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互连结构、电路及包括该互连结构或电路的 电子设备

阅读：1054发布：2020-07-21

专利汇可以提供互连结构、电路及包括该互连结构或电路的电子设备专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且公开了一种互连结构、电路及包括这种互连结构或电路的电子设备。根据实施例，一种用于在衬底上形成的多个半导体器件的互连结构可以设置在所述多个半导体器件之下。该互连结构可以包括：沿从半导体器件向着衬底的方向交替设置的至少一个过孔层和至少一个互连层，其中，每一过孔层包括分别设于所述多个半导体器件中至少一部分半导体器件下方的过孔，每一互连层包括分别设于所述多个半导体器件中至少一部分半导体器件下方的导电节点，其中，在同一互连层中，至少一个导电节点与至少另一个节点之间具有导电通道，各过孔层中的过孔与各互连层中的相应导电节点在从半导体器件向着衬底的方向上彼此至少部分地交迭。，下面是互连结构、电路及包括该互连结构或电路的电子设备专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种用于在衬底上形成的多个半导体器件的互连结构，所述互连结构设置在所述多个半导体器件之下，且包括：
沿从半导体器件向着衬底的方向交替设置的至少一个过孔层和至少一个互连层，其中，
每一过孔层包括分别设于所述多个半导体器件中至少一部分半导体器件下方的过孔，每一互连层包括分别设于所述多个半导体器件中至少一部分半导体器件下方的导电节点，其中，在同一互连层中，至少一个导电节点与至少另一个节点之间具有导电通道，各过孔层中的过孔与各互连层中的相应导电节点在从半导体器件向着衬底的方向上彼此至少部分地交迭。
2.根据权利要求1所述的互连结构，其中，各过孔层中的过孔与各互连层中的相应导电节点在从半导体器件向着衬底的方向上彼此实质上对准。
3.根据权利要求1所述的互连结构，其中，所述多个半导体器件包括竖直半导体器件、平面半导体器件或者鳍式场效应晶体管中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的互连结构，其中，各过孔层中的至少一个过孔、各互连层中的相应导电节点与相应的半导体器件的源/漏区在从半导体器件向着衬底的方向上彼此实质上对准。
5.根据权利要求1所述的互连结构，其中，从半导体器件向着衬底的方向是实质上垂直于衬底表面的方向。
6.根据权利要求1所述的互连结构，其中，各过孔层中的过孔实质上共面，各互连层中的导电节点、导电通道实质上共面。
7.根据权利要求1所述的互连结构，其中，在每一过孔层中，在所述多个半导体器件之中的第一组源/漏区下方设置有过孔，在所述多个半导体器件之中的第二组源/漏区下方设置有绝缘部，各过孔层中的绝缘部与各互连层中的相应导电节点在从半导体器件向着衬底的方向上彼此至少部分地交迭。
8.根据权利要求7所述的互连结构，其中，各过孔层中的过孔与各互连层中的相应导电节点在从半导体器件向着衬底的方向上彼此实质上对准，且各过孔层中的绝缘部与各互连层中的相应导电节点在半导体器件向着衬底的方向上彼此实质上对准。
9.根据权利要求7所述的互连结构，其中，各过孔层中的过孔、各互连层中的相应导电节点与相应的半导体器件的源/漏区在从半导体器件向着衬底的方向上彼此实质上对准，且各过孔层中的绝缘部、各互连层中的相应导电节点与相应的半导体器件的源/漏区在从半导体器件向着衬底的方向上彼此实质上对准。
10.根据权利要求7所述的互连结构，其中，各过孔层中的过孔和绝缘部的布局与各互连层中的导电节点的布局实质上相同。
11.根据权利要求7所述的互连结构，其中，各过孔层中的过孔、绝缘部实质上共面，各互连层中的导电节点、导电通道实质上共面。
12.根据权利要求7所述的互连结构，其中，所述绝缘部与所述互连结构中的层间电介质层具有不同的绝缘材料。
13.根据权利要求7所述的互连结构，其中，所述过孔和所述绝缘部具有实质上相同的横向尺寸。
14.根据权利要求1所述的互连结构，其中，在每一互连层中，各导电节点具有设于相应半导体器件下方的主体部以及从主体部向着其相邻导电节点延伸的延伸部，其中每一对相邻的导电节点的彼此相向的延伸部实质上沿相同直线延伸，其中至少一对相邻的导电节点的彼此相向的延伸部延伸为彼此连接在一起从而构成所述导电通道的至少一部分。
15.根据权利要求14所述的互连结构，其中，所述延伸部细于所述主体部。
16.根据权利要求14所述的互连结构，其中，至少一对相邻的导电节点的彼此相向的延伸部之间具有绝缘部，所述绝缘部与所述延伸部实质上沿着相同直线延伸。
17.根据权利要求16所述的互连结构，其中，所述绝缘部与所述互连结构中的层间电介质层具有不同的绝缘材料。
18.根据权利要求16所述的互连结构，其中，所述绝缘部与所述延伸部在所述直线的方向上实质上对准。
19.根据权利要求16所述的互连结构，其中，所述绝缘部与所述延伸部各自垂直于所述直线的截面具有基本相同的形状。
20.根据权利要求16所述的互连结构，其中，所述绝缘部位于其两侧的主体部之间的基本上中心位置。
21.根据权利要求14所述的互连结构，其中，各互连层中的至少一个主体部与相应的半导体器件的源/漏区在从半导体器件向着衬底的方向上实质上对准。
22.根据权利要求14所述的互连结构，其中，所述半导体器件是竖直半导体器件，且在俯视图中，所述延伸部延伸超出相应的半导体器件的有源区的外周。
23.根据权利要求14所述的互连结构，其中，
在每一过孔层中，所述过孔分别处于按行和列排列的二维点阵中的至少一部分点之处，
在每一互连层中，所述主体部分别处于所述二维点阵中的至少一部分点之处，且所述延伸部在所述行或列的方向上延伸。
24.根据权利要求23所述的互连结构，其中，在俯视图中，各互连层具有由所述行和列限定的网格图案。
25.根据权利要求1所述的互连结构，其中，所述过孔、所述导电节点和所述导电通道包括金属硅化物。
26.根据权利要求1所述的互连结构，其中，各半导体器件中的至少部分器件的沟道材料是单晶半导体材料。
27.一种电路，包括：
衬底；
设于衬底上的互连结构，所述互连结构包括沿实质上垂直于衬底表面的方向交替设置的至少一个过孔层和至少一个互连层，互连结构的最上层是过孔层；以及设于互连结构上的多个半导体器件，其中，
每一过孔层包括设于按行和列排列的二维点阵中的至少一部分点之处的过孔，每一互连层包括设于所述二维点阵中的至少一部分点之处的主体部以及从所述主体部沿所述行或列的方向延伸的延伸部，至少一部分相邻主体部各自彼此相向的延伸部相接触，
至少一部分半导体器件的源/漏区与最上层的过孔层中的相应过孔相接触。
28.根据权利要求27所述的电路，其中，在每一互连层中，从至少一部分相邻主体部分别彼此相向延伸的延伸部之间设置有与所述延伸部沿相同方向延伸且实质上共面的绝缘部。
29.根据权利要求27所述的电路，其中，每一互连层中的主体部粗于延伸部。
30.根据权利要求27所述的电路，其中，在每一过孔层中，所述二维点阵之中的第一组点之处设置有过孔，在所述二维点阵之中的不同于第一组点的第二组点之处设置有绝缘部，所述绝缘部与所述过孔实质上共面。
31.根据权利要求27所述的电路，其中，
至少一部分所述半导体器件是竖直半导体器件，包括在所述二维点阵的至少一部分点之处沿实质上垂直于衬底表面的方向延伸的竖直有源区；或者
至少一部分所述半导体器件是平面半导体器件或鳍式场效应晶体管，包括沿着所述行或列的方向延伸的水平有源区或鳍。
32.根据权利要求27所述的电路，还包括：在所述互连结构上设置于所述二维点阵之中的一部分点之处的接触插塞。
33.根据权利要求32所述的电路，还包括：在所述半导体器件上设置于所述二维点阵之中的至少一部分点之处的接触部，所述接触部向下延伸至接触相应的半导体器件的源/漏区或接触插塞。
34.根据权利要求32所述的电路，其中，
至少一部分所述半导体器件是竖直半导体器件，包括在所述二维点阵的至少一部分点之处沿实质上垂直于衬底表面的方向延伸的竖直有源区，所述接触插塞与所述竖直有源区实质上共面；或者
至少一部分所述半导体器件是平面半导体器件或鳍式场效应晶体管，包括沿着所述行或列的方向延伸的水平有源区或鳍，所述接触插塞与所述水平有源区或鳍中的源/漏区实质上共面。
35.根据权利要求32所述的电路，其中，至少一部分接触插塞与最上层的过孔相接触。
36.根据权利要求32所述的电路，其中，
至少一部分所述半导体器件是竖直半导体器件，包括在所述二维点阵的至少一部分点之处沿实质上垂直于衬底表面的方向延伸的竖直有源区，每一竖直半导体器件包括绕竖直有源区中的沟道区形成的栅电极，
至少一部分接触插塞与相邻的竖直半导体器件的栅电极相接触。
37.根据权利要求36所述的电路，其中，所述至少一部分接触插塞各自包括设于所述二维点阵中的相应点之处的主体部以及从所述主体部沿所述行或列的方向向着所述相邻的竖直半导体器件延伸的延伸部，所述延伸部与所述相邻的竖直半导体器件的栅电极相接触且彼此实质上共面。
38.根据权利要求31所述的电路，其中，每一竖直半导体器件包括绕竖直有源区中的沟道区形成的栅电极，各栅电极包括设于所述二维点阵中的相应点之处的主体部以及从所述主体部沿所述行或列的方向延伸的延伸部，至少一部分相邻栅电极各自彼此相向的延伸部相接触。
39.根据权利要求38所述的电路，其中，各栅电极实质上共面。
40.根据权利要求32所述的电路，其中，所述过孔包括金属硅化物，所述互连层的主体部和延伸部包括金属硅化物，以及所述接触插塞包括金属硅化物。
41.根据权利要求31所述的电路，其中，每一平面半导体器件或鳍式场效应晶体管各自的水平有源区或鳍包括位于所述二维点阵中的相邻点之间的位置处的沟道区以及位于沟道区两侧的源/漏区。
42.根据权利要求41所述的电路，其中，每一平面半导体器件或鳍式场效应晶体管包括沿与相应水平有源区或鳍的延伸方向交叉的方向延伸、与相应沟道区在竖直方向上重叠的栅电极。
43.根据权利要求42所述的电路，其中，
至少一部分相邻的平面半导体器件或鳍式场效应晶体管各自的有源区通过彼此之间的隔离部而电隔离，
所述电路还包括绕各栅电极以及个隔离部的至少上部侧壁形成的电介质侧墙。
44.根据权利要求27所述的电路，还包括：设于所述有源区上方的硬掩模层，所述硬掩模层具有以所述行和列限定的网格图案。
45.根据权利要求27所述的电路，其中，有源区包括单晶半导体材料。
46.根据权利要求27所述的电路，其中，所述半导体器件的沟道区包括单晶半导体材料。
47.一种电子设备，包括如权利要求1至26中任一项所述的互连结果或如权利要求27至
46中任一项所述的电路。
48.根据权利要求47所述的电子设备，其中，该电子设备包括智能电话、计算机、平板电脑、人工智能、可穿戴设备或移动电源。

说明书全文

互连结构、电路及包括该互连结构或电路的 电子设备

技术领域

[0001] 本公开涉及半导体领域，更具体地，涉及器件层之间的互连结构、包括器件层之间的互连的电路及包括这种互连结构或电路的电子设备。

背景技术

[0002] 器件层之间的互连能够降低寄生电阻和电容，从而可以降低集成电路(IC)的电阻电容(RC)延迟和功耗。另外，还可以增加IC的集成密度并因此降低IC的制造成本。但是，难以在器件层之间进行互连，因为互连工艺与器件集成工艺并不兼容。发明内容

[0003] 有鉴于此，本公开的目的至少部分地在于提供一种器件层之间的互连结构、包括器件层之间的互连的电路以及包括这种互连结构或电路的电子设备。

[0004] 根据本公开的一个方面，提供了一种用于在衬底上形成的多个半导体器件的互连结构，所述互连结构设置在所述多个半导体器件之下，且包括：沿从半导体器件向着衬底的方向交替设置的至少一个过孔层和至少一个互连层，其中，每一过孔层包括分别设于所述多个半导体器件中至少一部分半导体器件下方的过孔，每一互连层包括分别设于所述多个半导体器件中至少一部分半导体器件下方的导电节点，其中，在同一互连层中，至少一个导电节点与至少另一个节点之间具有导电通道，各过孔层中的过孔与各互连层中的相应导电节点在从半导体器件向着衬底的方向上彼此至少部分地交迭。

