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丝网印刷装置

阅读：84发布：2024-02-11

专利汇可以提供丝网印刷装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且在向丝网印刷装置的丝网掩模(26)的下方搬入电路基板 (19)之后直至开始丝网印刷动作的期间，利用移动机构(36)使相机(34)向丝网掩模(26)的下方移动，利用相机(34)从下方拍摄丝网掩模(26)的检查对象部位并进行图像识别，基于其识别结果来检查丝网掩模(26)的污垢状态。丝网掩模(26)的检查对象部位是与对电路基板(19)丝网印刷印刷图案的印刷图案开口部(31)中的最微小的印刷图案开口部(31)相同程度或者与最微小的印刷图案开口部(31)接近的微小的印刷图案开口部(31)。这是因为，印刷图案开口部(31)越微小，则印刷图案开口部(31)越容易因污垢(印刷材料的残渣)而堵塞。，下面是丝网印刷装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种丝网印刷装置，向丝网掩模的下方搬入电路基板而使两者重叠，并对所述电路基板丝网印刷印刷图案，所述丝网印刷装置的特征在于，
所述丝网印刷装置具备：
相机，从下方拍摄所述丝网掩模的检查对象部位；
移动机构，使所述相机沿着所述丝网掩模的下表面移动；及
检查单元，在向所述丝网掩模的下方搬入电路基板之后直至开始丝网印刷动作的期间，利用所述移动机构使所述相机向所述丝网掩模的下方移动，利用所述相机从下方拍摄所述丝网掩模的检查对象部位并进行图像识别，基于其识别结果来检查所述丝网掩模的污垢状态。
2.根据权利要求1所述的丝网印刷装置，其特征在于，
所述相机使用拍摄掩模标记的标记拍摄用的相机，所述掩模标记表示所述丝网掩模的下表面的基准位置，
所述检查单元利用所述移动机构使所述相机在从退避位置向标记拍摄位置移动的中途、或者从所述标记拍摄位置向所述退避位置返回的中途，从下方拍摄所述丝网掩模的检查对象部位，所述退避位置是不会妨碍丝网印刷动作的位置，所述标记拍摄位置是拍摄所述丝网掩模的下表面的所述掩模标记的位置。
3.根据权利要求2所述的丝网印刷装置，其特征在于，
所述丝网掩模的检查对象部位被设定为，使得利用所述移动机构使所述相机在所述退避位置、所述标记拍摄位置及拍摄所述检查对象部位的位置之间移动的所述相机的移动距离变短。
4.一种丝网印刷装置，向丝网掩模的下方搬入电路基板而使两者重叠，并对所述电路基板丝网印刷印刷图案，所述丝网印刷装置的特征在于，
所述丝网印刷装置具备：
清洗单元，从下表面侧清洗所述丝网掩模；
相机，从下方拍摄所述丝网掩模的检查对象部位；
移动机构，使所述清洗单元与所述相机沿着所述丝网掩模的下表面移动；及检查单元，在利用所述移动机构使所述清洗单元从退避位置向清洗位置移动的中途、或者进行清洗动作的期间、或者清洗动作后使所述清洗单元向所述退避位置返回的中途，利用所述相机从下方拍摄所述丝网掩模的检查对象部位并进行图像识别，基于其识别结果来检查所述丝网掩模的污垢状态，所述退避位置是不会妨碍丝网印刷动作的位置，所述清洗位置是清洗所述丝网掩模的位置。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的丝网印刷装置，其特征在于，
所述丝网掩模的检查对象部位由生产程序指定。
6.根据权利要求1～4中任一项所述的丝网印刷装置，其特征在于，
所述丝网掩模的检查对象部位被指定为根据印刷检查装置的检查结果求出的印刷不良的发生率大的部位，所述印刷检查装置检查丝网印刷后的电路基板的印刷状态。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的丝网印刷装置，其特征在于，
所述丝网掩模的检查对象部位是从对所述电路基板丝网印刷印刷图案的印刷图案开口部之中指定的印刷图案开口部，以下将该印刷图案开口部称作检查对象的印刷图案开口部，
所述检查单元预先将利用所述相机拍摄未附着污垢的所述检查对象的印刷图案开口部而获得的所述检查对象的印刷图案开口部的图像作为基准图像存储于存储单元，在污垢状态的检查时对利用所述相机拍摄到的所述检查对象的印刷图案开口部的图像与所述基准图像进行比较，来检查所述检查对象的印刷图案开口部内的污垢状态。
8.一种丝网印刷装置，向丝网掩模的下方搬入电路基板而使两者重叠，并对所述电路基板丝网印刷印刷图案，所述丝网印刷装置的特征在于，
在所述丝网掩模中的供刮板移动的刮擦区域，除了对所述电路基板丝网印刷印刷图案的印刷图案开口部之外，还形成用于检查所述丝网掩模的污垢状态的印刷测试图案开口部，
所述丝网印刷装置具备：
相机，拍摄所述丝网掩模的所述印刷测试图案开口部；及
检查单元，利用所述相机拍摄所述印刷测试图案开口部并进行图像识别，基于其识别结果来检查所述丝网掩模的污垢状态。
9.根据权利要求8所述的丝网印刷装置，其特征在于，
在所述电路基板上，在丝网印刷时利用所述丝网掩模的所述印刷图案开口部与所述印刷测试图案开口部来丝网印刷印刷图案与印刷测试图案，
所述检查单元利用所述相机拍摄丝网印刷于所述电路基板的所述印刷测试图案并进行图像识别，基于其识别结果来检查所述电路基板的印刷状态。
10.根据权利要求8或9所述的丝网印刷装置，其特征在于，
所述丝网掩模的所述印刷测试图案开口部与所述印刷图案开口部中的最微小的印刷图案开口部为相同程度的大小，或者所述丝网掩模的所述印刷测试图案开口部比所述最微小的印刷图案开口部更微小。
11.一种丝网印刷装置，向丝网掩模的下方搬入电路基板而使两者重叠，并对所述电路基板丝网印刷印刷图案，所述丝网印刷装置的特征在于，
所述丝网印刷装置具备：
相机，从下方拍摄所述丝网掩模的检查对象的印刷图案开口部；
移动机构，使所述相机沿着所述丝网掩模的下表面移动；及
检查单元，利用所述移动机构使所述相机向在所述相机的视野的周边收纳所述检查对象的印刷图案开口部的位置移动，利用所述相机拍摄所述检查对象的印刷图案开口部并进行图像识别，基于其识别结果来检查所述检查对象的印刷图案开口部的污垢状态。
12.根据权利要求1～11中任一项所述的丝网印刷装置，其特征在于，
所述丝网印刷装置具备从下表面侧清洗所述丝网掩模的清洗单元，
在通过所述检查单元的检查结果检测出需要清洗的污垢时，利用所述清洗单元来清洗所述丝网掩模。
13.根据权利要求12所述的丝网印刷装置，其特征在于，
所述检查单元在执行所述丝网掩模的清洗后检查所述丝网掩模的污垢状态，在检测出需要清洗的污垢时再次执行所述丝网掩模的清洗。
14.根据权利要求12所述的丝网印刷装置，其特征在于，
所述检查单元在执行所述丝网掩模的清洗后检查所述丝网掩模的污垢状态，在检测出需要清洗的污垢时停止丝网印刷装置的工作，并且通过显示及/或声音向作业者告知。

