本発明は、不要電磁波の干渉を抑制するノイズ抑制シートに関し、特に高環境信頼性を有する難燃化ノイズ抑制シートに関する。

従来から、電子装置からの電磁波漏洩、外部環境からの電子装置への電磁波の進入、筐体金属による電子装置内での電磁波の反射が電磁ノイズとなり、電子装置の誤動作や生体への影響が懸念されている。 そのため、様々な電磁波吸収機能を有する材料の開発が進められてきた。 中でも近年、薄型化、小型化、軽量化、高速・高周波化が急速に進む携帯電話やノートパソコンに代表されるモバイル機器の開発においては、短期間での製品設計・特性検証が重要になってきており、設計段階では把握できなかった電磁ノイズに短期間で対処する必要が生じている。 そこで、電磁波吸収機能を有するノイズ抑制シートが広く利用されるようになってきた。 ノイズ抑制シートに要求される特性としては、電磁波吸収特性や発熱する電子装置近傍での使用に耐えるための難燃性がある。 電磁波吸収特性は用いる磁性材料によって決まるものであり、磁性損失が大きく特性が優れているものとしては扁平磁性粉が知られている。 また、難燃性に関しては難燃効果の高いハロゲン系難燃剤が広く用いられてきた。 しかし、ハロゲン系難燃剤は燃焼した際に有害物質が発生することから、材料の脱ハロゲン化が積極的に進められている。 非ハロゲン系難燃剤はハロゲン系難燃剤に比べて一般的に難燃性が劣るため添加量を多くしなければならず、難燃性と引き換えに電磁波吸収特性やシートの可撓性が低下しやすいといった問題がある。

また一方で、機器の薄型化に伴いノイズ抑制シートにも薄物化の要求が高まってきている。 しかし、シート厚みが薄くなると電磁波吸収特性や難燃性は一般に低下するため、上記の問題と合わせ、ハロゲンフリー、難燃、薄物対応、電磁波吸収特性、可撓性といった要求を全て満たすことは非常に難しい。

特許文献１では、カーボン粉末を添加した電磁波吸収体に、難燃剤として無機水酸化物とリン化合物を加えている。 リン化合物としては、赤リン、リン酸エステル、リン酸金属塩、ポリリン酸アンモニウム類などを挙げている。 特許文献２は非ハロゲン、非アンチモン系難燃剤を添加した基材に磁性材料を蒸着したノイズ抑制体である。 難燃剤としてはリン系難燃剤、窒素系難燃剤、金属水酸化物、金属酸化物、シリコーン系難燃剤、白金化合物などを挙げている。 特に、リン系難燃剤としては、リン酸エステル、赤リン、黄リンなどを挙げている。

特開２００６−４１３４４公報

特開２００５−２１６９２７公報

これらの発明においてはハロゲンフリーの難燃性を有するものの、特許文献１では磁性材料の代わりにカーボンを用いている。 カーボンは誘電損失により電磁波吸収特性を発現するものであるが、十分な電磁波吸収特性を得るためにはカーボンを多量に添加する必要があり、加えて難燃剤として無機水酸化物を含むことから成形性や可撓性の低下を招きやすい。 特許文献２では蒸着により磁性体層を形成しており、真空プロセスを使用しているため製造上のコストが大きくなることが懸念される。 また、これまで開示されている方法は難燃性に主眼が置かれているために、厳しい環境下での信頼性の検討がされてこなかった。 今後、自動車内の電子機器のノイズ対策などに用いられていくためには、高温高湿などの環境に耐えられる信頼性が望まれる。 本発明は、最適な磁性体、樹脂、難燃剤の選択と配合を行うことにより、ハロゲンフリーで、薄さ、良好な電磁波吸収特性、難燃性、可撓性を有し、かつ厳しい環境でも信頼性を有するノイズ抑制シートを提供することを目的とする。

本発明は、（Ａ）扁平軟磁性材料粉末１０００重量部、（Ｂ）エポキシ樹脂１０〜３０重量部、（Ｃ）エポキシ樹脂硬化剤１〜６０重量部、（Ｄ）硬化促進剤０．０３〜１．５重量部、（Ｅ）グリシジル（メタ）アクリレート２〜６重量％を含むＴｇ（ガラス転移温度）が−１０℃以上でかつ重量平均分子量が８０万以上であるエポキシ基含有アクリル系共重合体４５〜２００重量部、（Ｆ）分散剤３〜２０重量部、（Ｇ）有機ホスフィン酸塩化合物３０〜７０重量部、及び（Ｉ）金属水酸化物５０〜９０重量部を含有する難燃化ノイズ抑制シートである。 本発明は、さらに（Ｈ）リン酸エステル化合物２０〜５０重量部を含有することもできる。