[0005] 根据本公开的另一方面，提供了一种电路，包括：衬底；设于衬底上的互连结构，所述互连结构包括沿实质上垂直于衬底表面的方向交替设置的至少一个过孔层和至少一个互连层，互连结构的最上层是过孔层；以及设于互连结构上的多个半导体器件，其中，每一过孔层包括设于按行和列排列的二维点阵中的至少一部分点之处的过孔，每一互连层包括设于所述二维点阵中的至少一部分点之处的主体部以及从所述主体部沿所述行或列的方向延伸的延伸部，至少一部分相邻主体部各自彼此相向的延伸部相接触，至少一部分半导体器件的源/漏区与最上层的过孔层中的相应过孔相接触。

[0006] 根据本公开的另一方面，提供了一种制造用于半导体器件的互连结构的方法，包括：在衬底上设置交替堆叠的至少一个第一牺牲层和至少一个第二牺牲层的第一叠层，其中，第一叠层的最上层是第一牺牲层；在第一叠层上设置器件有源材料层；在器件有源材料层上设置第一硬掩模层，第一硬掩模层具有由沿彼此交叉的第一方向和第二方向延伸的线条限定的网格图案，包括由线条之间的交叉点限定的节点以及节点之间的桥接部分；利用第一硬掩模层，在器件有源材料层中限定针对半导体器件的有源区；利用第一硬掩模层，对第一叠层进行构图，从而第一叠层中的各层具有与第一硬掩模层相对应的网格图案，并因此包括节点以及节点之间的桥接部分；以及在第一叠层中限定互连结构，包括：针对各第一牺牲层：将该第一牺牲层的各桥接部分至少部分地去除从而该第一牺牲层的节点彼此分离；根据互连结构的布局，去除该第一牺牲层中的一个或多个节点，以及针对各第二牺牲层：根据互连结构的布局，将该第二牺牲层中的一个或多个桥接部分切断，以及在各第一牺牲层和各第二牺牲层的残留部分的区域处形成导电材料。

[0007] 根据本公开的另一方面，提供了一种电子设备，包括上述互连结构或电路。

[0008] 根据本公开的实施例，提出了器件层之下(相对于衬底而言)的互连结构及其制作方法。这种结构可以是三维(3D)结构，更具体地，互连可以在3D网格上构建，实现器件层之间的互连。这种结构可以通过以下详述的刻蚀-填充-刻蚀-填充(etch-fill-etch-fill，EFEF)的方法来制作，以便与器件集成工艺相兼容。器件的源/漏区与互连结构中的过孔可以自对准，而且互连结构中不同层之间的过孔可以自对准。器件的有源区可以由单晶半导体制成，从而可以改进器件性能。根据本公开的技术在极紫外(EUV)光刻下可以有很好的应用。附图说明

[0009] 通过以下参照附图对本公开实施例的描述，本公开的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

[0010] 图1至52(d)示出了根据本公开实施例的制造竖直半导体器件的流程中部分阶段的示意图，其中，图2(a)、8(a)、9(a)、12(a)、14(a)、15(a)、23(a)、25(a)、27(a)、32(a)、35(a)、43(a)、49(a)、52(a)是俯视图，图1、2(b)、3、4(b)、5(b)、6(b)、7(b)、8(b)、10(b)、11(b)、12(c)、13(b)、14(c)、15(c)、16(b)、17(b)、18(b)、19(b)、20(b)、21(b)、22(b)、23(c)、24(b)、25(c)是沿BB′线的截面图，图4(a)、5(a)、6(a)、7(a)、9(b)、10(a)、11(a)、12(b)、13(a)、14(b)、15(b)、16(a)、17(a)、18(a)、19(a)、20(a)、21(a)、22(a)、23(b)、24(a)、25(b)、
30、31(a)、32(b)、33(a)、34(a)、35(b)、36、37、38(a)、39(a)、40(a)、41、42(a)、43(b)、44、47(a)、49(b)、50(a)、51(a)、52(b)是沿AA′线的截面图，图23(d)、24(c)、25(d)是沿CC′线的截面图，图25(e)、26、47(b)、49(c)、50(b)、51(b)、52(c)是沿FF′线的截面图，图25(f-1)、25(f-2)、25(f-3)、25(f-4)、27(b)、28(a)、29(a)、31(b-1)、31(b-2)、33(b-1)、33(b-2)、34(b)、38(b)、39(b)、40(b)是沿DD′线的截面图，图27(c)、28(b)、29(b)、49(d)、50(c)、51(c)是沿EE′线的截面图，图42(b)、45、46、47(c)、48是沿GG′线的截面图，图50(d)、51(d)、52(d)是沿1-1′线的截面图；

[0011] 图53至66(b)示出了根据本公开实施例的制造鳍式场效应晶体管(FinFET)的流程中部分阶段的示意图，其中，图54(a)、59(a)、60(a)、62(a)、63(a)、64(a)、65(a)、66(a)是俯视图，图53、54(b)、55(b)、56、59(c)、60(c)、63(c)、64(c)是沿BB′线的截面图，图55(a)、57(a)、59(b)、60(b)、61、62(b)、63(b)、64(b)、65(b)、66(b)是沿AA′线的截面图，图57(b)是沿FF′线的截面图，图57(d)、58、59(d)是沿GG′线的截面图，图65(c)是沿HH′线的截面图，图57(c)是沿1-1′线的截面图；

[0012] 图67至70(b)示出了根据本公开实施例的制造平面半导体器件的流程中部分阶段的示意图，其中，图68(a)、69(a)、70(a)是俯视图，图67是沿BB′线的截面图，图68(b)、69(b)、70(b)是沿GG′线的截面图。

[0013] 贯穿附图，相同或相似的附图标记表示相同或相似的部件。

具体实施方式

[0014] 以下，将参照附图来描述本公开的实施例。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本公开的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本公开的概念。

[0015] 在附图中示出了根据本公开实施例的各种结构示意图。这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚表达的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域、层的形状以及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域/层。

[0016] 在本公开的上下文中，当将一层/元件称作位于另一层/元件“上”时，该层/元件可以直接位于该另一层/元件上，或者它们之间可以存在居中层/元件。另外，如果在一种朝向中一层/元件位于另一层/元件“上”，那么当调转朝向时，该层/元件可以位于该另一层/元件“下”。

[0017] 根据本公开的实施例，提出了一种互连结构。与常规技术中在衬底上形成半导体器件之后在器件上方形成互连结构如金属化叠层(metallization)不同，根据实施例的互连结构可以设置在器件下方，例如器件与衬底之间。互连结构可以包括交替堆叠的至少一个过孔层和至少一个互连层。各过孔层中设置有过孔，以便实现该过孔层之下的层与之上的层(均为互连层)之间的电连接。各互连层中设置有导电通道，以便实现该互连层之内的路线选择(routing)。一般而言，互连结构最靠近器件一侧是过孔层，以便从相应器件引出电连接。

[0018] 在各过孔层中，过孔可以分别处于相应半导体器件(特别是其有源区，例如源/漏区)的下方。例如，这是由于如下所述它们可以采用实质上相同的图案来限定。于是，过孔可以和相应半导体器件(特别是其有源区，例如源/漏区)沿着刻蚀方向可以至少部分地交迭，甚至可以实质上对准，例如中心对准。当然，在各过孔层中，并非一定是所有半导体器件更具体地其源/漏区下方都形成有过孔，而是可以仅有一部分源/漏区(可以称作“第一组源/漏区”)下方形成有过孔，而另一部分源/漏区(可以称作“第二组源/漏区”)下方可以形成有绝缘部。过孔层中过孔和绝缘部的布局可以根据电路设计所需的连接布局而定。

[0019] 类似地，在各互连层中，可以存在处于相应半导体器件(特别是其有源区，例如源/漏区)下方的导电节点。同样地，例如这是由于如下所述它们可以采用实质上相同的图案来限定。于是，导电节点可以和相应半导体器件(特别是其有源区，例如源/漏区)(以及相应的过孔)沿着刻蚀方向可以至少部分地交迭，甚至可以实质上对准，例如中心对准。同样地，在各互连层中，并非一定是所有半导体器件更具体地其源/漏区下方都形成有导电节点，而是可以仅有一部分源/漏区下方形成有导电节点。

[0020] 在各互连层中，导电通道在相应导电节点之间延伸。根据本公开的实施例，导电通道可以在相邻导电节点之间逐跳延伸，而并不存在直接连接非相邻导电节点的导电通道(所谓“直接连接”，是指不经过其他导电节点)。

[0021] 对于每一过孔而言，其上一层和下一层均可以存在相应的导电节点并与之相接触，以便实现上下两层之间的电连接。对于每一导电节点而言，其上一层和下一层可以均不存在相应过孔，从而该导电节点可以作为导电通道上的中间节点；或者，其上一层和/或下一层可以存在相应过孔并与之相接触，以实现层之间的电连接。

[0022] 于是，互连结构中各层可以呈现与半导体器件相似的布局。在此，将布局称为“阵列”，例如按行和列排列的二维阵列(当然也可以是其他形式的阵列)，并将布局中的元素(例如，器件层中的半导体器件、过孔层中的过孔、或互连层中的导电节点)称为“节点”。各过孔层的阵列与器件层的阵列可以基本相同，但可能缺失了某些节点(如下所述，这些节点处可以设置有绝缘部)。各互连层的阵列与器件层的阵列可以基本相同，但可能缺失了某些节点。

[0023] 在某些实施例中，在各互连层中，可以在所有节点处均形成导电节点。对于不需要的导电节点，可以在其上、下方的过孔层中的相应位置处设置绝缘部，并切断其与相邻导电节点之间的导电通道，使其成为孤立的虚设节点。这可以使对于互连层中导电节点的处理一致化，从而使工艺易于进行。

[0024] 因此，互连结构可以整体上成为一种三维(3D)网格结构。各互连层中的导电通道可以沿着阵列中的网格的边(例如，行或列的方向)延伸。

[0025] 这种互连结构特别适用于竖直型半导体器件。竖直型半导体器件可以包括在竖直方向(例如，基本上垂直于衬底表面的方向)上延伸的有源区。互连结构中的各节点可以沿竖直方向处于各竖直型半导体器件的有源区下方，并可以在竖直方向上对准，例如中心对准。

[0026] 竖直有源区可以包括分处于上下两端的源/漏区和位于源/漏区之间的沟道区。源/漏区之间可以通过沟道区形成导电通道。这种有源区例如可以通过依次叠置的第一源/漏层、沟道层和第二源/漏层来提供。源/漏区可以基本上形成在第一和第二源/漏层中，沟道区可以基本上形成在沟道层中。有源区特别是沟道层可以呈现纳米线的形状，从而得到纳米线器件。或者，有源区特别是沟道层可以呈现纳米片的形状，从而得到纳米片器件。

[0027] 沟道层可以由单晶半导体材料构成，以改善器件性能。当然，第一、第二源/漏层也可以由单晶半导体材料构成。这种情况下，沟道层的单晶半导体材料与源/漏层的单晶半导体材料可以是共晶体。

[0028] 根据本公开的实施例，这种半导体器件可以是常规场效应晶体管(FET)。在FET的情况下，沟道区两侧的源/漏区可以具有相同导电类型(例如，n型或p型)的掺杂。分处于沟道区两端的源/漏区之间可以通过沟道区形成导电通道。或者，这种半导体器件可以是隧穿FET。在隧穿FET的情况下，沟道区两侧的源/漏区)可以具有不同导电类型(例如，分别为n型和p型)的掺杂。这种情况下，带电粒子如电子可以从源区隧穿通过沟道区而进入漏区，从而使源区和漏区之间形成导通路径。尽管常规FET和隧穿FET中的导通机制并不相同，但是它们均表现出可通过栅来控制源/漏区之间导通与否的电学性能。因此，对于常规FET和隧穿FET，统一以术语“源/漏层(源/漏区)”和“沟道层(沟道区)”来描述，尽管在隧穿FET中并不存在通常意义上的“沟道”。

[0029] 栅电极可以绕沟道区的至少部分外周形成。栅电极可以自对准于沟道层。例如，栅电极靠近沟道层一侧的侧壁可以与沟道层的外周侧壁对准从而在竖直方向上占据实质上相同的范围。这样，可以减少或甚至避免栅电极与源/漏区的交迭，有助于降低栅与源/漏之间的寄生电容。

[0030] 为便于不同器件之间栅电极的连接以及向栅电极施加电信号，栅电极除了绕沟道区的主体部之外，还可以包括从主体部向外延伸的延伸部。延伸部也可以沿着阵列中的网格的边(例如，行或列的方向)延伸。至少一部分相邻栅电极各自彼此相向的延伸部可以接触，从而彼此电连接。

[0031] 根据本公开的实施例，还可以设置用于将电信号引入互连结构中的接触插塞。例如，接触插塞与互连结构中最上层的过孔层中的相应过孔相接触，以便将电信号施加到互连结构中。于是，接触插塞也可以位于阵列中的相应节点处。根据本公开的实施例，接触插塞可以通过将相应节点处的有源区转换为导电材料(例如，通过硅化处理得到的硅化物)来形成，于是接触插塞可以自对准于相应节点(或者说，相应节点处的过孔)。也即，器件层的阵列中，部分节点可以是真正的器件有源区，而另外一些节点可以是接触插塞。

