控制部70。离子束控制部70生成基于驱动指令的输出指令并将该输出指令输出至上述驱动电路71D，驱动电路71D生成与输出指令相应的驱动电流并将其输出至第1离子源21L。第1离子源21L根据驱动电流输出下侧离子束BL(步骤S203)(参照图9(d))。

[0147] 当输出下侧离子束BL时，与前面的步骤S102、或步骤S121同样地，下侧离子束BL的输出轮廓被调整，由此，离子束控制部70生成表示输出调整已完成的完成信号，将该完成信号输出至主控制部50，等待进一步的驱动指令(步骤S240：是)。

[0148] 当完成信号被输入时，主控制部50生成用于向反方向输送输送托盘T2的驱动指令，并将该驱动指令输出至电机控制部60。电机控制部60基于被输入的驱动指令和来自编码器61E的转动位置来生成位置指令并将其输出至驱动电路61D，驱动电路61D基于被输入的位置指令来生成驱动电流并将该驱动电流输出至输送滚子电机61M。由此，输送托盘T2沿去路R1向反方向输送(步骤S205)(参照图9(e))。

[0149] 在表示从输送托盘T的正方向上的前端起的长度为2700mm的条形码到达上述第1条形码读取部23A的拍摄位置时，与上述步骤S105同样地，进行上部条形码群C1的拍摄和输送托盘T相对于拍摄位置的位置的检测(步骤S206)。另外，在步骤S105中，由第1条形码读取部23A以从表示从输送托盘T的一端起的长度为0mm的条形码向表示从输送托盘T的一端起的长度为2700mm的条形码的方式进行拍摄。相对于此，在步骤S206中，由第1条形码读取部23A以从表示从输送托盘T的上述前端起的长度为2700mm的条形码向表示
0mm的条形码的方式进行拍摄。

[0150] 这时，离子束控制部70对由第1条形码读取部23A检测出的输送托盘T的位置、和在上述步骤S210被存储在存储部70中的停止位置进行比较(步骤S207)(参照图9(f))。当被存储的停止位置与输送托盘相对于拍摄位置的位置一致时，离子束控制部70生成用于使第1离子源21L停止输出离子束的输出指令，并将该输出指令输出至驱动电路71D。
驱动电路71D基于被输入的输出指令来生成驱动电流，并将该驱动电流输出至第1离子源
21L。在第1离子源21L中，根据被输入的驱动电流而停止离子束的输出(步骤S208)。

[0151] 当离子束的输出被停止且表示第1离子源21L的输出电流为0A的信号被从第1输出传感器71S输入至离子束控制部70时，离子束控制部70生成表示离子束的照射已完成的完成信号，将该信号输出至主控制部50，等待进一步的驱动指令。主控制部50基于被输入的完成信号来生成用于在使输送托盘T2向反方向输送预定距离后停止输送托盘T2的输送的驱动指令，将该驱动指令输出至上述电机控制部60。另外，上述预定距离是指使被输送该预定距离的输送托盘T2位于比第1离子源21L的照射位置更靠近闸阀15侧的距离。

[0152] 电机控制部60基于被输入的驱动指令和来自编码器61E的转动位置来生成位置指令并将该位置指令输出至驱动电路61D，驱动电路61D基于被输入的位置指令来生成驱动电流并将该驱动电流输出至输送滚子电机61M。输送滚子电机61M进行与被输入的驱动电流相应的转动，从而使得输送托盘T2在被输送到上述预定位置后在该预定位置停止(步骤S209)(参照图10(a))。

[0153] 在从编码器61E输入至电机控制部60的转动位置相对于上述位置指令的偏差在预定值以下时，电机控制部60生成用于使输送滚子电机61M停止转动的位置指令，并将该位置指令输出至驱动电路61D。驱动电路61D基于被输入的位置指令来生成驱动电流，将该驱动电流输出至输送滚子电机61M。由此，输送滚子电机61M的转动被停止。电机控制部60生成表示根据上述驱动指令的输送滚子电机61M的驱动已完成的完成信号，将该完成信号输出至主控制部50，等待进一步的驱动指令。