本発明はまた、（Ａ）扁平軟磁性材料粉末が、（１）Ｆｅ−Ａｌ系合金、Ｆｅ−Ｓｉ系合金、及びＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金からなる群から選択される１種以上の粉末、（２）Ｆｅ−Ｚｒ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｈｆ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｎｂ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｚｒ−Ｎｂ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｂ、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ−Ｎｂ−Ｃｕ系合金、及びＦｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ｂ−Ｎｂ−Ｃｕ系合金からなる群から選択される１種以上の粉末、（３）Ｆｅ−Ｂ−Ｓｉ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｂ−Ｓｉ−Ｃ系合金、及びＦｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｓｉ−Ｂ系合金からなる群から選択される１種以上の粉末、（４）Ｆｅ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ−Ｃｕ系合金、及びＦｅ−Ｎｉ−Ｍｏ−Ｍｎ系合金からなる群から選択される１種以上の粉末、のいずれかである難燃化ノイズ抑制シートである。

また、本発明は、扁平軟磁性材料粉末のアスペクト比が１０〜１００であり、かつ面方向の平均粒子径が４０〜１００μｍである難燃化ノイズ抑制シートである。

また、本発明は、（Ｆ）分散剤が、カルボキシル基又はスルホン基を有するアニオン性高分子を主成分とする難燃化ノイズ抑制シートである。

さらに本発明は、難燃化ノイズ抑制シートの厚みが２０〜５０μｍである難燃化ノイズ抑制シート、あるいは難燃化ノイズ抑制シートの厚み方向に扁平軟磁性材料粉末の粒子が３〜１０枚重なって配向されている難燃化ノイズ抑制シートである。

本発明によれば、難燃性を有し、かつ高環境信頼性を有するノイズ抑制シートを提供することが可能となる。

本発明の難燃化ノイズ抑制シートは、（Ａ）扁平軟磁性材料粉末１０００重量部、（Ｂ）エポキシ樹脂１０〜３０重量部、（Ｃ）エポキシ樹脂硬化剤１〜６０重量部、（Ｄ）硬化促進剤０．０３〜１．５重量部、（Ｅ）グリシジル（メタ）アクリレート２〜６重量％を含むＴｇ（ガラス転移温度）が−１０℃以上でかつ重量平均分子量が８０万以上であるエポキシ基含有アクリル系共重合体４５〜２００重量部、（Ｆ）分散剤３〜２０重量部、（Ｇ）有機ホスフィン酸塩化合物３０〜７０重量部、及び（Ｉ）金属水酸化物５０〜９０重量部を含有し、さらに（Ｈ）リン酸エステル化合物２０〜５０重量部を含有することもできる。

本発明における（Ａ）扁平軟磁性材料粉末は、軟磁性材料として高透磁率を示すものであれば限定されることなく好適に使用することができる。 Ｆｅ−Ａｌ系合金、例えばアルパーム、Ｆｅ−Ｓｉ系合金、例えばケイ素鋼、又はＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金、例えばセンダストのいずれか、またそれらの混合粉末を用いることが出来る。 また、ナノ結晶材料で高透磁率を発現するＦｅ−Ｚｒ−Ｂ系合金、例えばＦｅ _９１ Ｚｒ _７ Ｂ _２ 、Ｆｅ−Ｈｆ−Ｂ系合金、例えばＦｅ _８９ Ｈｆ _７ Ｂ _４ 、Ｆｅ−Ｎｂ−Ｂ系合金、例えばＦｅ _８４ Ｎｂ _７ Ｂ _９ 、Ｆｅ−Ｚｒ−Ｎｂ−Ｂ系合金、例えばＦｅ _８９ Ｚｒ _６ Ｎｂ _１ Ｂ _４ 、Ｆｅ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｂ、例えばＦｅ _８８ Ｚｒ _７ Ｃｕ _１ Ｂ _４ 、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ−Ｎｂ−Ｃｕ系合金、例えばＦｅ _７３．５ Ｓｉ _１３．５ Ｂ _９ Ｎｂ _３ Ｃｕ _１ 、又はＦｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ｂ−Ｎｂ−Ｃｕ系合金、例えばＦｅ _１８．８ Ｃｏ _６０ Ｓｉ _９ Ｂ _９ Ｎｂ _２．６ Ｃｕ _０．６のいずれか、またそれらの混合粉末を用いることが出来る。 また、アモルファス合金であるＦｅ−Ｂ−Ｓｉ系合金、例えばＦｅ _７８ Ｂ _１０ Ｓｉ _１２ 、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ｂ系合金、例えばＦｅ _５ Ｃｏ _７０ Ｓｉ _１５ Ｂ _１０ 、Ｆｅ−Ｂ−Ｓｉ−Ｃ系合金、例えばＦｅ _９４．４ Ｂ _３ Ｓｉ _２．１ Ｃ _０．５又はＦｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｓｉ−Ｂ系合金、例えばＦｅ _２４ Ｃｏ _１２．５ Ｎｉ _４５．５ Ｓｉ _２ Ｂ _１６のいずれか、またそれらの混合粉末を用いることが出来る。 また、パーマロイ系合金であるＦｅ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ−Ｃｕ系合金、又はＦｅ−Ｎｉ−Ｍｏ−Ｍｎ系合金（スーパーマロイ）のいずれか、またそれらの混合粉末を用いることが出来る。