[0032] 根据本公开的实施例，还可以设置用于将电信号施加到栅电极的接触插塞。出于工艺一致性的目的，这种接触插塞也可以如上所述通过相应节点处的有源区转换为导电材料来形成(“主体部”)。另外，接触插塞除了节点处的主体部之外，还可以包括从主体部延伸以便与栅电极相接触的延伸部。延伸部也可以沿着阵列中的网格的边(例如，行或列的方向)延伸。

[0033] 根据本公开的实施例，半导体器件也可以是其他的形式，例如鳍式场效应晶体管(FinFET)或平面型半导体器件，它们的鳍或有源区可以沿横向方向(例如，基本上平行于衬底表面的方向)延伸，例如可以沿着阵列中的网格的边(例如，行或列的方向)延伸。器件的源/漏区可以位于阵列的节点处。这样，通过在下方形成的互连结构，可以实现到器件阵列中至少部分源/漏区的电连接。

[0034] 这种互连结构例如可以如下制造。

[0035] 根据本公开的实施例，可以在衬底上设置交替堆叠的第一牺牲层和第二牺牲层的第一叠层。第一叠层随后用于形成互连结构。在此，为便于描述，将限定过孔层位置的牺牲层称作第一牺牲层，而将限定互连层位置的牺牲层称作第二牺牲层。因此，第一堆叠最上方的牺牲层可以是第一牺牲层之一。第一牺牲层和第二牺牲层可以相对于彼此具备刻蚀选择性。

[0036] 在第一叠层上，可以设置随后用于形成器件有源区的半导体材料。例如，在形成竖直半导体器件的情况下，可以设置依次堆叠的第一源/漏层、沟道层、第二源/漏层的第二叠层。沟道层相对于第一和第二源/漏层可以具备刻蚀选择性。另外，第一源/漏层和第二源/漏层可以包括相同的半导体材料。第一叠层和第二叠层之间至少相邻的层(即，第一叠层的最顶层和第二叠层的最底层)相对于彼此具备刻蚀选择性。例如，这些层可以通过外延生长来形成。由于分别外延生长，至少一对相邻层之间可以具有清晰的晶体界面。另外，可以对各层特别是第二叠层中的各层分别进行掺杂，于是至少一对相邻层之间可以具有掺杂浓度界面。

[0037] 为便于构图，可以在有源区半导体材料例如第二叠层的顶部上设置硬掩模层。硬掩模层可以呈网格状。例如，硬掩模层可以包括按行和列设置的线条。在此，将硬掩模层中的行和列的交叉点称为“节点”，节点之间的线条称为“桥接部分”。其他层中如果形成网格图案的话，也可以如此称呼。在竖直半导体器件的情况下，硬掩模层的网格图案的节点可以限定竖直有源区的主体位置，而且节点的线宽可以增大以粗于桥接部分。在FinFET或平面半导体器件的情况下，硬掩模层的网格图案的桥接部分的大致中部可以限定沟道区，且沟道区两侧的部分(节点及其周围的桥接部分)可以限定源/漏区。

[0038] 可以利用硬掩模层，在有源区半导体材料例如第二叠层中限定有源区。例如，可以将硬掩模层的图案转移到第二叠层中。在竖直半导体器件的情况下，有源区可以位于各节点相对应的位置处。此时，可以去除第二叠层中与桥接部分相对应的部分(可以代之以支撑材料以提供结构支撑)，而保留第二叠层中与节点相对应的部分，形成多个分离的有源区。一些有源区可以用来形成器件，另一些有源区可以在随后例如通过硅化处理而转化为导电接触插塞。

[0039] 接下来，可以利用掩模层，在第一叠层中限定互连结构的框架。这可以通过将硬掩模层的图案转移到第一叠层中，并在每一层中根据互连结构的连接设计对图案进行修整来实现。

[0040] 在过孔层中，需要设置穿透过孔层的过孔以实现上下互连层之间的连接。这种过孔可以沿竖直方向延伸，而无需在过孔层内的横向延伸配置。因此，对于第一牺牲层而言，可以利用硬掩模层的节点来在其中限定过孔的图案。具体地，可以将节点的布局转移到第一牺牲层中。例如，在将硬掩模层的图案转移到第一牺牲层中之后，可以去除第一牺牲层中的桥接部分，而留下第一牺牲层中的节点。可以根据各过孔层中的过孔布局，对相应第一牺牲层中的节点进行去除或保留，以实现所需的过孔布局。

[0041] 在互连层中，需要设置在互连层内横向延伸的导电通道，以实现路线选择。因此，对于第二牺牲层而言，可以利用硬掩模层中的桥接部分来在其中限定导电通道的走向。具体地，可以将硬掩模层的图案转移到第二牺牲层中，第二牺牲层中的节点可以充当作为导电通道的桥接部分之间的中继点。另外，第二牺牲层中的节点还可以与第一牺牲层中的相应节点接触，以实现上下层之间的互连。可以根据各互连层中的连接设计，对相应第二牺牲层中的桥接部分进行切断或保留，以实现所需的路线选择。

[0042] 对于第一叠层中图案的修整，可以逐层进行，例如从上向下依次进行。可以利用遮蔽层来遮蔽第一叠层，并逐渐向下回蚀遮蔽层以逐一露出第一叠层中的各层。在对第一叠层中的某一层进行处理时，其下方的层可以被遮蔽层所遮蔽以免受影响。

[0043] 通常互连结构中各层之间的设计并不一定是一样的。随着遮蔽层的逐渐回蚀，在对下方的层进行处理时，其上方的层可能露出而受到影响。为避免在对下层进行处理时对上层造成影响，可以将第一或第二牺牲层中需要保留的部分替换为不同的材料。这可以通过刻蚀-填充-刻蚀-填充(EFEF)的方法来实现，以下将对此进行详细描述。

[0044] 本公开可以各种形式呈现，以下将描述其中一些示例。在以下的描述中，涉及各种材料的选择。材料的选择除了考虑其功能(例如，半导体材料用于形成有源区，电介质材料用于形成电隔离)之外，还考虑刻蚀选择性。在以下的描述中，可能指出了所需的刻蚀选择性，也可能并未指出。本领域技术人员应当清楚，当以下提及对某一材料层进行刻蚀时，如果没有提到其他层也被刻蚀或者图中并未示出其他层也被刻蚀，那么这种刻蚀可以是选择性的，且该材料层相对于暴露于相同刻蚀配方中的其他层可以具备刻蚀选择性。

[0045] 图1至52(d)示出了根据本公开实施例的制造竖直半导体器件的流程中部分阶段的示意图。

[0046] 如图1所示，提供衬底1001。该衬底1001可以是各种形式的衬底，包括但不限于体半导体材料衬底如体Si衬底、绝缘体上半导体(SOI)衬底、化合物半导体衬底如SiGe衬底等。在以下的描述中，为方便说明，以体Si衬底为例进行描述。

[0047] 在衬底1001中，可以形成阱区(未示出)。如果要形成p型器件，则阱区可以是n型阱；如果要形成n型器件，则阱区可以是p型阱。阱区例如可以通过向衬底1001中注入相应导电类型掺杂剂(p型掺杂剂如B或In，或n型掺杂剂如As或P)且随后进行热退火来形成。本领域存在多种方式来设置这种阱区，在此不再赘述。

[0048] 在衬底1001上，可以通过例如外延生长，形成交替设置的第一牺牲层1003a-1、1003a-2、1003a-3和第二牺牲层1003b-1、1003b-2的第一叠层。如上所述，第一牺牲层和第二牺牲层相对于彼此可以具备刻蚀选择性。因为随后将在第一叠层上形成有源区的材料(一般地为半导体材料)，故而第一叠层可以采用半导体材料形成，以实现高质量的有源区生长。例如，第一牺牲层1003a-1、1003a-2、1003a-3各自可以包括SiGe，Ge的原子百分比为约10-40％，厚度为约20-100nm；第二牺牲层1003b-1、1003b-2可以各自包括Si，厚度为约
20-100nm。第一牺牲层和第二牺牲层各自可以具有基本上相同的厚度。第一牺牲层和第二牺牲层的层数可以根据将要形成的互连结构中过孔层和互连层的数目来定，而不限于图中所示的层数。在此，最下面的第一牺牲层1003a-1随后将被替换为隔离层，以便实现互连结构与衬底之间的电隔离。

[0049] 在第一叠层上，可以通过例如外延生长，形成第一源/漏层1005、沟道层1007和第二源/漏层1009的第二叠层。这些都可以是半导体材料。如上所述，沟道层与第一、第二源/漏层相对于彼此可以具备刻蚀选择性。另外，为了便于对第一叠层和第二叠层的分别处理，它们之间至少相邻的层相对于彼此可以具备刻蚀选择性。例如，沟道层1007可以包括SiGe，Ge的原子百分比可以为约10-40％，厚度为约20-100nm；第一源/漏层1005和第二源/漏层1009可以包括Si，厚度为约20-100nm。

[0050] 根据实施例，还可以设置接触层。例如，在第一叠层与第二叠层之间，可以通过例如外延生长，形成接触界面层(未示出)。接触界面层可以包括例如硅，并且可以通过例如原位掺杂而被掺杂为n型或者p型，优选地与以下结合图25描述的掺杂类型相同，掺杂浓度为约1E19-5E21cm-3。这可以降低源/漏与互连结构之间的电阻。在此，该接触界面层由于同第一源/漏层1005包括相同的材料(Si)，随后可以同第一源/漏层1005一样被处理。备选地或者另外，在形成第一叠层之前，在衬底上通过例如外延生长，形成接触层(未示出)。同样地，接触层可以包括例如硅，并且可以通过例如原位掺杂而被掺杂为n型或者p型，优选地与以下结合图25描述的掺杂类型相同，掺杂浓度为约1E19-5E21cm-3。

[0051] 在第二叠层上，可以形成硬掩模层。硬掩模层可以包括叠层结构，例如第一子层1011和第二子层1013。第一子层1011可以用于保护和/或刻蚀停止等目的，例如可以包括氧化物(例如，氧化硅)，厚度为约2-5nm，可以通过淀积或热氧化形成(热氧化形成的氧化物质量较好)。第二子层1013可以用于掩模和/或隔离等目的，例如可以包括氮化物(例如，氮化硅)或低k电介质材料(例如，碳化硅系材料)，厚度为约10-100nm，可以通过淀积形成。当然，硬掩模层的材料不限于此，而是可以包括在随后的各种刻蚀工艺中能够保留下来的材料。
另外，硬掩模层还可以包括更多子层，以提供更好的刻蚀选择性。

[0052] 可以将硬掩模层构图为所需的图案。如上所述，可以形成网格图案。为此，如图2(a)和2(b)所示，可以在硬掩模层上形成光刻胶1015。通过光刻(曝光和显影)将光刻胶1015构图为网格图案。网格的节点可以增粗，以便限定有源区的位置。在此，网格的节点呈大致圆形，从而随后可以形成纳米线器件。当然，网格节点的形状不限于此，而可以是其他各种合适的形状，例如椭圆形、矩形、方形等，甚至可以是不同形状的组合(某些节点是一种形状，而另一些节点是另一种形状)。在形成矩形或方形节点的情况下，可以利用交叉侧墙图形转移(xSIT)技术，且随后可以形成纳米片器件。

[0053] 接下来，可以限定有源区。例如，这可以如下进行。

[0054] 可以将光刻胶1015的图案转移到硬掩模层中，并继而转移到下方的第二叠层中。具体地，如图3所示，可以构图后的光刻胶1015为掩模，依次对硬掩模层(1013、1011)、第二源/漏层1009、沟道层1007和第一源/漏层1005进行选择性刻蚀如反应离子刻蚀(RIE)。RIE例如可以按大致垂直于衬底表面的方向进行，从而第二叠层中形成的图案与硬掩模层的图案可以在竖直方向上基本上对准。

[0055] 在该示例中，对第一源/漏层1005的刻蚀并未进行到第一源/漏层1005的底面处。于是，在第一叠层的顶面上留下了一薄层的Si。该Si薄层随后可以在对沟道层1007进行选择性刻蚀时保护第一叠层中的第一牺牲层1003a-3，因为在该示例中第一牺牲层1003a-3和沟道层1007均包括SiGe。在第一牺牲层1003a-3相对于沟道层1007具备刻蚀选择性的情况下，对第一源/漏层1005的刻蚀也可以进行到第一源/漏层1005的底面处。

[0056] 当前，第二叠层呈现同硬掩模层一样的网格图案。希望将第二叠层分离为各个节点处针对单独器件的有源区。为此，可以对第一源/漏层1005、沟道层1007和第二源/漏层1009进一步进行选择性刻蚀以去除桥接部分，而留下节点部分。这是可能的，因为如上所述节点部分的线宽较粗。