说明书全文

丝网印刷装置

技术领域

[0001] 本发明是涉及一种具备检查丝网掩模的污垢状态的功能的丝网印刷装置的发明。

背景技术

[0002] 例如，专利文献1(日本特开平10-202827号公报)所记载的丝网印刷装置中，每当进行了丝网印刷的电路基板的片数成为预定片数时，利用相机拍摄丝网掩模的印刷图案开口部并进行图像识别，在基于其识别结果而检测出印刷图案开口部的堵塞状态时，选择与该堵塞状态相应的清洗方法而清洗丝网掩模。

[0003] 另外，专利文献2(日本特开平10-217427号公报)所记载的丝网印刷装置中，在每次印刷动作后利用相机拍摄印刷后的丝网掩模的下表面(背面)而进行图像识别，基于其识别结果而监视膏状焊料向丝网掩模的下表面的浸润，在判断为需要清洗时利用清洗单元来清洗丝网掩模的下表面。

[0004] 专利文献1：日本特开平10-202827号公报

[0005] 专利文献2：日本特开平10-217427号公报

发明内容

[0006] 在上述专利文献1、2的丝网印刷装置中，均是在丝网印刷后利用相机拍摄丝网掩模的下表面而检查丝网掩模的污垢状态，但在检查后直至开始下一次丝网印刷动作的期间有可能向丝网掩模附着污垢。

[0007] 另外，在利用相机拍摄丝网掩模的检查对象部位时，需要进行如下动作：在丝网印刷后使相机从不会妨碍丝网印刷动作的退避位置向拍摄丝网掩模的检查对象部位的位置移动并进行拍摄，之后返回到原来的退避位置，因而相机的移动耗费时间，丝网掩模的检查耗费时间，导致生产率降低。

[0008] 另外，在检查丝网掩模的印刷图案开口部的污垢状态时，也存在难以检测在印刷图案开口部的内侧面附着的污垢这样的缺点。

[0009] 本发明是以解决上述课题中的至少一者为目的的发明。

[0010] 第一技术方案构成为，一种丝网印刷装置，向丝网掩模的下方搬入电路基板而使两者重叠，并对所述电路基板丝网印刷印刷图案，上述丝网印刷装置具备：相机，从下方拍摄上述丝网掩模的检查对象部位；移动机构，使上述相机沿着上述丝网掩模的下表面移动；及检查单元，在向上述丝网掩模的下方搬入电路基板之后直至开始丝网印刷动作的期间，利用上述移动机构使上述相机向上述丝网掩模的下方移动，利用上述相机从下方拍摄上述丝网掩模的检查对象部位并进行图像识别，基于其识别结果来检查上述丝网掩模的污垢状态。