[0154] 接着，主控制部50基于完成信号的输入来生成用于使输送托盘T2向去路R1的终端侧沿正方向输送预定距离的驱动指令，将该驱动指令输出至电机控制部60。

[0155] 电机控制部60基于被输入的驱动指令和来自编码器61E的转动位置来生成位置指令，将该位置指令输出至驱动电路61D。驱动电路61D基于被输入的位置指令来生成驱动电流，将该驱动电流输出至输送滚子电机61M。输送滚子电机61M基于被输入的驱动电流而向与上述反向输送(步骤S205-步骤S209)相反的方向转动，由此，输送托盘T2沿去路R1向正方向输送(步骤S210)(参照图10(b))。另外，上述规定距离是指被输送该预定距离的输送托盘T2停止在去路R1上的第1照射位置和第2照射位置之间、即、使其被输送到与停止在回路R2上的输送托盘T1对置的位置的距离。由此，输送托盘T2在被输送到上述位置后，被停止在该位置上(步骤S211)(参照图10(c))。

[0156] 当编码器61E向电机控制部60输出的转动位置相对于上述位置指令的偏差在预定值以下时，电机控制部60生成表示根据上述驱动指令的输送滚子电机61M的驱动已完成的完成信号，将该完成信号输出至主控制部50。由此，主控制部50暂先结束输送托盘T2的反向输送处理。

[0157] 另外，在上文中说明了在第1离子源21L正在对去路R1上的输送托盘T2照射下侧离子束BL的途中，该下侧离子束BL的输出停止的情况。但是，这样的反向输送处理也可以在上侧离子束BU对去路R1上的输送托盘T2的照射、在上侧离子束BU对回路R2上的输送托盘T1的照射、及在下侧离子束BL对回路R2上的输送托盘T1的照射在其途中停止的情况下进行。在该情况下，对输送托盘T进行离子束的照射的离子源21L、21U、被拍摄的条形码群C1、C2、拍摄条形码的条形码读取部23B-23D、或输送托盘T的输送路径等虽不同，但与上述同样的顺序进行反向输送处理。在对两个输送托盘T1、T2进行的离子束照射全都异常停止情况下，对各个输送托盘T1、T2进行的反向输送被同时进行。

[0158] 如此，离子束照射位置在基板S上的相对移动中停止时，输送托盘T相对于在该拍摄周期检测出的拍摄位置的位置作为停止位置而被存储。在输送托盘T被输送到没有照射离子束的区域后，再次开始离子束的照射。之后，开始向与前面进行的离子束的照射时的方向相反的方向输送输送托盘T及基板S，在输送托盘T相对于拍摄位置的位置到达上述停止位置时，停止离子束的照射。

[0159] 根据这样的反向输送处理，也能够对没有进行离子束照射的区域进行离子束的照射。而且，由于输出停止后的离子束的照射在确认离子束轮廓后通过反方向输送来进行，所以与通过正方向输送来进行的情况相比，可以以离子束被维持在预定输出的状态进行向基板S的离子束的照射。由此，即使在离子束的照射在中途停止，也可以抑制在基板S的面内上的离子束的照射量的偏差的同时，能够对基板S的输送方向上的整体进行离子束的照射。

[0160] [线束轮廓异常时]

[0161] 另外，在上述离子束照射处理中，在离子束没有以根据输出指令的预定的轮廓输出时(步骤S102：否)，离子束控制部70基于从主控制部50输入的驱动指令、和来自第1输出传感器71S的测量数据来再次生成输出指令，将该输出指令输出至驱动电路61D。驱动电路61D生成基于输出指令的驱动电流，将该驱动电流输出至第1离子源21L，使得第1离子源21L输出离子束。这样，当基于被变更的驱动电流开始离子束的照射时，第1轮廓测量部22L将该变更后的离子束的测量数据输出至离子束控制部70。

[0162] 离子束控制部70对变更驱动电流前后的测量数据进行比较，如果测量数据只变更了被预先设定的预定值的话，就视为可以调整离子束的轮廓(步骤S121：是)，再次对离子束的输出轮廓和与驱动指令相应的预定的轮廓进行比较(步骤S121：否)。另外，在不能调整离子束的轮廓时(步骤S121：否)，离子束控制部70生成表示不能调整轮廓的错误信号，将该错误信号输出至主控制部50(步骤S122)。并且，主控制部50暂先结束离子束照射处理。