[0057] 例如，如图4(a)和4(b)所示，可以相对于第一源/漏层1005和第二源/漏层1009(Si)，进一步选择性刻蚀沟道层1007(SiGe)。控制刻蚀的量，使得沟道层1007中的桥接部分被去除(参见图4(b))，而节点部分得以保留(参见图4(a))。如图4(a)所示，沟道层1007被分离为分处于各节点处的多个部分，这些部分中随后将形成器件的沟道。这些分离部分的外周相对于硬掩模层中的相应节点的外周向内侧有一定凹入。为便于对刻蚀量的控制，可以采用原子层刻蚀(ALE)。由于第一源/漏层1005的连续底部的存在，与沟道层1007同为SiGe的第一牺牲层1003a-3可以不受影响。

[0058] 出于结构支撑及保护沟道层等目的，如图5(a)和5(b)所示，可以在硬掩模层下方第二叠层的空隙中形成位置保持层1017。例如，可以在图4(a)和4(b)所示的结构上淀积电介质材料，淀积的量足以填满第二叠层中的空隙，并以硬掩模层为掩模对淀积的电介质材料进行回蚀如RIE。RIE可以沿大致垂直于衬底表面的方向进行，于是电介质材料可以留于硬掩模层下方而形成位置保持层1017。因此，位置保持层1017填充在沟道层中的桥接部分原本所在的位置以及节点部分由于上述进一步选择性刻蚀而形成的凹入中，自对准于沟道层，环绕沟道层外周以保护沟道层。在此，选择位置保持层1017的材料，使得其相对于硬掩模层具备刻蚀选择性，例如氮氧化物(例如，氮氧化硅)。

[0059] 类似地，如图6(a)和6(b)所示，可以相对于沟道层1007和第一牺牲层1003a-3(SiGe)，进一步选择性刻蚀第一源/漏层1005和第二源/漏层1009(Si)。控制刻蚀的量，使得第一源/漏层1005和第二源/漏层1009中的桥接部分被去除(参见图6(b))，而节点部分得以保留(参见图6(a))。如图6(a)所示，第一源/漏层1005和第二源/漏层1009均被分离为分处于各节点处的多个部分，这些部分中随后将形成器件的源/漏区。这些分离部分的外周相对于硬掩模层中的相应节点的外周向内侧有一定凹入。为便于对刻蚀量的控制，可以采用ALE。另外，第一源/漏层1005底部的连续薄层的厚度较小，从而在该进一步刻蚀过程中可以被去除，以露出第一牺牲层1003a-3以便随后对第一堆叠进行处理。

[0060] 同样地，出于结构支撑及保护源/漏层等目的，如图7(a)和7(b)所示，可以在硬掩模层下方第二叠层的空隙中形成位置保持层1019。位置保持层1019可以按形成位置保持层1017的方法来形成。因此，位置保持层1019填充在第一源/漏层1005和第二源/漏层1009各自的桥接部分原本所在的位置以及节点部分由于上述进一步选择性刻蚀而形成的凹入中，自对准于第一源/漏层1005和第二源/漏层1009，环绕第一源/漏层1005和第二源/漏层1009外周以保护源/漏层。在此，选择位置保持层1019的材料，使得其相对于硬掩模层和位置保持层1017具备刻蚀选择性，例如SiC。

[0061] 刻蚀后的第一源/漏层1005、沟道层1007和第二源/漏层1009各自的相应分离部分形成柱状(在本示例中，截面为大致圆形的圆柱状)，限定了有源区。该柱状有源区可以大致垂直于衬底表面延伸。

[0062] 随后，可以在第一叠层中限定互连结构的导电部分(上述过孔、导电节点、导电通道)的位置。

[0063] 例如，可以将硬掩模层的图案转移到第一叠层中。由于如上所述处于第一叠层上方的第二叠层(连同支撑材料)已按硬掩模层构图，故而这种图案转移是可能的。具体地，如图8(a)和8(b)所示，可以硬掩模层(1013、1011)为掩模，依次对第一牺牲层1003a-3、第二牺牲层1003b-2、第一牺牲层1003a-2、第二牺牲层1003b-1和第一牺牲层1003a-1进行选择性刻蚀如RIE。RIE例如可以按大致垂直于衬底表面的方向进行，从而第一叠层中形成的图案与硬掩模层的图案可以在竖直方向上基本上对准。

[0064] 当前，第一叠层呈现同硬掩模层一样的网格图案。对于针对过孔层的第一牺牲层而言，如上所述，可以去除其中的桥接部分。这种去除可以如同以上分离有源区那样，通过对第一牺牲层进一步选择性刻蚀来实现。但是，这种情况下留下的节点较小(如上所述，相对于硬掩模层的节点向内凹入)。为确保工艺裕度并降低接触电阻，可以使用光刻技术，以使留下的节点较大。例如，如图9(a)和9(b)所示，可以在图8(a)和8(b)所示的结构上形成光刻胶1021，并将光刻胶1021构图为与硬掩模层的图案相对应的分离节点，以覆盖第一牺牲层中的各节点而露出节点之间的桥接部分。如图9(a)所示，光刻胶1021的各节点可以大于硬掩模层的节点从而可以使随后第一牺牲层中留下的节点较大，而且也可以覆盖上述分离的各有源区以避免其在对第一牺牲层刻蚀时受到影响。备选地，可以淀积一薄层作为硬掩模层，然后利用上述光刻胶对硬掩模层进行构图。

[0065] 然后，如图10(a)和10(b)所示，可以相对于第二牺牲层(Si)，进一步选择性刻蚀第一牺牲层(SiGe)。于是，被光刻胶1021露出的第一牺牲层的桥接部分被去除(参见图10(b))，而节点得以保留(参见图10(a))(由于如上所述光刻胶1021的节点相对较大，故而在第一牺牲层的节点外周，可能残留一定长度的桥接部分)。随后，可以去除光刻胶1021。

[0066] 于是，在第一叠层中限定了互连结构的框架，之后可以根据互连结构的连接设计，对第一叠层中的图案(第一牺牲层中为节点图案，第二牺牲层中为网格图案)进行修整。这种修整可以逐层进行。

[0067] 为了使逐层修整更好地进行，可以在第一叠层和第二叠层的空隙中形成电介质层。如图11(a)和11(b)所示，可以通过例如淀积，在衬底1001上形成电介质层1023(例如，氧化物)。可以对淀积的电介质层1023进行平坦化处理如化学机械抛光(CMP)，CMP可以停止于硬掩模层的第二子层1013。于是，电介质层1023的顶面可以与第二子层1013的顶面基本共面。之后，可以通过使电介质层1023的(在特定区域中的)顶面逐步降低来依次露出第一叠层中的各层，以便实现逐层修整。

[0068] 下文中，以先对第二牺牲层进行图案修整为例进行描述。当前在各第二牺牲层中，各节点之间均存在桥接部分。可以根据各互连层的连接设计，切断某些节点之间的桥接部分，从而在相应互连层中限定与连接设计相符的路径。为了对桥接部分进行切断，需要到桥接部分的加工通道。

[0069] 例如，可以在电介质层1023中形成露出桥接部分的开口。这可以通过利用另外的硬掩模层来实现。如图12(a)、12(b)和12(c)所示，可以在电介质层1023的顶面以及硬掩模层(1011/1013)的顶面上形成另一硬掩模层。类似地，该硬掩模层也可以包括例如为氧化物、厚度为约2-10nm的第一子层1025和例如为氮化物或低k电介质材料、厚度为约10-150nm的第二子层1027的叠层。关于第一子层1025和第二子层1027，也可以参见以上针对第一子层1011和第二子层1013的描述。

[0070] 可以将硬掩模层构图为所需的图案，如上所述，以露出桥接部分。为此，可以在硬掩模层上形成光刻胶1029。通过光刻(曝光和显影)将光刻胶1029构图为包括一系列开口，这些开口分别处于各桥接部分处，例如各桥接部分的中部。在该示例中，将开口示出为椭圆形，但本公开不限于此，还可以是各种适合加工的形状，例如圆形等。

[0071] 接下来，可以形成加工通道。例如，如图13(a)和13(b)，可以光刻胶1029为掩模，对第二子层1027(氮化物)进行选择性刻蚀如RIE。RIE例如可以按大致垂直于衬底表面的方向进行，并可以停止于第一子层1025(氧化物)。然后，如图14(a)、14(b)和14(c)所示，可以对第一子层1025和电介质层1023(在此均为氧化物)进行选择性刻蚀如RIE。RIE例如可以按大致垂直于衬底表面的方向进行，并可以进行至露出最上的第二牺牲层1003b-2，从而形成了加工通道T1，如图14(c)所示。例如，加工通道T1的底面可以位于需要露出的第二牺牲层1003b-2之下的第一牺牲层1003a-2的顶面和底面之间，一方面确保充分露出第二牺牲层
1003b-2，另一方面避免露出之下的第二牺牲层1003b-1。为了准确控制刻蚀量，可以使用ALE。之后，可以去除光刻胶1029。

[0072] 如图14(a)所示，各加工通道T1分别位于各桥接部分的大致中部，而各节点(因此，位于各节点处的有源区和第一牺牲层)被遮蔽。如图14(c)所示，在各加工通道T1中，除了第二牺牲层1003b-2之外，其余露出的材料层均是电介质材料(氧化物和氮化物的硬掩模层、氮氧化物的位置保持层1017、SiC的位置保持层1019和氧化物的电介质层1023)。

[0073] 当前所有的桥接部分(具体地其中部)均在相应加工通道T1中露出。在这些桥接部分中，一些桥接部分需要切断，而另一些桥接部分需要保留。对于需要切断的桥接部分和需要保留的桥接部分，可以分别进行处理。

[0074] 另外，通常互连结构中存在多层互连层(因此，多层第二牺牲层)，而各互连层中的路线选择并不一定是一样的。例如，对于上下两层第二牺牲层而言，在同一加工通道T1处，可能一层(例如，上面一层)的桥接部分需要保留，而另一层(例如，下面一层)的桥接部分需要切断。于是，在通过加工通道T1对下一层的桥接部分进行切断处理时，因处于上方而同样可以在加工通道T1中露出的上一层的桥接部分(与下一层包括相同的材料，均为第二牺牲层)也可以被切断。根据本公开的实施例，对于需要保留的桥接部分，可以将其替换为相对于第二牺牲层具备刻蚀选择性的材料，以避免在对下方的第二牺牲层进行处理时受到影响。

[0075] 例如，如图15(a)、15(b)和15(c)所示，可以在图14(a)、14(b)和14(c)所示的结构(去除光刻胶1029)上形成光刻胶1031，并通过光刻将光刻胶1031构图为露出其中桥接部分需要保留的加工通道T1，而覆盖其中桥接部分需要切断的加工通道T1。

[0076] 然后，如图16(a)和16(b)所示，可以通过由光刻胶1031露出的加工通道T1，相对于加工通道T1中露出的电介质材料(如上所述的氧化物、氮化物、氮氧化物、SiC)，对第二牺牲层1003b-2(Si)进行选择性刻蚀(第一刻蚀)。这样，第二牺牲层1003b-2处于这些露出的加工通道T1中的部分将被去除。于是，在第二牺牲层1003b-2的部分桥接部分之处形成了间隙。之后，可以去除光刻胶1031。

[0077] 接着，如图17(a)和17(b)所示，可以通过加工通道T1，向第二牺牲层1003b-2的桥接部分的间隙之中填充(第一填充)位置保持层1033-2b。位置保持层1033-2b可以包括相对于第二牺牲层(Si)具备刻蚀选择性的材料如SiGe，Ge的原子百分比可以为约25-75％。这种填充可以通过经加工通道T1淀积SiGe，然后对淀积的SiGe(相对于周围的电介质材料)进行回蚀如RIE来实现。RIE可以通过沿大致垂直于衬底表面的方向进行。由于硬掩膜层1011/1013的存在，回蚀后的SiGe可以完全填充在桥接部分的间隙之中，沿着相应的桥接部分延伸。

[0078] 然后，对第二牺牲层1003b-2的部分桥接部分进行切断。

[0079] 例如，如图18(a)和18(b)所示，可以通过加工通道T1，相对于加工通道T1中露出的其他材料层(例如，上述电介质材料以及SiGe的位置保持层1033-2b)，对第二牺牲层1003b-2(Si)进行选择性刻蚀(第二刻蚀)。这样，第二牺牲层1003b-2处于原本被光刻胶1031所覆盖的加工通道T1中的部分将被去除。对于以上被替换为位置保持层1033-2b的桥接部分，尽管也在加工通道T1中露出，但由于刻蚀选择性，在此可以基本不受影响。于是，在第二牺牲层1003b-2的部分桥接部分之处形成了间隙。在这些间隙中，可以填充(第二填充)绝缘部
1035-2b。考虑到随后工艺中所需的刻蚀选择性(例如，相对于电介质层1023的刻蚀选择性)，绝缘部1035-2b可以包括例如SiC。这种填充可以如上所述通过淀积然后回蚀来实现。
同样地，绝缘部1035-2b可以完全填充在桥接部分的间隙之中，沿着相应的桥接部分延伸。

[0080] 于是，如图18(a)中所示，通过上述第一刻蚀-第一填充-第二刻蚀-第二填充(EFEF)工艺，将第二牺牲层1003b-2通过绝缘部1035-2b而隔离为不同的部分，这些部分随后可以形成不同的导电通道(的一部分)。