[0011] 在该结构中，由于在向丝网掩模的下方搬入电路基板之后直至开始丝网印刷动作的期间，使相机向丝网掩模的下方移动，利用相机拍摄丝网掩模的检查对象部位来检查丝网掩模的污垢状态，因此能够在对搬入的电路基板进行丝网印刷之前检查丝网掩模的污垢状态。

[0012] 在这种情况下，也可以是，检查上述丝网掩模的污垢状态的相机使用拍摄掩模标记的标记拍摄用的相机，上述掩模标记表示上述丝网掩模的下表面的基准位置，上述检查单元利用上述移动机构使上述相机在从退避位置向标记拍摄位置移动的中途、或者从上述标记拍摄位置向上述退避位置返回的中途，从下方拍摄上述丝网掩模的检查对象部位，上述退避位置是不会妨碍丝网印刷动作的位置，上述标记拍摄位置是拍摄上述丝网掩模的下表面的上述掩模标记的位置。如此一来，能够在拍摄丝网掩模的下表面的上述掩模标记时的相机的移动中途拍摄丝网掩模的检查对象部位，能够缩短拍摄丝网掩模的检查对象部位所需要的相机的移动时间。

[0013] 另外，也可以是，上述丝网掩模的检查对象部位被设定为，使得利用上述移动机构使上述相机在上述退避位置、上述标记拍摄位置及拍摄上述检查对象部位的位置之间移动的上述相机的移动距离变短。如此一来，能够缩短拍摄丝网掩模的检查对象部位所需要的相机的移动距离而缩短相机的移动时间。

[0014] 另外，第二技术方案构成为，一种丝网印刷装置，向丝网掩模的下方搬入电路基板而使两者重叠，并对上述电路基板丝网印刷印刷图案，上述丝网印刷装置具备：清洗单元，从下表面侧清洗上述丝网掩模；相机，从下方拍摄上述丝网掩模的检查对象部位；移动机构，使上述清洗单元与上述相机沿着上述丝网掩模的下表面移动；及检查单元，在利用上述移动机构使上述清洗单元从退避位置向清洗位置移动的中途、或者进行清洗动作的期间、或者清洗动作后使上述清洗单元向上述退避位置返回的中途，利用上述相机从下方拍摄上述丝网掩模的检查对象部位并进行图像识别，基于其识别结果来检查上述丝网掩模的污垢状态，上述退避位置是不会妨碍丝网印刷动作的位置，上述清洗位置是清洗上述丝网掩模的位置。

[0015] 在该结构中，能够利用清洗动作用的清洗单元的移动时间来拍摄丝网掩模的检查对象部位，能够缩短拍摄丝网掩模的检查对象部位所需要的时间。

[0016] 在上述的第一技术方案与第二技术方案的基础上，上述丝网掩模的检查对象部位可以由生产程序指定，或者也可以将根据印刷检查装置的检查结果求出的印刷不良的发生率大的部位指定为检查对象部位，上述印刷检查装置检查丝网印刷后的电路基板的印刷状态。在任一情况下均能够将丝网掩模中的容易产生印刷不良的位置指定为检查对象部位，能够尽早检测成为印刷不良的原因的污垢。

[0017] 另外，也可以是，上述丝网掩模的检查对象部位是从对上述电路基板丝网印刷印刷图案的印刷图案开口部之中指定的印刷图案开口部，以下将该印刷图案开口部称作检查对象的印刷图案开口部，上述检查单元预先将利用上述相机拍摄未附着污垢的上述检查对象的印刷图案开口部而获得的上述检查对象的印刷图案开口部的图像作为基准图像存储于存储单元，在污垢状态的检查时对由上述相机拍摄到的上述检查对象的印刷图案开口部的图像与上述基准图像进行比较，来检查上述检查对象的印刷图案开口部内的污垢状态。如此一来，即使在通常的图像识别中难以区别丝网掩模与污垢的情况下，也能够高精度地检查在丝网掩模的印刷图案开口部附着的污垢的状态。

[0018] 另外，第三技术方案构成为，一种丝网印刷装置，向丝网掩模的下方搬入电路基板而使两者重叠，并对上述电路基板丝网印刷印刷图案，在上述丝网掩模中的供刮板移动的刮擦区域，除了对上述电路基板丝网印刷印刷图案的印刷图案开口部之外，还形成用于检查上述丝网掩模的污垢状态的印刷测试图案开口部，上述丝网印刷装置具备：相机，拍摄上述丝网掩模的上述印刷测试图案开口部；及检查单元，利用上述相机拍摄上述印刷测试图案开口部并进行图像识别，基于其识别结果来检查上述丝网掩模的污垢状态。本技术方案检查在丝网掩模中形成的印刷测试图案开口部的污垢状态，推测丝网掩模整体的污垢状态。

[0019] 在这种情况下，也可以是，在上述电路基板上，在丝网印刷时利用上述丝网掩模的上述印刷图案开口部与上述印刷测试图案开口部来丝网印刷印刷图案与印刷测试图案，上述检查单元利用上述相机拍摄丝网印刷于上述电路基板的上述印刷测试图案并进行图像识别，基于其识别结果来检查上述电路基板的印刷状态。本技术方案检查丝网印刷于电路基板上的印刷测试图案的印刷状态，推测电路基板整体的印刷状态。