[0163] 即使已完成第1离子源21L的输出调整(步骤S102：是)，如果没有第2离子源21U的输出调整在规定时间内完成的话(步骤S103：否、步骤S131：是)，主控制部50暂先结束离子束照射处理。

[0164] 即使在上述反向输送处理中，与上述离子束照射处理同样地，在离子束没有以与输出指令相应的预定的轮廓输出时(步骤S204：否)，离子束控制部70基于从主控制部50输入的驱动指令、和来自第1输出传感器71S的测量数据来再次生成输出指令，并将该输出指令输出至驱动电路61D。驱动电路61D生成基于这样被变更的输出指令的驱动电流并将其输出至第1离子源21L，第1离子源21L进行与该驱动电流相应的输出。由此，如果可以调整离子束的轮廓的话(步骤S221：是)，其输出持续到离子束的轮廓变成预定的轮廓。相对于此，在没有进行离子束的调整的情况下，离子束控制部70生成表示不能调整轮廓的错误信号，并将该错误信号输出至主控制部50(步骤S222)。当错误信号被输入时，主控制部50暂先结束反向输送处理。

[0165] 如上所述，根据上述实施方式可以得到以下列举的效果。

[0166] (1)通过拍摄表示在输送托盘T上的部位的多个条形码C1a的各个条形码，从而检测出输送托盘T相对于拍摄位置的位置。这时，拍摄条形码C1a的拍摄位置和离子束照射的照射位置的相对关系在输送托盘T被输送的期间也被持续维持在预定的关系。因此，在每次由条形码读取部23A-23D检测出输送托盘T上的条形码C1a时，可以检测出照射位置相对于输送托盘T的相对位置。并且，与从输送输送托盘T的输送部的驱动量等检测出输送托盘的位置的方式相比，可以直接地检测出相对于输送托盘T的照射位置。其结果，即使在构成输送输送托盘T的输送部的输送滚子41和输送托盘T上产生偏差的情况下，也能抑制由这样的偏差而产生检测位置的误差。进而，能够提高被保持在输送托盘T的基板S上的照射位置的检测精度。

[0167] (2)由于条形码读取部23A-23D的检测结果和输出传感器71S、72S的检测结果以彼此对应的方式存储在存储部70中，所以可以从被存储在存储部70中的信息来掌握以所需的输出照射离子束的基板S的部位。换句话来讲，可以掌握以所需输出以外的输出照射离子束的基板S的部位、或没有照射离子束的基板S的部位。因此，可以以高精度的基础上对离子束的照射不足的基板S的部位进行用于弥补照射不足的进一步的照射处理。

[0168] (3)可以掌握在基板S上的照射位置中的、变成输出停止的位置。因此，即使对于离子束变成输出停止的位置也能提高检测精度，进而可以以高精度的基础上对于没有照射离子束的基板S的部位进行再次的照射处理。

[0169] (4)当检测出离子束的输出停止时，这时的输送托盘T相对于拍摄位置的位置作为与输出停止进行关联的停止位置而被存储在存储部70a中。并且，在输送托盘T相对于拍摄位置的位置处于停止位置和结束位置之间时，再次输出离子束。因此，可以对于没有照射离子束的部位，以较高的位置精度再次进行离子束的照射。

[0170] (5)当检测到离子束的输出停止时，这时的输送托盘T相对于拍摄位置的位置作为与输出停止进行关联的停止位置而被存储在存储部70a中。并且，在输送托盘T被输送到非照射位置后，再次开始离子束的照射，之后，开始向与在之前进行离子束的照射时的方向相反的方向输送输送托盘T，并在输送托盘T相对于拍摄位置的位置到达停止位置时，停止离子束的照射。因此，可以对基板S上的没有照射离子束的部位，以高位置精度再次进行离子束的照射。