[0081] 接下来，可以对下方的第二牺牲层1003b-1进行类似的处理。

[0082] 例如，如以上结合图14(a)、14(b)和14(c)所述，可以对电介质层1023进行选择性刻蚀如RIE，以加深加工通道T1，从而露出第二牺牲层1003b-1。例如，加工通道T1的底面可以位于需要露出的第二牺牲层1003b-1之下的第一牺牲层1003a-1的顶面和底面之间。为准确控制刻蚀深度，可以使用ALE。然后，可以通过加深的加工通道T1，执行上述EFEF工艺，以在第二牺牲层1003b-1实现所需的路线选择。

[0083] 具体地，如以上结合图15(a)、15(b)和15(c)所述，可以在图18(a)和18(b)所示的结构(加工通道T1如上所述已经加深)上形成光刻胶(未示出)，并将其构图为露出其中桥接部分需要保留的加工通道T1，而覆盖其中桥接部分需要切断的加工通道T1。该光刻胶的图案可以不同于上述光刻胶1031的图案，例如露出/覆盖不同的加工通道T1。

[0084] 通过由光刻胶露出的加工通道T1，可以通过刻蚀和填充处理，将其中露出的第二牺牲层1003b-1的桥接部分替换为位置保持层1033-1b。关于位置保持层1033-1b，可以参见以上关于位置保持层1033-2b的描述。之后，可以去除光刻胶。然后，通过加工通道T1，可以通过刻蚀和填充处理，将第二牺牲层1003b-1处于原本被光刻胶所覆盖的加工通道T1中的桥接部分替换为绝缘部1035-1b。关于绝缘部1035-1b，可以参见以上关于绝缘部1035-2b的描述。另外，尽管以上针对第二牺牲层1003b-2形成的位置保持层1033-2b和绝缘部1035-2b也在加工通道T1中露出，但是由于刻蚀选择性，在此可以基本不受影响。

[0085] 于是，得到如图19(a)和19(b)所示的结构。如图19(a)中所示，通过EFEF工艺，将第二牺牲层1003b-1通过绝缘部1035-1b而隔离为不同的部分，这些部分随后可以形成不同的导电通道(的一部分)。

[0086] 为避免在随后对第一牺牲层(在该示例中为SiGe)的处理过程中可能对位置保持层1033-1b、1033-2b(在该示例中同样为SiGe，Ge原子百分比可能不同)造成的影响，在此将可以将位置保持层1033-1b、1033-2b替换为相对于第一牺牲层具备刻蚀选择性的新的位置保持层。例如，如图20(a)和20(b)所示，可以通过加工通道T1，相对于第二牺牲层(Si)及其周围的电介质材料，对位置保持层1033-1b、1033-2b(SiGe)进行选择性刻蚀以将其去除。然后，可以通过淀积然后回蚀的方法，在位置保持层1033-1b、1033-2b原本所在的位置处填充新的位置保持层1037-1b、1037-2b。例如，位置保持层1037-1b、1037-2b可以包括Si，例如通过淀积如化学气相淀积(CVD)而形成的多晶硅或非晶硅。

[0087] 另外，可以遮蔽加工通道T1，以避免相应的桥接部分在随后的处理中受影响。例如，如图21(a)和21(b)所示，可以在图20(a)和20(b)所示的结构上，淀积氧化物，淀积的量足以填充该结构中的空隙。然后，可以对淀积的氧化物进行平坦化处理如CMP，CMP可以停止于氮化物的第二子层1027。在此，将同样为氧化物的各层1011、1023、1025以及在此形成的氧化物一体示出为1039。

[0088] 另外，之前形成的硬掩模层1025/1027用来限定到桥接部分的加工通道T1，在此可以被去除。例如，如图22(a)和22(b)所示，可以在图21(a)和21(b)所示的结构中，例如通过热磷酸，对氮化物的第二子层1027进行选择性刻蚀，以将其去除。接着，可以对得到的结构进行平坦化处理如CMP，CMP可以停止于氮化物的第二子层1013。这样，去除了限定加工通道T1的硬掩模层1025/1027，另外网格图案的硬掩模层1011/1013仍然存在。

[0089] 接下来，可以对第一牺牲层进行图案修整。当前在各第一牺牲层中，各节点均存在。可以根据各过孔层的布局设计，去除某些节点。为了对节点进行去除，需要到节点的加工通道。对第一牺牲层的修整可以与对第二牺牲层的修整按基本相同的方式进行，除了加工通道所在的位置不同之外。

[0090] 例如，可以在电介质层1039中形成露出节点的开口。这可以通过利用另外的硬掩模层来实现。如图23(a)、23(b)、23(c)和23(d)所示，可以在电介质层1039的顶面以及硬掩模层(1011/1013)的顶面上形成另一硬掩模层。类似地，该硬掩模层也可以包括例如为氧化物、厚度为约2-10nm的第一子层1041和例如为氮化物或低k电介质材料、厚度为约10-150nm的第二子层1043的叠层。关于第一子层1041和第二子层1043，也可以参见以上针对第一子层1011和第二子层1013的描述。

[0091] 可以将硬掩模层构图为所需的图案，如上所述，以露出节点。为此，可以在硬掩模层上形成光刻胶1045。通过光刻(曝光和显影)将光刻胶1045构图为包括一系列开口，这些开口分别处于各节点处，例如大致居中位于各节点。在此，为确保能形成向下的通道，开口的外周相对于硬掩模层1011/1013中节点的外周可以向外伸出。另外，为了确保能够完全去除第一牺牲层中希望去除的节点，开口的尺寸可以大于以上结合图9(a)所述的用来限定第一牺牲层中节点的光刻胶1021的节点尺寸。在该示例中，将开口示出为圆形，但本公开不限于此，还可以是各种适合加工的形状，例如椭圆形等。

[0092] 接下来，可以形成加工通道。例如，如图24(a)、24(b)和24(c)所示，可以光刻胶1045为掩模，对第二子层1043(氮化物)进行选择性刻蚀如RIE。RIE例如可以按大致垂直于衬底表面的方向进行，并可以停止于第一子层1041(氧化物)。然后，可以对第一子层1041和电介质层1039(在此均为氧化物)进行选择性刻蚀如RIE。RIE例如可以按大致垂直于衬底表面的方向进行，并可以进行至露出最上的第一牺牲层1003a-3，从而形成了加工通道T2，如图24(c)所示。例如，加工通道T2的底面可以位于需要露出的第一牺牲层1003a-3之下的第二牺牲层1003b-2的顶面和底面之间，一方面确保充分露出第一牺牲层1003a-3，另一方面避免露出之下的第一牺牲层1003a-2。为了准确控制刻蚀量，可以使用ALE。之后，可以去除光刻胶1045。

[0093] 参照图25(a)，各加工通道T2分别大致居中位于各节点处，而各桥接部分基本被遮蔽(可能有一部分在加工通道T2中露出，这也是以上对位置保持层1033-1b、1033-2b进行替换的原因所在，因为位置保持层1033-1b、1033-2b有可能从加工通道T2中露出，特别是在器件小型化的情况下)。如图24(c)所示，在各加工通道T2中，除了第一牺牲层1003a-3之外，其余露出的材料层均是电介质材料(氧化物和氮化物的硬掩模层、氮氧化物的位置保持层1017、SiC的位置保持层1019、氧化物的电介质层1039、SiC的绝缘部1035-2b)。另外，在该示例中，示出了位置保持层1037-2b也在加工通道T2中露出。注意，在图24(c)的截面中，并未看到第一牺牲层1003a-3，因为CC′线所在的位置处于桥接部分处(参见图23(a))，而如上所述在第一牺牲层中桥接部分已被基本去除。

[0094] 当前所有的节点均在相应加工通道T2中露出。在这些节点中，一些节点需要去除(替换为绝缘部)，而另一些节点需要保留。对于需要去除的节点和需要保留的节点，可以分别进行处理。如上所述，为了避免各层处理的相互干扰，对于需要保留的节点，可以将其替换为相对于第一牺牲层具备刻蚀选择性的材料。

[0095] 例如，如图25(a)至25(f-4)所示，可以在图24(a)、24(b)和24(c)所示的结构(去除光刻胶1045)上形成光刻胶1047，并通过光刻将光刻胶1047构图为露出其中节点需要保留的加工通道T2，而覆盖其中节点需要去除的加工通道T2。可以经光刻胶1047露出的加工通道T2，通过类似于上述第一刻蚀和第一填充的方法，将第一牺牲层1003a-3替换为位置保持层1037-3a。位置保持层1037-a可以包括相对于第一牺牲层具备刻蚀选择性的材料例如Si。

[0096] 图25(f-1)至25(f-4)详细示出了这种过程。具体地，图25(f-1)示出了光刻胶1047露出的一个加工通道T2。如图25(f-2)所示，可以通过该加工通道T2，对其中露出的第一牺牲层1003a-3(在此为SiGe)进行选择性刻蚀以将其去除。之后，可以去除光刻胶1047。然后，如图25(f-3)所示，可以经加工通道T2，淀积(多晶或非晶)硅1037p(可以通过例如原位掺杂而被掺杂为n型或者p型，掺杂浓度为约1E19-5E21cm-3)，并对淀积的硅1037p进行回蚀如RIE，来在被去除的第一牺牲层1003a-3的节点原本所在的位置处填充位置保持层1037-3a。可以进行多次淀积和回蚀，以更好地填充位置保持层1037-3a。

[0097] 然后，将第一牺牲层1003a-3的部分节点去除。可以通过类似于上述第二刻蚀和第二填充的方法，将第一牺牲层1003a-3的这部分节点替换为绝缘部。例如，如图26所示，可以通过加工通道T2，对第一牺牲层1003a-3(SiGe)进行选择性刻蚀。这样，第一牺牲层1003a-3处于原本被光刻胶1047所覆盖的加工通道T2中的部分将被去除。对于以上被替换为位置保持层1037-3a的节点，尽管也在加工通道T2中露出，但由于刻蚀选择性，在此可以基本不受影响。于是，在第一牺牲层1003a-3的部分节点之处形成了间隙。在这些间隙中，可以填充绝缘部1035-3a。绝缘部1035-3a可以与之前的绝缘部1035-1b、1035-2b包括相同的电介质材料如SiC。这种填充可以如上所述通过淀积后回蚀来实现。

[0098] 于是，如图26所示，通过上述EFEF工艺，将第一牺牲层1003a-3中的部分节点替换为绝缘部1035-3a，而其余节点保留(事实上，为了刻蚀选择性，替换为位置保持层1037-3a)以便随后限定过孔。

[0099] 接下来，可以对下方的第一牺牲层1003a-2进行类似的处理。

[0100] 例如，可以对电介质层1039进行选择性刻蚀如RIE，以加深加工通道T2，从而露出第一牺牲层1003a-2。例如，加工通道T2的底面可以位于需要露出的第一牺牲层1003a-2之下的第二牺牲层1003b-1的顶面和底面之间。然后，可以通过加深的加工通道T2，执行上述EFEF工艺，以在第一牺牲层1003a-2实现所需的过孔布局。

[0101] 具体地，如图27(a)、27(b)和27(c)所示，可以在图26的结构(加工通道T2上所述已经加深)上形成光刻胶1053，并将其构图为露出其中节点需要保留的加工通道T2，而覆盖其中节点需要去除的加工通道T2。该光刻胶1053的图案可以不同于上述光刻胶1047的图案。

[0102] 如图28(a)和28(b)所示，通过由光刻胶露出的加工通道T2，可以通过刻蚀和填充处理，将其中露出的第一牺牲层1003a-2的节点替换为位置保持层1037-2a。关于位置保持层1037-2a，可以参见以上关于位置保持层1037-3a的描述。之后，可以去除光刻胶1053。然后，如图29(a)和29(b)所示，通过加工通道T2，可以通过刻蚀和填充处理，将第一牺牲层1003a-2处于原本被光刻胶1053所覆盖的加工通道T2中的节点替换为绝缘部1035-2a。关于绝缘部1035-2a，可以参见以上关于绝缘部1035-3a的描述。

[0103] 图30示出了通过如上所述对第一叠层中的各层(事实上，在该示例中由于最底层的第一牺牲层1003a-1最终用来限定隔离层，故而无需对它的图案进行进一步修整)进行EFEF处理之后得到的结构。如图中的箭头所示，在第一叠层中，限定了不同的互连通路。

[0104] 接下来，如图31(a)所示，可以将最下的第一牺牲层1003a-1替换为绝缘材料，以实现互连结构与衬底之间的隔离。例如，如图31(b-1)所示，可以进一步加深加工通道T2，以露出第一牺牲层1003a-1。例如，对电介质层1039的回蚀可以停止于衬底1001的表面，从而加工通道T2的底面可以由衬底1001的顶面限定。然后，对露出的第一牺牲层1003a-1进行选择性刻蚀，以将其去除。接着，如图31(b-2)所示，可以在所得结构的空隙中填充电介质材料例如氧化物，实现电隔离。淀积的量足以填充结构中的空隙。然后，可以对淀积的氧化物进行平坦化处理如CMP，CMP可以停止于氮化物的第二子层1043。在此，将结构中的所有氧化物一体示出为1055。