[0020] 另外，期望的是，上述丝网掩模的上述印刷测试图案开口部与上述印刷图案开口部中的最微小的印刷图案开口部为相同程度的大小，或者上述丝网掩模的上述印刷测试图案开口部比上述最微小的印刷图案开口部更微小。如此一来，检查与丝网掩模的印刷图案开口部中的最容易产生印刷不良的微小的印刷图案开口部相同程度或者比最容易产生印刷不良的微小的印刷图案开口部更容易产生印刷不良的印刷测试图案开口部的污垢状态、或丝网印刷于电路基板上的印刷测试图案的印刷状态，能够高精度地推测丝网掩模整体的污垢状态(是否需要清洗)、电路基板整体的印刷图案的印刷状态。

[0021] 另外，第四技术方案构成为，一种丝网印刷装置，向丝网掩模的下方搬入电路基板而使两者重叠，并对上述电路基板丝网印刷印刷图案，上述丝网印刷装置具备：相机，从下方拍摄上述丝网掩模的检查对象的印刷图案开口部；移动机构，使上述相机沿着上述丝网掩模的下表面移动；及检查单元，利用上述移动机构使上述相机向在上述相机的视野的周边收纳上述检查对象的印刷图案开口部的位置移动，利用上述相机拍摄上述检查对象的印刷图案开口部并进行图像识别，基于其识别结果来检查上述检查对象的印刷图案开口部的污垢状态。在该结构中，由于使相机向在该相机的视野的周边收纳检查对象的印刷图案开口部的位置移动而利用相机拍摄检查对象的印刷图案开口部，因此能够从斜下方拍摄在检查对象的印刷图案开口部的内侧面附着的污垢并进行检查。

[0022] 在以上说明的第一技术方案～第四技术方案的基础上，也可以是，上述丝网印刷装置具备从下表面侧清洗上述丝网掩模的清洗单元，在通过上述检查单元的检查结果检测出需要清洗的污垢时，利用上述清洗单元来清洗上述丝网掩模。如此一来，能够仅在根据检查单元的检查结果检测出需要清洗的污垢时，利用清洗单元来清洗丝网掩模，能够将清洗次数抑制为必要最小限度。

[0023] 另外，也可以是，上述检查单元在执行上述丝网掩模的清洗后检查上述丝网掩模的污垢状态，在检测出需要清洗的污垢时再次执行上述丝网掩模的清洗。如此一来，在清洗后的丝网掩模存在需要清洗的污垢的擦拭残留的情况下，能够再次清洗丝网掩模而擦拭残留的污垢。

[0024] 或者，也可以是，上述检查单元在执行上述丝网掩模的清洗后检查上述丝网掩模的污垢状态，在检测出需要清洗的污垢时停止丝网印刷装置的工作，并且通过显示及/或声音向作业者告知。总之，即使清洗丝网掩模也无法充分擦拭污垢的情况有可能是在清洗动作中产生了某种故障，因此停止丝网印刷装置的工作，促使作业者进行检查。附图说明

[0025] 图1是说明表示本发明的实施例1的丝网印刷装置的结构的图。

[0026] 图2(a)～(c)是说明丝网印刷装置的印刷动作的图。

[0027] 图3是说明拍摄丝网掩模的下表面的掩模标记的动作的图。

[0028] 图4是说明丝网掩模的清洗动作的图。

[0029] 图5是表示丝网印刷装置的控制系统的结构的框图。

[0030] 图6是本发明的实施例4所使用的丝网掩模的仰视图。

[0031] 图7是说明本发明的实施例5中的相机视野内的检查对象的印刷图案开口部的位置的图。

具体实施方式

[0032] 以下，说明将本发明的实施方式具体化而成的几个实施例。

[0033] 实施例1

[0034] 基于图1至图5来说明本发明的实施例1。

[0035] 首先，基于图1来说明丝网印刷装置的结构。

[0036] 成为丝网印刷装置的基台的升降台11构成为，通过由Z1轴马达12驱动Z1轴丝杠机构13而沿着升降引导机构14在上下方向(Z方向)上滑动移动。在该升降台11上，将基部15设置为能够在X、Y方向与θ方向上进行位置调整，在该基部15上固定有Z2轴马达16与Z3轴马达17。Z2轴马达16通过驱动Z2轴丝杠机构18来使用于从下方支撑电路基板19的支撑销20升降。

[0037] 另一方面，Z3轴马达17通过驱动Z3轴丝杠机构(未图示)来使以夹压电路基板19的两侧缘的方式夹持的侧夹具21升降。两侧的侧夹具21的间隔与夹持的电路基板19的宽度对应地由丝杠机构22调整。在侧夹具21的内侧设置用于搬入搬出电路基板19的输送机23，在该输送机23上由侧夹具21夹持电路基板19的两侧缘。