[0171] (6)产生输出停止后的离子束的照射通过向反方向输送输送托盘T来进行。因此，与从停止位置向正方向输送输送托盘的方式相比，以离子束的输出被维持在设定值的状态来进行向基板S的离子束的照射。由此，即使离子束的输出在照射途中停止，也能抑制在基板面内的离子束的照射量的偏差的同时，能向基板S的输送方向上的整体照射离子束。

[0172] (7)多个条形码C1a被排列在输送托盘T上，并且该多个条形码C1a在输送托盘T的正方向上从输送托盘T的前端排列到后端。如果是这样的方式的话，由于可以从输送托盘T的前端到后端得到输送托盘T相对于拍摄位置的位置，所以即使其处于输送托盘T的正方向上的任意的位置上，也能进一步提高输送托盘T的位置的检测精度。

[0173] (8)由于条形码读取部23A-23D相对于输送托盘T被配置在离子源21L、21U相反侧上，所以被这样的条形码读取部23A-23D拍摄的条形码群C1、C2也理所当然相对于输送托盘T被配置在与条形码读取部23A-23D相同的一侧上。根据这样的方式，由于条形码群C1、C2被配置在输送托盘T上的没有照射离子束的一侧上，所以也可以抑制因离子束的热等造成的条形码群C1、C2的外观劣化。所以，能够抑制因条形码群C1、C2的外观的劣化，而使离子束的照射位置的检测精度的降低。

[0174] (9)由于条形码读取部23A-23D被配置在相对于输送托盘T而与离子源21L、21U不对置的位置上，所以也可以抑制因离子束的热造成的条形码读取部23A-23D的拍摄机构的热劣化。所以，可以抑制因条形码群C1、C2的外观的劣化，而使离子束的照射位置的检测精度的降低。

[0175] (10)基板S上的照射部位由下部区域SL和上部区域SU构成，且在下部区域SL和上部区域SU上由相互不同的离子源21L、21U进行离子束的照射。因此，由于对基板S的离子束照射由多个离子源21L、21U进行，所以与使用单独的离子源进行照射相比，能够由多种方式来进行对基板S的离子束照射。所以，使离子束以所需的照射量向基板面内的照射变得容易。并且，与离子束的照射区域重复的构成相比，由于可以个别地设定各个离子源21L、21U的离子束的照射方式，所以使得各个离子源21L、21U的离子束的照射方式变得更简单，还能够提高离子束照射工序的吞吐量(throughput)。

[0176] (11)输送托盘T具有：上部条形码群C1，其被设置在输送托盘T上的上部区域SU侧上；以及下部条形码群C2，其被设置在输送托盘T上的下部区域SL侧上。在离子束照射在上部区域SU上时进行条形码拍摄的第2条形码读取部23B及第3条形码读取部23C读取下部条形码群C2，而另一方面，在离子束照射在下部区域SL上时进行条形码的拍摄的第1条形码读取部23A及第4条形码读取部23D读取上部条形码群C1。因此，能够抑制这样的情况：由离子源21L、21U输出的离子束在到达基板S之前被条形码读取部23A-23D妨碍、即由离子源21L、21U输出的离子束照射在条形码读取部23A-23D。所以，不仅不妨碍对基板S的离子束照射，而且能够提高离子束的照射位置的检测精度。

[0177] 另外，上述实施方式也可以以如下的方式适当地变更而实施。

[0178] 离子束照射装置10也可以是不进行上述反向输送处理的构成。例如，离子束照射装置10也可以向正方向输送输送托盘T的同时，为了只对没有进行离子束的照射的部位再次进行照射，而进行输送托盘T的输送。或者,对离子束没有照射的部位的照射方式，也可以是在由其他的离子束照射装置来进行该照射的方式。这时，优选采用关于停止位置的数据可以在两个离子束照射装置之间移动的构成。

[0179] 条形码读取部23A-23D也可以连接在除了离子束控制部70以外的控制部、例如主控制部50。

[0180] 也可以省略第1条形码读取部23A及第4条形码读取部23D、第2条形码读取部23B、及第3条形码读取部23C的任意一个，并且条形码群C1、C2也可以是迎合条形码读取部的配置而设置在上部框31b、下部框31c的任意一方上的构成。