[0105] 另外，之前形成的硬掩模层1041/1043用来限定加工通道T2，在此可以被去除。例如，可以通过热磷酸对氮化物的第二子层1043进行选择性刻蚀，以将其去除。接着，可以对得到的结构进行平坦化处理如CMP，CMP可以停止于氮化物的第二子层1013。这样，去除了限定加工通道T2的硬掩模层1041/1043，另外网格图案的硬掩模层1011/1013仍然存在，如图32(a)和32(b)所示。

[0106] 在以上示例中，先对第二牺牲层进行逐层修整，然后对第一牺牲层进行逐层修整。但是本公开不限于此。例如，也可以先对第一牺牲层进行逐层修整，然后对第二牺牲层进行逐层修整。

[0107] 然后，可以第二叠层中的各有源区为基础，制作竖直型器件。

[0108] 为此，可以回蚀电介质层1055，以露出第二叠层。例如，如图33(b-1)所示，可以对电介质层1055进行回蚀如RIE。RIE可以沿大致垂直于衬底表面的方向进行，并且可以进行至露出第二叠层，例如回蚀后电介质层1055的顶面可以在第一叠层中最上方的层的顶面与底面之间。为准确控制回蚀量，可以使用ALE。由于硬掩膜层1011/1013的存在，露出的第二叠层呈现网格图案。然后，如图33(a)和33(b-2)所示，可以对位置保持层1019进行选择性刻蚀以将其去除，从而露出第一源/漏层1005和第二源/漏层1009。

[0109] 可以对露出的第一源/漏层1005和第二源/漏层1009进行掺杂，以在其中形成源/漏区。根据本公开的实施例，可以通过固态掺杂剂源来进行掺杂。但是，本公开不限于此。例如，可以在生长第一源/漏层1005和第二源/漏层1009时对它们进行原位掺杂，或者可以通过离子注入等方式来进行掺杂。

[0110] 如图34(a)和34(b)所示，可以在第一源/漏层1005和第二源/漏层1009的表面上形成固态掺杂剂源层1057。例如，为了形成n型器件，固态掺杂剂源层1057可以包括含n型掺杂剂的氧化物薄膜，厚度为约0.5-5nm。n型掺杂剂可以包括P或As，含量为约0.01-3％。固态掺杂剂源层1057可以通过淀积如CVD或原子层淀积(ALD)以大致共形的方式形成在图33(a)和33(b-2)所示的结构上，以充分覆盖第一源/漏层1005和第二源/漏层1009的表面。为避免交叉污染，在固态掺杂剂源层1057上可以形成扩散阻挡层1059。例如，扩散阻挡层1059可以包括SiC，厚度为约1-5nm。扩散阻挡层1059可以通过淀积如CVD或ALD以大致共形的方式形成在固态掺杂剂源层1057上。

[0111] 以上形成了针对n型器件的固态掺杂剂源层1057。在衬底上还形成p型器件的情况下，还可以另外形成针对p型器件的固态掺杂剂源层。

[0112] 例如，如图35(a)和35(b)所示，可以在图34(a)和34(b)所示的结构上形成光刻胶1061。可以通过光刻，将光刻胶1061遮蔽要形成n型器件的区域且因此遮蔽该区域中的n型固态掺杂剂源层1057，而露出要形成p型器件的区域且因此露出该区域中的n型固态掺杂剂源层1057。

[0113] 然后，如图36所示，可以通过选择性刻蚀，例如通过气相HF，依次刻蚀露出的扩散阻挡层1059和n型固态掺杂剂源层1057，以将其去除。在刻蚀过程中，硬掩模层中氧化物的第一子层1011的露出部分也可以被去除。之后，可以去除光刻胶1061。

[0114] 接着，如图37所示，可以形成针对p型器件的固态掺杂剂源层1063。例如，p型固态掺杂剂源层1063可以包括含p型掺杂剂的氧化物薄膜，厚度为约0.5-5nm。p型掺杂剂可以包括B，含量为约0.01-3％。固态掺杂剂源层1063可以通过淀积如CVD或ALD以大致共形的方式形成。

[0115] 尽管在此描述了先形成n型固态掺杂剂源层1057然后再形成p型固态掺杂剂源层1063，但是本公开不限于此，它们的形成顺序可以交换。

[0116] 之后，可以通过退火，将掺杂剂源层中的掺杂剂驱入相应的第一源/漏层1005和第二源/漏层1009中，以在其中形成源/漏区。在附图中，以不同的灰度分别示出了n型掺杂和p型掺杂。根据实施例，n型掺杂的浓度可以为约1E18-1E21cm-3，p型掺杂的浓度可以为约-31E18-1E21cm 。之后，可以通过选择性刻蚀如气相HF，去除各固态掺杂剂源层和扩散阻挡层。

[0117] 随后，可以绕沟道层的外周形成栅电极，即可完成器件的制作。为了形成能够自对准于沟道层的栅电极，可以恢复原本在源/漏层周围的位置保持层。例如，如图38(a)和38(b)所示，可以在硬掩模层下方第二叠层的空隙中形成位置保持层1065。关于位置保持层1065，可以参见以上关于位置保持层1019的描述。

[0118] 另外，为了降低接触电阻，可以在第一源/漏层1005和第二源/漏层1009的表面上形成硅化物层。例如，在形成位置保持层1065之前，可以大致共形的方式淀积约0.5-5nm厚的金属如NiPt、Co或Ti，并进行退火使淀积的金属与第一源/漏层1005和第二源/漏层1009(Si)发生反应以形成硅化物(未示出)。之后，可以去除未反应的金属。

[0119] 随后，可以形成栅堆叠。针对n型器件和p型器件，可以分别形成不同的栅堆叠(例如，具备不同的等效功函数)。

[0120] 为此，如图39(a)和39(b)所示，可以通过选择性刻蚀，去除位置保持层1017。于是，露出沟道层1007的表面。可以通过淀积，绕沟道层1007的表面形成栅介质层1067。栅介质层1067可以大致共形的方式形成在图38(a)和38(b)所示的结构上，厚度例如为约1-5nm。例如，栅介质层1067可以包括高k栅介质如HfO2。在形成高k栅介质之前，还可以在沟道层1007的表面上形成界面层，例如通过热氧化形成的氧化物，厚度为约0.3-2nm。

[0121] 接着，如图40(a)和40(b)所示，可以在图39(a)和39(b)所示的结构上形成栅电极材料。例如，可以淀积针对n型器件的功函数调节金属，并且可选地还可以淀积栅导电金属，以完全填充结构中的空隙。对所淀积的栅电极材料进行回蚀如RIE，得到栅电极1069。RIE可以沿大致垂直于衬底表面的方向进行。由于硬掩模层1011/1013的存在，回蚀后的栅电极1069同样呈网格图案。也即，栅电极1069可以位于位置保持层1017原本所在的位置处，且因此自对准于沟道层1007。

[0122] 以上形成了针对n型器件的栅电极1069。还可以另外形成针对p型器件的栅电极。

[0123] 例如，如图41所示，可以在图40(a)和40(b)所示的结构上形成光刻胶1071。可以通过光刻，将光刻胶1071遮蔽要形成n型器件的区域且因此遮蔽该区域中的栅电极1069，而露出要形成p型器件的区域且因此露出该区域中的栅电极1069。可以通过选择性刻蚀，刻蚀露出的栅电极1069，以将其去除。之后，可以去除光刻胶1071。

[0124] 然后，如图42(a)和42(b)所示，可以在由于栅电极1069的去除而释放的空间中，形成针对p型器件的栅电极1073。栅电极1073可以按形成栅电极1069的相同方式形成，但可以包括不同的材料(例如，具备不同的功函数)。同样地，栅电极1073可以自对准于沟道层1007。

[0125] 在该示例中，n型器件和p型器件的栅堆叠共用相同的栅介质层1067。但是本公开不限于此。例如，在p型器件区域也可以去除栅介质层1067，并另外形成针对p型器件的栅介质层。同样地，n型器件的栅堆叠和p型器件的堆叠的形成顺序可以交换。

[0126] 如上所述，栅电极1069和1073整体上呈现同硬掩模层1011/1013一样的网格图案，因此栅电极整体上在沟道层1007所在的平面上通过桥接部分而连接成一体。可以根据电路的连接设计，将栅电极之间不需要的连接切断。

[0127] 例如，如图43(a)和43(b)所示，可以在图42(a)和42(b)所示的结构上形成光刻胶1075。可以通过光刻，将光刻胶1075构图为覆盖需要保留的栅电极之间的连接，而露出需要切断的栅电极之间的连接。然后，可以通过选择性刻蚀，对露出的栅电极进行刻蚀，以将它们去除。如图43(b)所示，栅电极被切断。然后，可以去除光刻胶1075。然后，如图44所示，在栅电极被切断而释放的空间中，可以填充电介质材料如SiC以形成绝缘部1077，以实现栅电极之间的隔离。绝缘部1077的填充可以通过如上所述的淀积然后回蚀的方法来实现，且因此可以与硬掩模1011/1013的图案保持一致，处于栅电极被去除部分原本所在的位置处。

[0128] 在完成器件制作之后，可以进行互连制作。互连制作包括在第一叠层中形成导电通路、形成向第一叠层中的导电通道或栅电极施加电信号的接触插塞等。

[0129] 如上所述，在第一叠层中，已经通过半导体材料(在该示例中，为硅)限定了互连通道(第一叠层中的其他部分为电介质材料，实现电隔离)。可以将第一叠层中的这些半导体材料替换或转换为导电材料来形成互连结构。例如，可以通过硅化反应，将这些半导体材料转换为导电硅化物。或者，可以将这些半导体材料替换为其他导电材料。在此，以硅化反应为例进行描述。

[0130] 为例避免在硅化处理时栅电极中的金属被侵蚀，如图45所示，可以形成保护层1079来覆盖并因此保护栅电极。根据实施例，可以通过侧墙形成工艺，来形成侧墙形式的保护层1079。例如，可以在图44所示的结构上以大致共形的方式淀积一层约1-5nm厚的SiC，并对淀积的SiC沿大致垂直于衬底表面的方向进行RIE，以去除其横向延伸部分，而留下其竖直延伸部分，从而得到保护层1079。保护层1079可以绕第二叠层中各节点以及桥接部分的外周形成，从而覆盖绕沟道层形成的栅电极。

[0131] 另外，第一叠层当前被电介质层1055所覆盖。为了对其中的半导体材料进行硅化处理，如图46所示，可以回蚀如RIE电介质层1055(当然，在回蚀电介质层1055之后，需要先对其表面的栅介质层1067进行选择性刻蚀如RIE)。为准确控制回蚀量，可以使用ALE。

[0132] 然后，如图47(a)、47(b)和47(c)所示，可以进一步选择性刻蚀电介质层1055，以露出第一叠层中的半导体材料的侧壁。可以控制刻蚀的量，使得电介质层1005的底部仍然保持覆盖衬底1001。为准确控制刻蚀量，可以使用ALE。

[0133] 对于第一叠层中的半导体材料，可以通过它们露出的侧壁，进行硅化处理。例如，可以淀积约1-10nm厚的金属如NiPt、Co或Ti，并进行退火使淀积的金属与第一叠层中的半导体材料(Si)发生反应以形成硅化物1081。之后，可以去除未反应的金属。

[0134] 在如上所述在第一叠层与第二叠层之间形成接触界面层的情况下，第一源/漏层1005可以通过接触界面层连接到硅化物1081，从而可以获得降低的接触电阻。

[0135] 在以上示例中，对第一叠层中的半导体材料进行硅化处理在形成栅电极之后进行。这是因为高k金属栅可以适应较大范围的热处理(温度)，从而可以给出较大的工艺窗口。但是，本公开不限于此。例如，可以在第一叠层中完成互连结构之后再在第二叠层中进行器件制作。

[0136] 对于第一叠层，可以补充其中的电介质层，以实现电隔离。例如，如图48所示，可以在图47(a)、47(b)和47(c)所示的结构上淀积氧化物，并对淀积的氧化物回蚀，形成电介质层1055′。在回蚀之前，可以对淀积的氧化物进行平坦化处理如CMP，CMP可以停止于氮化物的第二子层1013。回蚀后的电介质层1055′的顶面可以位于第一叠层和第二叠层之间的边界附近，以露出保护层1079。

[0137] 接下来，可以制作接触插塞。这种接触插塞可以连接到第一叠层中的互连结构，或者可以连接到栅电极，以便向它们施加电信号。如上所述，这种接触插塞可以通过将部分有源区替换或转换为导电材料来形成，从而可以自对准于其需要连接的栅电极或者互连结构中的过孔。

[0138] 当前，各有源区周围被保护层1079所覆盖。可以通过去除需要转换或替换为接触插塞的有源区周围的保护层1079，并对由此露出的有源区进行硅化处理来形成接触插塞。