[0038] 与各侧夹具21相邻地将掩模支撑板24固定于基部15，两侧的掩模支撑板24的间隔由丝杠机构25调整。在这些掩模支撑板24、侧夹具21的上方水平设置丝网掩模26(金属掩模)，在该丝网掩模26的上方配置有刮板27。该刮板27通过刮板移动机构30(参照图5)沿着丝网掩模26的上表面移动。在丝网掩模26上形成有向电路基板19印刷焊料图案等印刷图案的印刷图案开口部31，而且在丝网掩模26的下表面的多处(例如对角方向的两处或者四个方向的四处)形成有用于定位X、Y、θ方向的基准位置的掩模标记32(参照图3)。

[0039] 另一方面，在电路基板19的上表面形成有印刷焊料图案等印刷图案的焊盘等，而且在电路基板19的上表面的多处(例如对角方向的两处或者四个方向的四处)形成有用于定位X、Y、θ方向的基准位置的基板标记33(参照图3)。

[0040] 如图2(b)及图3所示，在丝网印刷装置中设有对电路基板19的基板标记33与丝网掩模26的掩模标记32等拍摄对象部位进行拍摄的标记拍摄用的相机34。该相机34借助移动机构36(参照图5)沿着丝网掩模26的下表面在X、Y方向上移动，并且在该相机34的透镜侧装配有用于拍摄电路基板19侧与丝网掩模26侧这两者的棱镜35。在丝网印刷装置的工作期间，在丝网印刷前隔开电路基板19与丝网掩模26的间隔的状态下，使相机34向电路基板19与丝网掩模26之间移动而依次拍摄电路基板19的基板标记33与丝网掩模26的掩模标记32等，之后使相机34向电路基板19的外侧退避，设为在电路基板19上重叠丝网掩模26的状态而进行丝网印刷。

[0041] 另外，在丝网印刷装置中，擦拭在丝网掩模26上附着的污垢(印刷材料的残渣)的清洗单元41被设为能够通过移动机构36(参照图5)沿着丝网掩模26的下表面在Y方向(或者X方向)上移动。在该清洗单元41中，具有朝上开口的吸入槽(未图示)的清洗头42被设为能够上下移动，横跨该清洗头42的上表面以能够更换的方式安装有清洗纸43。在清洗动作时，使清洗头42(或者清洗单元41)向最上方位置(清洗位置)上升，使清洗纸43与丝网掩模26的下表面接触而从上述吸入槽向该清洗头42内吸入空气，由此将丝网掩模26的印刷图案开口部31内所附着的污垢(印刷材料的残渣)向清洗纸43侧吸引并且使清洗单元41沿着丝网掩模26的下表面在Y方向(或者X方向)上移动，利用清洗纸43擦拭在丝网掩模26的印刷图案开口部31内或其下表面侧周边部分附着的污垢，并且将清洗头42上的清洗纸43的已使用部分(擦拭污垢部分)向一方的辊44a卷绕，从另一方的辊44b将清洗纸43的未使用部分向清洗头42上拉出。

[0042] 此外，将清洗头42与清洗纸43的X方向的宽度尺寸设定为大于丝网掩模26的X方向的宽度尺寸，通过进行一次使清洗单元41沿着丝网掩模26的下表面在Y方向上移动的清洗动作，能够清洗丝网掩模26的下表面整体。在清洗动作结束后，通过升降机构37(参照图5)使清洗头42(或者清洗单元41)下降，使清洗头42上的清洗纸43从丝网掩模26的下表面离开之后，通过移动机构36使清洗单元41向不会阻碍丝网印刷动作的退避位置移动。

[0043] 在本实施例1中，使清洗单元41与相机34移动的移动机构36构成为，在X方向(或者Y方向)上使清洗单元41与相机34一体地移动，在Y方向(或者X方向)上使清洗单元41与相机34单独移动。

[0044] 控制如以上那样构成的丝网印刷装置的动作的控制装置51(参照图5)以微型计算机为主体来构成，连接有键盘、鼠标、触摸面板等输入装置52、硬盘、RAM、ROM等存储装置53(存储单元)及液晶显示器、CRT等显示装置54等。丝网印刷装置的控制装置51控制如下述那样对搬入到丝网掩模26的下方的电路基板19丝网印刷焊料图案等印刷图案的动作。

[0045] 如图2(a)所示，预先缩窄两侧的掩模支撑板24的间隔，设为各掩模支撑板24的前端部分比侧夹具21向内侧突出的状态。在该状态下，在利用输送机23将电路基板19搬入至预定的印刷位置的时刻，停止输送机23而使电路基板19停止在支撑销20的正上方的位置。之后，利用Z2轴马达16使支撑销20上升而从下方由支撑销20顶起电路基板19，设为使该电路基板19的两端部分与各掩模支撑板24的下表面抵接的状态。在该状态下，缩窄两侧的侧夹具21的间隔而夹持电路基板19的两侧缘。