[0181] 条形码群C1、C2也可以在输送托盘T上的反方向的前端上贴有表示0mm的条形码，另一方面，在该输送托盘T上的反方向的后端上贴有表示2700mm的条形码。

[0182] 条形码群C1、C2不仅是被贴在输送托盘T上的胶带，也可以是将其直接刻在输送托盘T上。

[0183] 参照图11对被贴在上述输送托盘T上的条形码群C1、C2的变形例进行说明。另外，由于与上述同样的理由，在下文中使用上部条形码群C1的一部分进行说明。在图11中示出从第1条形码读取部23A侧看上部条形码群C1时的构成。

[0184] 如图11所示，上部条形码群C1具有多个条形码C1a，并且构成各个条形码C1a的多个条分别沿与输送方向平行的方向被印字。相对于此，在上述实施方式中，如图3(a)所示，构成各个条形码C1a的多个条沿与输送方向垂直的方向被印字。数值部C1b被印字到在输送方向上对应的条形码C1a的右侧。另外，数值部C1b也可以被印字到在输送方向上对应的条形码C1a的左侧，也可以被印字在对应的条形码C1a的上方或下方。各个条形码C1a的周围与上述实施方式的条形码C1a同样地，被空白部分C1c包围。

[0185] 读取这样的上部条形码群C1的第1条形码读取部23A及第4条形码读取部23D具有以预定的周期对上部条形码群C1进行拍摄的拍摄部。各个条形码读取部23A、23D由通过拍摄部得到的上部条形码群C1的图像检测出输送托盘T相对于拍摄位置的位置。拍摄部取得被收敛于规定范围内的图像，并且沿拍摄范围中的与输送方向垂直的方向的宽度被设定为，包含构成各个条形码C1a的所有的条、和空白部分C1c中的条形码C1a的上方的一部分及下方的一部分的大小。

[0186] 在通过拍摄部得到的图像包含如图11所示的“000183”、即表示为从上部框31b的一端离开183mm的位置的条形码C1a时，各个条形码读取部23A、23D将该图像例如从下侧依次变换为二进制数据。各个条形码读取部23A、23D对这样的二进制数据进行译码，从而以预定的周期检测出从上部框31b的正方向的前端到拍摄位置的长度、即输送托盘T相对于拍摄位置的位置。

[0187] 通过如图11所示的方式排列条形码群C1，与比如图3(a)所述的排列的情况相比，能以更高的分辨率来检测出输送托盘T的输送位置。即、在图11的构成中，由于能以与输送方向平行地横向排列条形码C1a，所以与图3(a)的构成相比，能将更多的条形码群C1排列在同一区域(上部框或下部框)内。由此，各个条形码C1a的读取区间在输送方向上变短，能够提高使用了各个条形码C1a的输送位置的检测分辨率。因此，能够提高输送托盘T的位置检测精度。

[0188] 离子源21L、21U的照射位置也可以是在基板S的高度方向的整体上的位置、或也可以是在基板S的高度方向被分割为3个以上的位置。总之，离子束的照射位置与基板S上的输送方向交叉的方向上的整体重叠就可以。

[0189] 对基板S的离子束照射可以在同一区域进行3次以上。或者，离子束对基板S的照射也可以在同一区域只进行1次。

[0190] 输送托盘T也可以以与处理室14的底壁垂直的方式竖立的状态输送。

[0191] 条形码读取部32A-23D也可以被配置在与离子源21L、21U相同的一侧，在这样的构成中，只要将输送托盘T所具有的条形码群C1、C2设置在托盘框31上的照射离子束的一侧的表面上即可。

[0192] 输送托盘T具有的指标并不仅限于条形码，也可以只是二维编码或上述的数值部，总之，只要是表示输送托盘上的部位，且被排列在输送方向上的彼此不同的指标就可以。

[0193] 位置检测部也可以被配置在与离子束照射部的照射位置对置的位置上。这时，优选位置检测部为另外具有遮蔽离子束的遮蔽部，以使被照射在照射位置上的离子束不被照射到位置检测部上。