[0139] 例如，如图49(a)、49(b)、49(c)和49(d)所示，可以在图48所示的结构上形成光刻胶1083。可以通过光刻，在光刻胶1083中形成一系列开口，这些开口位于需要形成接触插塞的节点处。可以经光刻胶1083中的开口，通过选择性刻蚀，去除露出的保护层1079，并依次去除由于保护层1079的去除而露出的栅介质层、栅电极等，以露出相应有源区的侧壁。之后，可以去除光刻胶1083。

[0140] 由于这种刻蚀，这些露出侧壁的有源区与相邻有源区之间原本可能连接在一起的栅电极也被切断。如前所述，栅电极之间的连接是根据电路的连接布局确定的。为了弥补这种栅电极的切断，如图50(a)、50(b)、50(c)和50(d)所示，可以在硬掩模层下方、在第一叠层的空隙中填充半导体材料1085，例如淀积多晶硅或非晶硅，它们随后也可以被替换或转换为导电材料。

[0141] 之后，如图51(a)、51(b)、51(c)和51(d)所示，可以进行硅化处理，以将未被保护层1079覆盖的半导体材料转换为导电硅化物以充当接触插塞1087。关于硅化处理，可以参考之前的描述，在此不再赘述。

[0142] 如图51(a)所示，部分接触插塞可以与下方的互连结构接触，以向互连结构施加电信号。例外，如图51(b)、51(c)和51(d)所示，部分接触插塞通过绝缘部1035-3a与下方的互连结构电隔离，这些接触插塞可以用于向栅电极施加电信号。如图51(d)所示，接触插塞1087通过横向延伸部分而接触栅电极1073。如上所述，这种横向延伸部分与硬掩模层网格图案中的桥接部分相对准，处于原本栅电极所在的位置处。

[0143] 通过以上处理，实现了器件下部源/漏区、栅电极的连接。另外，对于器件的上部源/漏区以及接触插塞，可以在器件上方形成接触部。例如，如图52(a)、52(b)、52(c)和52(d)所示，可以淀积电介质层如氧化物(在此，仍然示出为1055′)以填满结构中的间隙，以实现器件间电隔离。另外可以形成穿透硬掩模层和/或电介质层1055′的接触部1091，以向上部源/漏区以及接触插塞施加电信号。这些接触部可以通过刻蚀孔洞，并在其中填充导电材料如金属来形成。

[0144] 尽管以上以竖直型半导体器件为例进行了描述，但是本公开不限于此，而是可以应用于其他形式的器件，例如FinFET或平面型半导体器件。

[0145] 图53至66(b)示出了根据本公开实施例的制造FinFET的流程中部分阶段的示意图。在以下，将主要描述与上述实施例之间的不同之处，而简化或省略与上述实施例重复的描述。

[0146] 如图53所示，可以在衬底2001上形成交替设置的第一牺牲层2003a-1、2003a-2、2003a-3和第二牺牲层2003b-1、2003b-2的第一叠层。关于衬底2001以及第一牺牲层2003a-
1、2003a-2、2003a-3和第二牺牲层2003b-1、2003b-2的详情，可以参见以上关于衬底1001以及第一牺牲层1003a-1、1003a-2、1003a-3和第二牺牲层1003b-1、1003b-2的描述。另外，如上所述，在形成第一叠层之前，可以在衬底上设置接触层。

[0147] 在第一叠层上，可以通过例如外延生长，形成鳍前体层2005。鳍前体层2005可以包括合适的半导体材料如Si，以便在后继形成充当FinFET的有源区的鳍。鳍前体层2005可以形成为具有一定的高度如约20-100nm。

[0148] 在鳍前体层2005上，可以形成硬掩模层，例如包括第一子层2011和第二子层2013。关于第一子层2011和第二子层2013的详情，可以参见以上关于第一子层1011和第二子层
1013的描述。

[0149] 与上述实施例类似，可以在第一叠层和鳍前体层2005中限定网格图案。为此，如图54(a)和54(b)所示，可以形成具有网格图案的光刻胶2015。关于光刻胶2015及其网格图案的详情，可以参见以上关于光刻胶1015及其网格图案的详情。

[0150] 这里需要指出的是，在该示例中，将光刻胶2015示出为其网格图案中的节点部分粗于桥接部分，与上述光刻胶1015相似。这对于随后制作到节点处形成的源/漏区的接触是有利的。但是，本公开不限于此。节点部分的线宽可以与桥接部分的线宽实质上相同。例如，可以通过粗细均匀的相互交叉直线条来限定网格图案。

[0151] 接下来，可以限定有源区。

[0152] 与上述实施例相似，可以将光刻胶2015的图案转移到硬掩模层中，并继而转移到下方的鳍前体层2005中。具体地，如图55(a)和55(b)所示，可以构图后的光刻胶2015为掩模，依次对硬掩模层(2013、2011)、和鳍前体层2005进行选择性刻蚀如RIE。RIE例如可以按大致垂直于衬底表面的方向进行，并可以停止于第一叠层的顶面。于是，鳍前体层2005可以呈现同硬掩模层一样的网格图案。网格的边(沿行或列方向延伸的线条)可以限定鳍的位置。更具体地，鳍前体层2005的桥接部分的大致中部可以用作沟道区，沟道区两侧的部分(节点部分及其周围一定长度的桥接部分)可以用作源/漏区。之后，可以去除光刻胶2015。

[0153] 另外，为了在随后对第一叠层进行处理时影响鳍前体层2005(在该示例中，与第一叠层中的第二牺牲层均为Si)，可以在鳍前体层2005的表面上形成保护层。例如，如图56所示，可以按侧墙形成工艺，在鳍前体层2005的侧壁上形成保护层2101。例如，保护层2101可以包括氮化物，厚度为约1-10nm。

[0154] 接下来，可以按照以上描述的EFEF工艺，在第一叠层中限定互连结构。对此，可以参见以上结合图8(a)至47(c)的描述。但是，在此可以省略以上结合图33(a)至45描述的与源/漏掺杂和金属栅的形成有关的工艺。

[0155] 于是，可以得到如图57(a)、57(b)、57(c)和57(d)所示的结构。如图所示，在第一叠层中形成了硅化物的互连通路2081，其包括过孔层中的过孔以及互连层中的导电通道。关于互连通路2081的详情，可以参见以上关于硅化物1081的描述。另外，图中还示出了第一叠层中的绝缘部2035-2a、2035-3a、2035-1b、2035-2b以及电介质层2055，关于它们的详情，可以参见以上关于绝缘部1035-2a、1035-3a、1035-1b、1035-2b以及电介质层1055的描述。

[0156] 在限定了互连结构之后，可以进行器件的制作。为此，如图58所示，可以通过选择性刻蚀，去除保护层2101。在去除保护层2101时，在该示例中也为氮化物的第二子层2013也可以被去除。

[0157] 另外，对于第一叠层，可以补充其中的电介质层，以实现电隔离。例如，可以淀积氧化物，并对淀积的氧化物回蚀，形成电介质层2055′。在回蚀之前，可以对淀积的氧化物进行平坦化处理如CMP。回蚀后的电介质层2055′的顶面可以位于第一叠层和第二叠层之间的边界附近，例如低于该边界。

[0158] 鳍前体层2005相对于下方的结构竖直伸出，类似于鳍。本领域存在各种各样的技术来基于鳍制造FinFET，以下描述仅作为示例。

[0159] 当前，鳍前体层2005是连续的，也即各器件的有源区连接在一起。可以根据器件布局设计，将鳍前体层2005分离为不同的有源区。可以形成与这些有源区(鳍)相交的栅电极，从而制作器件。根据本公开的实施例，器件有源区之间的分离与栅电极的制作可以结合在一起。

[0160] 例如，如图59(a)、59(b)、59(c)和59(d)所示，可以在电介质层2055′上，形成与鳍前体层2005的各桥接部分相交的牺牲栅。例如，可以在电介质层2055′上例如通过淀积，依次形成牺牲栅介质层2103和牺牲栅电极层2105。例如，牺牲栅介质层2103可以包括氧化物，厚度为约1-5nm；牺牲栅电极层2105可以包括非晶硅或多晶硅，其顶面可以高于鳍前体层2005的顶面以便覆盖各桥接部分的侧壁和顶面。为构图方便，可以在牺牲栅电极层2105上例如通过淀积，形成硬掩模层2107。例如，硬掩模层2107可以包括氮化物，厚度为约10-150纳米。可以通过光刻胶(未示出)，通过选择性刻蚀如RIE，将硬掩模层2107和牺牲栅电极层
2105构图为所需的形状，例如与各桥接部分相交(例如，垂直)的条形。刻蚀可以停止于氧化物的牺牲栅介质层2103。

[0161] 如图59(a)所示，在鳍前体层2005的各桥接部分的大致中部，均形成了与之相交的牺牲栅。根据布局设计，部分牺牲栅可以连接在一起。这里需要指出的是，这些牺牲栅在随后并不一定被全部替换为真正的栅，而是有部分可以限定有源区之间的隔离位置。

[0162] 在图59(b)中，仅为了图示方便起见，没有示出第一叠层中的构造。关于第一叠层中的构造，可以参见上述实施例中的相关描述。

[0163] 然后，如图60(a)、60(b)和60(c)所示，可以在牺牲栅的侧壁上，形成栅侧墙2109。例如，栅侧墙2109可以包括氮化物。本领域存在多种方式来形成栅侧墙，在此不再赘述。这里需要指出的是，栅侧墙2109也可能形成在鳍前体层2005的竖直侧壁上，但是图中为方便起见并未示出。

[0164] 可以通过例如离子注入，对鳍前体层2005(特别是未被牺牲栅遮蔽的部分，主要是各节点及其周围一定长度的桥接部分)进行掺杂，以形成源/漏区。对于n型器件和p型器件，可以分别进行不同导电类型的掺杂。

[0165] 根据本公开的另一实施例，可以利用应变源/漏技术。例如，可以对鳍前体层2005未被牺牲栅遮蔽的部分进行选择性刻蚀如RIE以将其部分地去除，可以留有一部分用作种子层。然后，可以在留下的种子层上，例如通过外延生长，形成源/漏区。生长的源/漏区可以具有与鳍前体层2005不同的材料(例如，具有不同的晶格常数)，以便向鳍前体层2005中形成的沟道区施加应力。例如，对于n型器件，源/漏区2111可以包括Si：C；对于p型器件，源/漏区2113可以包括SiGe。源/漏区可以在生长时原位掺杂。

[0166] 另外，可以进行退火，以使得掺杂剂扩散，从而改善源/漏区与源/漏区下方的过孔之间的电连接。

[0167] 接下来，可以进行有源区分离和牺牲栅替换。

[0168] 为此，如图61所示，可以在图60(a)、60(b)和60(c)所示的结构上淀积氧化物，并对淀积的氧化物进行平坦化处理如CMP(可以停止于牺牲栅2105)，以填充各器件之间的间隙。在此，将淀积的氧化物与电介质层2055′仍然一体示出为2055′。

[0169] 然后，如图62(a)和62(b)所示，可以在电介质层2055′上形成光刻胶2111，并根据布局设计将其构图为覆盖需要替换为真正栅的牺牲栅，并露出限定有源区之间隔离位置的牺牲栅。接着，如图63(a)、63(b)和63(c)所示，可以光刻胶2111为掩模，对牺牲栅2105、牺牲栅介质层2103进行选择性刻蚀，以露出下方的鳍前体层2005(相应桥接部分的中部)。对露出的鳍前体层2005可以进行选择性刻蚀如RIE，RIE可以停止于下方的电介质层2055′，从而使得鳍前体层2005在相应位置处被切断。之后，可以去除光刻胶2111。在相应牺牲栅侧墙的内侧，可以通过淀积然后CMP来填充电介质如氧化物，以实现电隔离。在此，将填充的电介质与电介质层2055′一体示出为2113。

[0170] 接着，可以进行栅替换。如图64(a)、64(b)和64(c)所示，可以通过选择性刻蚀，去除牺牲栅电极层2105和牺牲栅介质层2103，并在由于牺牲栅电极层2105和牺牲栅介质层2103的去除而留下的空间中，形成栅介质层2067和栅电极层2069、2073。关于栅介质层2067和栅电极层2069、2073的详情，可以参见以上关于栅介质层1067和栅电极层1069、1073的描述。本领域存在各种方式来进行栅替换，在此不再赘述。

[0171] 与上述实施例中类似，部分源/漏区可以限定接触插塞。如图65(a)、65(b)和65(c)所示，可以形成光刻胶2083，并将其构图为在需要形成接触插塞处具有开口。可以经光刻胶2083中的开口，通过选择性刻蚀如RIE，使电介质层2113下凹，以露出相应位置处的源/漏区。可以通过硅化处理，使露出的源/漏区转换为接触插塞2087。关于硅化处理的详情，可以参见以上描述。

[0172] 通过以上处理，实现了器件的部分源/漏区与互连结构的连接。另外，对于器件的一些源/漏区和栅电极以及接触插塞，可以在器件上方形成接触部。例如，如图66(a)和66(b)所示，可以淀积电介质如氧化物(在此，与电介质层2113一起示出为2113′)以填满结构中的间隙，以实现器件间电隔离。另外可以形成穿透电介质层2113′的接触部2091。由于到部分源/漏区的电连接可以通过器件下方的互连结构来实现，因此可以使器件上方金属互连的面积更充裕，利于器件的小型化。