[0046] 之后，如图2(b)所示，扩宽两侧的掩模支撑板24的间隔而利用Z3轴马达17使两侧的侧夹具21稍微上升，设为对齐掩模支撑板24、侧夹具21与电路基板19各自的上表面的高度的状态。在该状态下，使相机34向电路基板19与丝网掩模26之间的标记拍摄位置移动，利用该相机34依次拍摄电路基板19的上表面的基板标记33与丝网掩模26的掩模标记32，通过图像处理来识别基板标记33的位置与掩模标记32的位置，基于其识别结果算出电路基板19与丝网掩模26之间的X、Y、θ方向的位置偏移量而求出X、Y、θ方向的偏移校正值，将基部15(电路基板19)的位置在X、Y、θ方向上调整与该偏移校正值相应的量，校正电路基板19与丝网掩模26之间的X、Y、θ方向的位置偏移(印刷偏移)。

[0047] 在该状态下，利用Z1轴马达12来驱动Z1轴丝杠机构13，并且使掩模支撑板24、侧夹具21与电路基板19一体地上升，使上述三者在如图2(c)所示与丝网掩模26的下表面轻微接触的位置停止。与该基板上升动作并行或者在该基板上升动作前后使刮板27下降而设为使刮板27与丝网掩模26的上表面接触的状态。

[0048] 之后，通过使刮板27沿着丝网掩模26的上表面移动，对电路基板19的上表面丝网印刷印刷图案。

[0049] 在丝网印刷结束后，使掩模支撑板24、侧夹具21与电路基板19一体地下降至原来的高度位置，解除基于侧夹具21的夹持而利用输送机23从丝网印刷装置搬出丝网印刷结束的电路基板19。

[0050] 另外，丝网印刷装置的控制装置51也作为检查丝网掩模26的污垢状态(印刷材料的残渣的附着状态)的检查单元而发挥功能，在向丝网掩模26的下方搬入电路基板19后直至开始丝网印刷动作的期间，利用移动机构36使相机34向丝网掩模26的下方移动而利用相机34从下方拍摄丝网掩模26的检查对象部位并进行图像识别，基于其识别结果来检查丝网掩模26的污垢状态。在这种情况下，可以每当向丝网掩模26的下方搬入电路基板19时检查丝网掩模26的污垢状态，也可以每当电路基板19的搬入片数成为预定片数时检查丝网掩模26的污垢状态。

[0051] 在本实施例1中，丝网掩模26的检查对象部位是与对电路基板19丝网印刷印刷图案的印刷图案开口部31中的最微小的印刷图案开口部31相同程度或者与最微小的印刷图案开口部31接近的微小的印刷图案开口部31。印刷图案开口部31越微小，则印刷图案开口部31越容易因污垢(印刷材料的残渣)而堵塞，因此通过对丝网掩模26中的容易附着污垢的部分即微小的印刷图案开口部31的污垢状态进行图像识别，来推测丝网掩模26整体的污垢状态(是否需要清洗)。

[0052] 丝网掩模26的检查对象部位(检查对象的印刷图案开口部31)可以由生产程序(生产作业)指定，或者也可以将根据检查丝网印刷后的电路基板19的印刷状态的印刷检查装置(未图示)的检查结果求出的印刷不良的发生率大的部位指定为检查对象部位。在任一情况下，均能够将丝网掩模26中的容易产生印刷不良的位置(微小的印刷图案开口部31)指定为检查对象部位，能够尽早检测成为印刷不良的原因的污垢。

[0053] 另外，在本实施例1中，在利用移动机构36使相机34从不会妨碍丝网印刷动作的退避位置向拍摄丝网掩模26的下表面的掩模标记32的标记拍摄位置移动的中途、或者从标记拍摄位置向退避位置返回的中途，从下方拍摄丝网掩模26的检查对象的印刷图案开口部31。

[0054] 另外，丝网掩模26的检查对象的印刷图案开口部31被设定为，使得利用移动机构36使相机34在上述退避位置、上述标记拍摄位置及拍摄检查对象的印刷图案开口部31的位置之间移动的相机34的移动距离变短。

[0055] 另外，丝网印刷装置的控制装置51在根据丝网掩模26的污垢状态的检查结果而检测出需要清洗的污垢时，利用清洗单元41来清洗丝网掩模26。如此一来，能够仅在根据丝网掩模26的污垢状态的检查结果而检测出需要清洗的污垢时，利用清洗单元41来清洗丝网掩模26，能够将清洗次数抑制至必要最小限度。

[0056] 在这种情况下，也可以在执行丝网掩模26的清洗之后，再次利用相机34从下方拍摄丝网掩模26的检查对象的印刷图案开口部31而再次检查丝网掩模26的污垢状态，在检测出需要清洗的污垢时，再次执行丝网掩模26的清洗。如此一来，在清洗后的丝网掩模26上存在需要清洗的污垢的擦拭残留的情况下，能够再次清洗丝网掩模26而擦拭残留的污垢。

[0057] 或者，也可以在执行丝网掩模26的清洗之后，再次检查丝网掩模26的污垢状态，在检测出需要清洗的污垢时，停止丝网印刷装置的工作，并且通过显示装置54的显示及/或声音向作业者告知。总之，即使清洗丝网掩模26也无法充分地擦拭污垢的情况有可能是在清洗动作中产生了某种故障，因此，停止丝网印刷装置的工作而促使作业者进行检查。

