技术领域
[0001] 本
发明涉及
电子级化学
试剂生产领域，具体涉及一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺。
背景技术
[0002] 电子级过氧化氢主要用于大规模集成
电路的清洗与
腐蚀，随着电子工业的发展，集成电路集成度越来越高，这也对过氧化氢等电子级化学品的
质量和纯度提出了更为苛刻的要求。中国传统的生产电子级过氧化氢的方法基本上是将工业化过氧化氢处理成试剂级或食品级之后作为原料。
[0003] 目前，在电子级过氧化氢的处理过程中一般采用连续化生产，但是在连续化生产的过程中交换
树脂装置和膜分离装置容易损坏，影响生产。
发明内容
[0004] 为此，本发明
实施例提供一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺，以解决
现有技术连续化生产的过程中交换树脂装置和膜分离装置容易损坏，影响生产的问题。
[0005] 为了实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：
[0006] 根据本发明实施例的第一方面，提供一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺，包括将原料罐中的过氧化氢原料通过除杂过滤系统进行处理，所述除杂过滤系统包括至少两个交换树脂装置和至少两个膜分离装置，所述的至少两个交换树脂装置与原料罐并联，所述的至少两个膜分离装置分别与不同交换树脂装置连接。
[0007] 进一步的，所述原料罐中的过氧化氢原料经减压蒸馏装置处理后通过除杂过滤系统进行处理。
[0008] 进一步的，所述减压蒸馏装置的
温度为20～25℃，压
力为0.05～0.08MPa。
[0009] 进一步的，所述除杂过滤系统的交换树脂装置彼此
串联，且交换树脂装置与原料罐或减压蒸馏装置之间设有
开关阀，任意一个交换树脂装置与另一个交换树脂装置之间设有开关阀。
[0010] 进一步的，所述除杂过滤系统的膜分离装置彼此串联，且膜分离装置与交换树脂装置之间设有开关阀，任意一个膜分离装置与另一个膜分离装置之间设有开关阀。
[0011] 进一步的，所述过氧化氢原料包括工业过氧化氢
水溶液。
[0012] 根据本发明实施例的第二方面，提供一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺制备的过氧化氢。
[0013] 进一步的，所述过氧化氢内的杂质含量≤10ppt。
[0014] 根据本发明实施例的第三方面，提供一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺于电子级过氧化氢生产中的应用。
[0015] 本发明实施例具有如下优点：本发明实施例提供一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺，通过将交换树脂装置与原料罐并联，膜分离装置分别与不同交换树脂装置连接，能够有效降低因树脂、膜损坏的原因导致生产停滞带来的经济影响，实现连续生产。通过将除杂过滤系统的交换树脂装置彼此串联，所述除杂过滤系统的膜分离装置彼此串联，能够实现多次过滤和除杂；本生产工艺采用减压精馏，故而生产工艺只需将
温度控制在20～25℃，压力在0.05～0.08MPa。大大降低过氧化氢因受温度影响而造成的分解，同时生产上无需对原料加热，体现了高效节能环保。
附图说明
[0016] 图1为实施例1提供的一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺的框形图；
[0017] 图中标识：1—原料罐；2—减压蒸馏装置；3—成品贮罐；4—高位成品贮罐；5—
过滤器；6—分装台；7—开关阀。
具体实施方式
[0018] 以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本
说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0019] 需要注意的是，除非另有说明，本
申请使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域技术人员所理解的通常意义，下述实施例中的实验材料，若无特别说明，均是来源于商业途径，所述的实验方法，若无特别说明，均为通用实验方法。
[0020] 针对现有技术中的不足，本案
发明人经长期研究和大量实践，得以提出本发明的技术方案，如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。
[0021] 如图1所示，本发明实施例的一个方面提供了一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺，包括将原料罐1中的过氧化氢原料通过除杂过滤系统进行处理，所述除杂过滤系统包括至少两个交换树脂装置和至少两个膜分离装置，所述的至少两个交换树脂装置与原料罐1并联，所述的至少两个膜分离装置分别与不同交换树脂装置连接。当任意一个交换树脂装置和/或膜分离装置损坏时，均不影响使用。
[0022] 优选的，所述原料罐1中的过氧化氢原料经减压蒸馏装置2处理后通过除杂过滤系统进行处理。
[0023] 优选的，所述减压蒸馏装置2的温度为20～25℃，压力为0.05～0.08MPa。
[0024] 优选的，所述除杂过滤系统的交换树脂装置彼此串联，且交换树脂装置与原料罐1或减压蒸馏装置2之间设有开关阀7，任意一个交换树脂装置与另一个交换树脂装置之间设有开关阀7。当交换树脂装置没有损坏时，可仅打开一个交换树脂装置与原料罐1或减压蒸馏装置2之间的开关阀7，打开交换树脂装置之间的开关阀7，可提高除杂效果；当交换树脂装置损坏时，可关闭损坏的交换树脂装置与原料罐1或减压蒸馏装置2之间的开关阀7。