[0173] 图67至70(b)示出了根据本公开实施例的制造平面半导体器件的流程中部分阶段的示意图。在以下，将主要描述与上述实施例之间的不同之处，而简化或省略与上述实施例重复的描述。

[0174] 如图67所示，可以在衬底3001上形成交替设置的第一牺牲层3003a-1、3003a-2、3003a-3和第二牺牲层3003b-1、3003b-2的第一叠层。关于衬底3001以及第一牺牲层3003a-
1、3003a-2、3003a-3和第二牺牲层3003b-1、3003b-2的详情，可以参见以上关于衬底1001以及第一牺牲层1003a-1、1003a-2、1003a-3和第二牺牲层1003b-1、1003b-2的描述。

[0175] 在第一叠层上，可以通过例如外延生长，形成有源层3005。有源层3005可以包括合适的半导体材料如Si。相比于鳍前体层2005，有源层3005可以相对较薄，例如为约5-70nm。

[0176] 与上述实施例类似，可以在第一叠层和有源层3005中限定网格图案。对此，可以参见以上结合图54(a)至57(d)的描述。然后，如以上结合图58所述，可以去除有源层3005的网格图案的侧壁上的保护层，并形成电介质层3055。与上述实施例的不同之处在于，在形成电介质层3055时，CMP可以停止于有源层3005的顶面，而并不对电介质层3055再回蚀，从而得到如图68(a)和68(b)所示的结构。也即，在该实施例中，有源层3005并不需要像FinFET中那样相对突出。关于图中示出的3081、3035-2a，可以参见以上关于1081、1035-2a的描述。

[0177] 之后，可以有源层3005为基础制作器件。制作器件的过程可以与以上制作FinFET的过程基本相同，除了有源区的形式不同之外。

[0178] 根据本公开的另一实施例，如图69(a)和69(b)所示，在如以上结合图54(a)至57(d)所述限定网格图案之后，并不去除有源层3005的网格图案的侧壁上的保护层3101。关于保护层3101，可以参见以上关于保护层2101的描述。在保留保护层3101的情况下，形成电介质层3055。在形成电介质层3055时，CMP可以停止于硬掩模层的第二子层3013。这可以降低CMP对于有源层3005的损伤。之后，如图70(a)和70(b)所示，可以通过选择性刻蚀，对氮化物的第二子层3013和保护层3101进行回蚀，以露出下方的第一子层3011。为准确控制回蚀量，可以使用ALE。然后，可以选择性刻蚀第一子层3013，以露出有源层3005的表面。之后，可以有源层3005为基础制作器件。关于第一子层3011和第二子层3013，可以参见以上关于第一子层1011和第二子层1013的描述。

[0179] 根据本公开实施例的互连结构和电路可以应用于各种电子设备。例如，可以基于这样的互连结构或电路形成集成电路(IC)，并由此构建电子设备。因此，本公开还提供了一种包括上述半导体器件的电子设备。电子设备还可以包括与集成电路配合的显示屏幕以及与集成电路配合的无线收发器等部件。这种电子设备例如智能电话、计算机、平板电脑(PC)、可穿戴智能设备、移动电源等。

[0180] 根据本公开的实施例，还提供了一种芯片系统(SoC)的制造方法。该方法可以包括上述方法。具体地，可以在芯片上集成多种器件，其中至少一些是根据本公开的方法制造的。

[0181] 根据本公开的实施例，还提供了以下方面。

[0182] 1.一种制造用于半导体器件的互连结构的方法，包括：

[0183] 在衬底上设置交替堆叠的至少一个第一牺牲层和至少一个第二牺牲层的第一叠层，其中，第一叠层的最上层是第一牺牲层；

[0184] 在第一叠层上设置器件有源材料层；

[0185] 在器件有源材料层上设置第一硬掩模层，第一硬掩模层具有由沿彼此交叉的第一方向和第二方向延伸的线条限定的网格图案，包括由线条之间的交叉点限定的节点以及节点之间的桥接部分；

[0186] 利用第一硬掩模层，在器件有源材料层中限定针对半导体器件的有源区；

[0187] 利用第一硬掩模层，对第一叠层进行构图，从而第一叠层中的各层具有与第一硬掩模层相对应的网格图案，并因此包括节点以及节点之间的桥接部分；以及

[0188] 在第一叠层中限定互连结构，包括：

[0189] 针对各第一牺牲层：将该第一牺牲层的各桥接部分至少部分地去除从而该第一牺牲层的节点彼此分离；根据互连结构的布局，去除该第一牺牲层中的一个或多个节点，以及[0190] 针对各第二牺牲层：根据互连结构的布局，将该第二牺牲层中的一个或多个桥接部分切断，以及在各第一牺牲层和各第二牺牲层的残留部分的区域处形成导电材料。

[0191] 2.根据方面1所述的方法，其中，在第一叠层中限定互连结构时，

[0192] 先根据互连结构的布局对各第一牺牲层进行所述去除处理，然后根据互连结构的布局对各第二牺牲层进行所述切断处理，或者

[0193] 先根据互连结构的布局对各第一牺牲层进行所述去除处理，然后根据互连结构的布局对各第二牺牲层进行所述切断处理。

[0194] 3.根据方面1或2所述的方法，其中，从上至下依次对第一叠层中的各层进行处理。

[0195] 4.根据方面3所述的方法，其中，

[0196] 在对各第一牺牲层进行所述去除处理时，该方法还包括：利用第一遮蔽层遮蔽第一叠层；以及逐渐向下回蚀第一遮蔽层以逐一露出各第一牺牲层，

[0197] 在对各第二牺牲层进行所述切断处理时，该方法还包括：利用第二遮蔽层遮蔽第一叠层；以及逐渐向下回蚀第二遮蔽层以逐一露出各第二牺牲层。

[0198] 5.根据方面4所述的方法，其中，

[0199] 在对各第一牺牲层进行所述去除处理时，该方法还包括：在第一遮蔽层上形成第二硬掩模层，第二硬掩模层具有与网格图案的节点部相对应的开口；以及利用第二硬掩模层，在第一遮蔽层中形成到各第一牺牲层的节点的第一加工通道，其中，回蚀第一遮蔽层包括经由第一加工通道回蚀第一遮蔽层，

[0200] 在对各第二牺牲层进行所述切断处理时，该方法还包括：在第二遮蔽层上形成第三硬掩模层，第三硬掩模层具有与网格图案的桥接部分的大致中部相对应的开口；以及利用第三硬掩模层，在第二遮蔽层中形成到各第二牺牲层的桥接部分的第二加工通道，其中，回蚀第二遮蔽层包括经由第二加工通道回蚀第二遮蔽层。

[0201] 6.根据方面5所述的方法，其中，对各第一牺牲层进行所述去除处理包括：

[0202] 遮挡到该第一牺牲层中要去除的所述一个或多个节点的第一加工通道，而露出到该第一牺牲层中的其余节点的第一加工通道；

[0203] 经由露出的第一加工通道，通过选择性刻蚀，去除该第一牺牲层中的相应节点；

[0204] 在被去除的节点处，填充第一位置保持层；

[0205] 经由所有的第一加工通道，通过选择性刻蚀，去除该第一牺牲层中的其余节点；

[0206] 在被去除的节点处，填充第一绝缘部。

[0207] 7.根据方面5所述的方法，其中，对各第二牺牲层进行所述切断处理包括：

[0208] 遮挡到该第二牺牲层中要切断的所述一个或多个桥接部分的第二加工通道，而露出到该第二牺牲层中的其余桥接部分的第二加工通道；

[0209] 经由露出的第二加工通道，通过选择性刻蚀，切断该第二牺牲层中的相应桥接部分；

[0210] 在被切断的桥接部分处，填充第二位置保持层；

[0211] 经由所有的第二加工通道，通过选择性刻蚀，切断该第二牺牲层中的其余桥接部分；

[0212] 在被切断的桥接部分处，填充第二绝缘部。

[0213] 8.根据方面6或7所述的方法，其中，第一牺牲层和第二牺牲层包括半导体材料，且第一位置保持层和第二位置保持层包括半导体材料，所述形成导电材料包括：

[0214] 使金属与所述半导体材料发生反应，生成导电的金属半导体化合物。

[0215] 9.根据方面1所述的方法，其中，所述网格图案的节点的线宽粗于桥接部分的线宽。

[0216] 10.根据方面1所述的方法，其中，第一叠层的最下层是第一牺牲层，该方法还包括：

[0217] 将最下层的第一牺牲层替换为绝缘层。

[0218] 11.根据方面1所述的方法，其中，所述半导体器件是竖直半导体器件，所述限定有源区包括：限定分别处于各节点之处的器件有源区。

[0219] 12.根据方面1所述的方法，其中，器件有源材料层包括依次堆叠的第一源/漏层、沟道层和第二源/漏层的第二叠层，所述限定有源区包括：

[0220] 利用第一硬掩模层，对第二叠层进行构图，从而第一叠层中的各层具有与第一硬掩模层相对应的网格图案，并因此包括节点以及节点之间的桥接部分；

[0221] 对沟道层进行进一步选择性刻蚀，以将沟道层的各桥接部分至少部分地去除从而沟道层的节点彼此分离；

[0222] 对第一源/漏层和第二源/漏层进一步选择性刻蚀，以将第一源/漏层和第二源/漏层各自的各桥接部分至少部分地去除从而第一源/漏层和第二源/漏层各自的节点彼此分离。

[0223] 13.根据方面12所述的方法，还包括：

[0224] 在对沟道层进行进一步选择性刻蚀之后，在沟道层的分离的节点周围形成图案与硬掩模层相对应的第一位置保持层；

[0225] 在对第一源/漏层和第二源/漏层进一步选择性刻蚀之后，在第一源/漏层和第二源/漏层各自的分离的节点周围形成图案与硬掩模层相对应的第二位置保持层。

[0226] 14.根据方面13所述的方法，还包括：

[0227] 通过选择性刻蚀，去除第二位置保持层，以露出第一源/漏层和第二源/漏层各自的节点；

[0228] 在第一源/漏层和第二源/漏层各自的节点的表面上形成掺杂剂源层；

[0229] 通过热处理，将掺杂剂源层中的掺杂剂驱入第一源/漏层和第二源/漏层各自的节点中。

[0230] 15.根据方面13所述的方法，还包括：

[0231] 通过选择性刻蚀，去除第一位置保持层，以露出沟道层的节点；

[0232] 绕沟道层的节点形成栅电极。

[0233] 16.根据方面15所述的方法，还包括：

[0234] 在一个或多个节点位置处形成接触插塞。

[0235] 17.根据方面16所述的方法，其中，所述形成接触插塞包括：

[0236] 在所述一个或多个节点位置处，通过选择性刻蚀，去除有源区外周的结构；

[0237] 使金属与所述一个或多个节点位置处的有源区发生反应，生成导电的金属半导体化合物。

[0238] 18.根据方面17所述的方法，还包括：

[0239] 在有源区外周被去除的结构之处，填充半导体材料，其中，所述金属也与填充的半导体材料发生反应而生成导电的金属半导体化合物。

[0240] 19.根据方面11所述的方法，其中，所述半导体器件是鳍式场效应晶体管或平面半导体器件，所述限定有源区包括：

[0241] 利用第一掩模层，对器件有源材料层进行构图，从而器件有源材料层具有与第一硬掩模层相对应的网格图案，并因此包括节点以及节点之间的桥接部分。

[0242] 20.根据方面19所述的方法，还包括：

[0243] 形成与器件有源材料层的各桥接部分相交的牺牲栅；

[0244] 在牺牲栅的侧壁上形成侧墙；

[0245] 通过选择性刻蚀，去除一个或多个牺牲栅；

[0246] 通过牺牲栅的去除而在相应侧墙内留下的空间，切断器件有源材料层的相应桥接部分；

[0247] 在侧墙内的空间中填充绝缘材料；

[0248] 将其余牺牲栅替换为栅电极。

[0249] 21.根据方面19所述的方法，还包括：

[0250] 以牺牲栅和栅侧墙为掩模，对有源材料层进行选择性刻蚀，以去除被牺牲栅和栅侧墙露出的器件有源材料层的一部分；

[0251] 以器件有源材料层的残留部分为种子，生长外延源/漏。

[0252] 在以上的描述中，对于各层的构图、刻蚀等技术细节并没有做出详细的说明。但是本领域技术人员应当理解，可以通过各种技术手段，来形成所需形状的层、区域等。另外，为了形成同一结构，本领域技术人员还可以设计出与以上描述的方法并不完全相同的方法。另外，尽管在以上分别描述了各实施例，但是这并不意味着各个实施例中的措施不能有利地结合使用。

[0253] 以上对本公开的实施例进行了描述。但是，这些实施例仅仅是为了说明的目的，而并非为了限制本公开的范围。本公开的范围由所附权利要求及其等价物限定。不脱离本公开的范围，本领域技术人员可以做出多种替代和修改，这些替代和修改都应落在本公开的范围之内。

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