[0058] 在以上说明的本实施例1中，由于在向丝网掩模26的下方搬入电路基板19之后直至开始丝网印刷动作的期间内，使相机34向丝网掩模26的下方移动，利用相机34拍摄丝网掩模26的检查对象的印刷图案开口部31而检查丝网掩模26的污垢状态，因此能够在对搬入的电路基板19进行丝网印刷之前检测丝网掩模26的污垢状态。

[0059] 另外，在本实施例1中，由于在利用移动机构36使相机34从不会妨碍丝网印刷动作的退避位置向拍摄丝网掩模26的下表面的掩模标记32的标记拍摄位置移动的中途、或者从标记拍摄位置向退避位置返回的中途，从下方拍摄丝网掩模26的检查对象的印刷图案开口部31，因此能够在拍摄丝网掩模26的下表面的掩模标记32时的相机34的移动中途拍摄丝网掩模26的检查对象的印刷图案开口部31，能够缩短拍摄丝网掩模26的检查对象的印刷图案开口部31所需要的相机34的移动时间，能够缩短循环时间。

[0060] 实施例2

[0061] 接着，说明本发明的实施例2。其中，省略或者简化与上述实施例1实质相同的部分的说明，主要针对不同部分进行说明。

[0062] 在上述实施例1中，在向丝网掩模26的下方搬入电路基板19之后直至开始丝网印刷动作的期间，利用相机34拍摄丝网掩模26的检查对象的印刷图案开口部31来检查丝网掩模26的污垢状态，但在本实施例2中，丝网印刷装置的控制装置51在利用移动机构36使清洗单元41从不会妨碍丝网印刷动作的退避位置向清洗丝网掩模26的清洗位置移动的中途、或者在进行清洗动作的期间、或者清洗动作后使清洗单元41向上述退避位置返回的中途，与上述实施例1同样地利用相机34从下方拍摄丝网掩模26的检查对象部位(检查对象的印刷图案开口部31)并进行图像识别，基于其识别结果来检查上述丝网掩模26的污垢状态。

[0063] 在这种情况下，若相对于清洗单元41将相机34配置于清洗位置侧而在使清洗单元41从退避位置向清洗位置移动的中途对丝网掩模26的检查对象部位进行图像识别而检查丝网掩模26的污垢状态，则能够在清洗动作开始之前检查丝网掩模26的污垢状态，也可以在基于其检查结果而判断为在丝网掩模26上没有附着需要清洗的污垢的情况下，不进行清洗动作就使清洗单元41向退避位置返回。

[0064] 另外，若相对于清洗单元41将相机34配置在与清洗位置侧相反的一侧而在清洗动作后使清洗单元41向退避位置返回的中途对丝网掩模26的检查对象部位进行图像识别而检查丝网掩模26的污垢状态，则能够检查清洗动作之后的丝网掩模26的污垢状态，也可以在基于其检查结果而判断为丝网掩模26存在需要清洗的污垢的擦拭残留的情况下，再次执行清洗动作而再次检查清洗动作之后的丝网掩模26的污垢状态。另外，也可以在通过再次检查而判断为丝网掩模26存在需要清洗的污垢的擦拭残留的情况下，停止丝网印刷装置的工作，并且通过显示装置54的显示及/或声音向作业者告知。总之，由于即使执行两次清洗动作也无法充分地擦拭污垢的情况是有可能在清洗动作中产生了某种故障，因此停止丝网印刷装置的工作而促使作业者检查。

[0065] 根据以上说明的本实施例2，能够利用用于清洗动作的清洗单元41的移动时间来拍摄丝网掩模26的检查对象部位，能够缩短拍摄丝网掩模26的检查对象部位所需要的时间，能够缩短循环时间。

[0066] 实施例3

[0067] 接着，说明本发明的实施例3。

[0068] 在本实施例3中，变更了对丝网掩模26的污垢状态进行图像识别的方法，除此以外的事项与上述实施例1或者实施例2实质相同。

[0069] 在本实施例3中，丝网印刷装置的控制装置51将预先利用相机34拍摄没有附着污垢的检查对象的印刷图案开口部31而获得的检查对象的印刷图案开口部31的图像作为基准图像存储于存储装置53，对在检查丝网掩模26的污垢状态时利用相机34拍摄到的检查对象的印刷图案开口部31的图像与上述基准图像进行比较，从而对检查对象的印刷图案开口部31内的污垢状态进行检查。

[0070] 如此一来，即使在通常的图像识别中难以区别丝网掩模26与污垢的情况下，也能够高精度地检查在丝网掩模26的印刷图案开口部31附着的污垢的状态。

[0071] 实施例4

[0072] 接着，使用图6来说明本发明的实施例4。其中，与上述实施例1实质相同的部分标注相同的附图标记并省略或者简化说明，主要针对不同部分进行说明。

[0073] 在本实施例4中，在丝网掩模26中的供刮板27移动的刮擦区域61中，除了对电路基板19丝网印刷印刷图案的印刷图案开口部31之外，还形成有用于检查丝网掩模26的污垢状态的印刷测试图案开口部62。形成该印刷测试图案开口部62的位置可以设定为，使在相机34的退避位置、标记拍摄位置及拍摄印刷测试图案开口部62的位置之间移动的相机34的移动距离变短。