[0194] 为检测离子束的输出的输出检测部的输出传感器71S、72S并不仅限于将作为离子束的输出值的灯丝的电流值小于预定的设定值的结果作为检测结果而输出的传感器，也可以是将离子束的输出值作为检测结果输出的传感器。这时,优选其为另外具有这样的构成、即离子束控制部另外判断离子束的输出是否小于预定的设定值。在检测离子束的输出的输出检测部将离子束的输出值作为检测结果而输出的情况下，也可以是位置检测部的检测结果和输出检测部的检测结果针对每个预定的周期进行关联而被存储的构成。根据这样的构成，也可以在基板S的整体上掌握各个部位的照射量。另外，离子束照射装置也可以是省略这样的输出检测部的构成。

[0195] 输出检测部检测出离子束的输出值的检测周期和位置检测部检测出输送托盘的位置的检测周期也可以是彼此不同的周期。总之，只要是将位置检测部的检测结果和检测到该检测结果时的最新的输出检测部的检测结果进行关联而被存储的构成即可。

[0196] 在上述实施方式中，在离子束的输出异常停止时，对向反方向输送的基板S进行离子束的照射，直到上述停止位置。但并不仅限于此，在离子束的输出降低时，离子束的照射也可以由以下的方式来进行。

[0197] 即、例如，将上述第1输出传感器及第2输出传感器当作检测由离子源21L、21U输出的离子束的时间性及空间性的轮廓的传感器。并且，各个输出传感器在检测到的轮廓小于预定的阈值的情况下，生成表示离子束的输出降低的输出降低信号，并将该输出降低信号输出至离子束控制部70。输出传感器从生成输出降低信号时开始到输送托盘T在正方向上的输送结束为止以每个预定期间检测出离子束的轮廓，并将该检测出的轮廓输出至离子束控制部70。

[0198] 另一方面，离子束控制部70根据来自输出传感器的输出降低信号将在输入了输出降低信号的拍摄周期中的位置数据作为离子束的输出降低的降低位置而存储。离子束控制装置70将从输出传感器输入的轮廓和各个轮廓被输入时的拍摄周围中的位置数据进行关联而存储。

[0199] 离子束控制部70在对向反方向输送的基板S照射离子束时，基于从主控制部50输入的驱动指令和被存储的轮廓及位置数据，将输出指令输出至驱动电路71D、71D。

[0200] 驱动电路71D、72D基于从离子束控制部70输入的输出指令来生成离子源21L、21U的驱动电流，并该将驱动电流输出至离子源21L、21U。由此，离子源21L、21U进行与被输入的驱动电流相应的离子束的输出，从而输出基于上述被存储的轮廓及位置数据而被补正的离子束。这样的离子束的照射在输送托盘T相对于上述拍摄位置的位置到达上述输出降低位置时被停止。

[0201] 由此，即使离子束的照射在途中降低，也能进一步抑制基板S上的面内的离子束的照射量的偏差。另外，离子束照射装置10的电气构成并不仅限于上述构成，总之，只要是基于离子束的轮廓的变动和产生该变动的输送托盘的位置来补正反向输送时的离子束的输出的构成的话，就可以得到同样的效果。

[0202] 在图3(a)的实施方式或图11的变形例中，作为检测输送托盘T的位置的指标使用条形码C1a，但是除了条形码还可以使用其他的指标。作为指标也可以使用例如QR编码(注册商标)等二维编码。在使用二维编码的情况下，由于不仅是表示输送托盘T的位置的位置信息，而且能在二维编码中包含基板S的制造号码等其他信息，所以能从指标取得更多的信息。

标题	发布/更新时间	阅读量
一种基于射频标签技术的图书馆图书信息管理系统	2020-05-08	963
容器部件上的矩阵条形码	2020-05-08	485
电池规格查找和集结方法	2020-05-11	195
路径制品认证	2020-05-11	399
核酸的精确和大规模平行定量	2020-05-11	164
具有条形码的安全气囊	2020-05-08	62
饮料筒认证	2020-05-11	526
一种智能识读标识	2020-05-08	782
一种用于快速分拣的主线条码扫描装置	2020-05-11	792
一种高效率腕臂预配生产线	2020-05-11	693

离子束照射装置

离子束照射装置

技术领域

背景技术

发明内容

具体实施方式

该功能需要专业版企业版VIP权限，您可以：