[0025] 优选的，所述除杂过滤系统的膜分离装置彼此串联，且膜分离装置与交换树脂装置之间设有开关阀7，任意一个膜分离装置与另一个膜分离装置之间设有开关阀7。当膜分离装置没有损坏时，可仅打开一个膜分离装置与交换树脂装置之间的开关阀7，打开膜分离装置之间的开关阀7，可提高除杂效果；当膜分离装置损坏时，可关闭损坏的膜分离装置与交换树脂装置之间的开关阀7。此外，当过氧化氢内的杂质含量要求不严时可使用并联模式，当过氧化氢内的杂质含量要求较严时可使用串联模式。
[0026] 优选的，所述过氧化氢原料包括工业过氧化氢水溶液。
[0027] 根据本发明实施例的第二方面，提供一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺制备的过氧化氢。
[0028] 优选的，所述过氧化氢内的杂质含量≤10ppt。
[0029] 根据本发明实施例的第三方面，提供一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺于电子级过氧化氢生产中的应用。
[0030] 以下通过若干实施例进一步详细说明本发明的技术方案。然而，所选的实施例仅用于说明本发明，而不限制本发明的范围。
[0031] 实施例1
[0032] 本实施例提供一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺，包括将原料罐1中的过氧化氢原料通过除杂过滤系统进行处理，所述过氧化氢原料包括工业过氧化氢水溶液。所述除杂过滤系统包括至少两个交换树脂装置和至少两个膜分离装置，所述的至少两个交换树脂装置与原料罐1并联，所述的至少两个膜分离装置分别与不同交换树脂装置连接。所述除杂过滤系统的交换树脂装置彼此串联，且交换树脂装置与原料罐1或减压蒸馏装置2之间设有开关阀7。所述除杂过滤系统的膜分离装置彼此串联，且膜分离装置与交换树脂装置之间设有开关阀7，制备的过氧化氢转入成品贮罐3中，之后依次经过成品贮罐4、过滤器5和分装台6处理。所述原料罐1中的过氧化氢原料经减压蒸馏装置2处理后通过除杂过滤系统进行处理。所述减压蒸馏装置2的温度为20℃，压力为0.05MPa。
[0033] 实施例2
[0034] 本实施例提供一种除杂过滤系统包括两个交换树脂装置和两个膜分离装置，所述的两个交换树脂装置与原料罐1并联，所述的两个膜分离装置分别与两个交换树脂装置连接。所述除杂过滤系统的交换树脂装置彼此串联，且交换树脂装置与原料罐1或减压蒸馏装置2之间设有开关阀7。所述除杂过滤系统的膜分离装置彼此串联，且膜分离装置与交换树脂装置之间设有开关阀7，制备的过氧化氢转入成品贮罐3中，之后依次经过成品贮罐4、过滤器5和分装台6处理。所述原料罐1中的过氧化氢原料经减压蒸馏装置2处理后通过除杂过滤系统进行处理。所述减压蒸馏装置2的温度为22℃，压力为0.065MPa。
[0035] 实施例3
[0036] 本实施例提供一种超净高纯过氧化氢高效节能环保连续生产工艺，包括将原料罐1中的过氧化氢原料通过除杂过滤系统进行处理，所述过氧化氢原料包括工业过氧化氢水溶液。所述除杂过滤系统包括至少两个交换树脂装置和至少两个膜分离装置，所述的至少两个交换树脂装置与原料罐1并联，所述的至少两个膜分离装置分别与不同交换树脂装置连接。所述除杂过滤系统的交换树脂装置彼此串联，且交换树脂装置与原料罐1或减压蒸馏装置2之间设有开关阀7。所述除杂过滤系统的膜分离装置彼此串联，且膜分离装置与交换树脂装置之间设有开关阀7，制备的过氧化氢转入成品贮罐3中，之后依次经过成品贮罐4、过滤器5和分装台6处理。所述原料罐1中的过氧化氢原料经减压蒸馏装置2处理后通过除杂过滤系统进行处理。所述减压蒸馏装置2的温度为25℃，压力为0.08MPa。
[0037] 实施例4
[0038] 本实施例将实施例1中减压蒸馏装置2的温度调整为18℃，压力为0.05MPa。
[0039] 实施例5
[0040] 本实施例将实施例1中减压蒸馏装置2的温度调整为27℃，压力为0.05MPa。
[0041] 实施例6
[0042] 本实施例将实施例2中减压蒸馏装置2的温度调整为18℃，压力为0.065MPa。
[0043] 实施例7
[0044] 本实施例将实施例2中减压蒸馏装置2的温度调整为27℃，压力为0.065MPa。
[0045] 实施例8
[0046] 本实施例将实施例2中减压蒸馏装置2的温度调整为27℃，压力为0.08MPa。
[0047] 实施例9
[0048] 本实施例将实施例2中减压蒸馏装置2的温度调整为27℃，压力为0.08MPa。
[0049] 实施例10
[0050] 本实施例将实施例2中减压蒸馏装置2的温度调整为20℃，压力为0.04MPa。
[0051] 实施例11
[0052] 本实施例将实施例2中减压蒸馏装置2的温度调整为25℃，压力为0.09MPa。
[0053] 对比例1
[0054] 实施例1—3中超净高纯过氧化氢的杂质含量如下表所示：
[0055]
[0056] 上述实验结果表明：将实施例1、4、5对比，实施例2、6、7对比，实施例3、8、9对比，从中可见压力不变，温度高于或低于20～25℃时，杂质较高；将实施例1和实施例10对比，将实施例3和实施例11对比，从中可见温度不变，压力高于或低于0.05～0.08MPa时，杂质较高。
[0057] 最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行
修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的
权利要求和说明书的范围当中。