[0074] 该印刷测试图案开口部62与印刷图案开口部31中的最微小的印刷图案开口部31为相同程度的大小，或者该印刷测试图案开口部62比最微小的印刷图案开口部31更微小。丝网印刷装置的控制装置51将丝网掩模26的检查对象部位设为印刷测试图案开口部62，在与上述实施例1或者实施例2相同的时期检查丝网掩模26的污垢状态时，利用相机34拍摄印刷测试图案开口部31并进行图像识别，基于其识别结果来检查丝网掩模26的污垢状态。总之，检查在丝网掩模26上形成的印刷测试图案开口部62的污垢状态，推测丝网掩模26整体的污垢状态。此时，与上述实施例3相同，也可以将预先利用相机34拍摄未附着污垢的印刷测试图案开口部62而获得的印刷测试图案开口部62的图像作为基准图像存储于存储装置
53，在检查丝网掩模26的污垢状态时，对利用相机34拍摄到的印刷测试图案开口部62的图像与上述基准图像进行比较来检查印刷测试图案开口部62内的污垢状态。

[0075] 另外，在本实施例4中，在丝网印刷时利用丝网掩模26的印刷图案开口部31与印刷测试图案开口部62对电路基板19丝网印刷印刷图案与印刷测试图案，丝网印刷装置的控制装置51利用相机34拍摄丝网印刷于电路基板19的印刷测试图案并进行图像识别，基于其识别结果来检查电路基板19的印刷状态。总之，检查丝网印刷于电路基板19的印刷测试图案的印刷状态，推测电路基板19整体的印刷图案的印刷状态。

[0076] 在以上说明的本实施例4中，丝网掩模26的印刷测试图案开口部62与印刷图案开口部31中的最微小的印刷图案开口部31为相同程度的大小，或者丝网掩模26的印刷测试图案开口部62比最微小的印刷图案开口部31更微小，因此检查与丝网掩模26的印刷图案开口部31中的最容易产生印刷不良的微小的印刷图案开口部31相同程度或者比最容易产生印刷不良的微小的印刷图案开口部31更容易产生印刷不良的印刷测试图案开口部62的污垢状态、或者丝网印刷于电路基板19的印刷测试图案的印刷状态，能够高精度地推测丝网掩模26整体的污垢状态(是否需要清洗)、电路基板19整体的印刷图案的印刷状态。

[0077] 实施例5

[0078] 接着，使用图7来说明本发明的实施例5。其中，与上述实施例1实质相同的部分标注相同的附图标记而省略或者简化说明，主要针对不同部分进行说明。

[0079] 在本实施例5中，丝网印刷装置的控制装置51在通过上述实施例1～3中的任一动作检查丝网掩模26的污垢状态时，利用移动机构36使相机34向在相机34的视野的周边收纳检查对象的印刷图案开口部31的位置移动而利用相机34拍摄检查对象的印刷图案开口部31并进行图像识别，基于其识别结果来检查检查对象的印刷图案开口部31的污垢状态。

[0080] 在该结构中，由于使相机34向在相机34的视野的周边收纳检查对象的印刷图案开口部31的位置移动而利用相机34拍摄检查对象的印刷图案开口部31，因此能够从斜下方拍摄在检查对象的印刷图案开口部31的内侧面附着的污垢并进行检查。

[0081] 此外，在上述实施例4中，在检查印刷测试图案开口部62的污垢状态时，也可以使相机34向在相机34的视野的周边收纳印刷测试图案开口部62的位置移动而利用相机34拍摄印刷测试图案开口部62并进行图像识别，基于其识别结果来检查印刷测试图案开口部62的污垢状态。

[0082] 除此之外，本发明不限于图1及图2所示的结构的丝网印刷装置，也可以适当变更丝网印刷机的结构等，在不脱离主旨的范围内能够实施各种变更，这是不言而喻的。

[0083] 附图标记说明

[0084] 11…升降台

[0085] 12…Z1轴马达

[0086] 13…Z1轴丝杠机构

[0087] 14…升降引导机构

[0088] 15…基部

[0089] 16…Z2轴马达

[0090] 17…Z3轴马达

[0091] 18…Z2轴丝杠机构

[0092] 19…电路基板

[0093] 20…支撑销

[0094] 21…侧夹具

[0095] 22…丝杠机构

[0096] 23…输送机

[0097] 24…掩模支撑板

[0098] 25…丝杠机构

[0099] 26…丝网掩模

[0100] 27…刮板

[0101] 31…印刷图案开口部

[0102] 32…掩模标记

[0103] 33…基板标记

[0104] 34…相机

[0105] 35…棱镜

[0106] 51…控制装置(检查单元)

[0107] 53…存储装置(存储单元)

[0108] 54…显示装置(显示单元)

[0109] 61…刮擦区域

[0110] 62…印刷测试图案开口部

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