また、扁平軟磁性材料粉末は、金属軟磁性材料を粉砕、延伸・引張り加工や溶湯アトマイズ法などにより粉末化し、アトライタやボールミルによる扁平化処理を行うことにより得ることが出来る。 扁平軟磁性材料粉末の扁平度は１０〜３０であり、かつ面方向の平均粒子径が４０〜１００μｍであることが好ましい。 ここで扁平度とは、扁平度＝粉末粒子の平均粒子径／粒子の平均厚みで表されるものである。 扁平度が１０未満であると、分散したシートの透磁率が低くノイズ抑制効果が低い。 扁平度が３０を超えると分散性が低下する。 また、平均粒子径が４０μｍ未満であっても、分散したシートの透磁率が低くノイズ抑制効果が低い。 平均粒子径が１００μｍを超えても分散性が低下する。

本発明における（Ｂ）エポキシ樹脂は、硬化した後に高温放置試験や高温高湿放置試験などで特性が劣化しないものであれば限定されることなく好適に使用することができる。 具体的には、架橋点間分子量が小さい２官能エポキシ樹脂や多官能エポキシ樹脂を用いることが好ましい。 ２官能エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型又はビスフェノールＦ型液状樹脂等を使用できる。 多官能エポキシ樹脂としては、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等を使用できる。 その他、難燃性の向上を目的としてリン含有のエポキシ樹脂を使用しても良い。 エポキシ樹脂は、扁平軟磁性材料粉末１０００重量部に対して１０〜３０重量部用いる。 扁平軟磁性材料粉末１０００重量部に対して、（Ｂ）エポキシ樹脂、（Ｃ）エポキシ樹脂硬化剤、（Ｄ）硬化促進剤、（Ｅ）エポキシ基含有アクリル系共重合体、（Ｆ）分散剤、及び（Ｇ、Ｈ）リン含有化合物の樹脂合計量が、１００〜３５０重量部であることが好ましい。 １００重量部未満では、マトリクス樹脂量の低下により、ボイドの発生や機械的強度の低下が起こる。 ３５０重量部を超えると、扁平軟磁性材料粉末量が相対的に低下し、ノイズ抑制効果が低下する。 マトリクス樹脂を形成するエポキシ樹脂、硬化促進剤、エポキシ基含有アクリル系共重合体、分散剤、リン含有化合物の比率は、機械的な強度、取り扱い性や信頼性などから決められる。

本発明における（Ｃ）エポキシ樹脂硬化剤は、通常エポキシ樹脂の硬化剤に用いるものであれば限定されることなく好適に使用することができる。 アミン類、フェノール類、酸無水物類、イミダゾール類など、例えばクレゾールノボラック型フェノール樹脂等を用いることができる。 エポキシ樹脂硬化剤のエポキシ樹脂に対する割合は、エポキシ樹脂１００重量部に対し、１０〜２００重量部の範囲が好ましい。 したがって、扁平軟磁性材料粉末１０００重量部に対して、１〜６０重量部とする。 エポキシ樹脂硬化剤が１重量部より少ない場合、エポキシ樹脂の硬化が不十分となって、耐熱性が低下する傾向があり、６０重量部より多い場合は、硬化剤が過剰となって可塑剤として機能し、耐熱性が低下する傾向がある。 なお、エポキシ樹脂とエポキシ樹脂硬化剤の総量は、扁平軟磁性材料粉末１０００重量部に対して３０〜４０重量部となることが好ましい。 ３０重量部未満では、十分な機械的強度が得られない。 ４０重量部を超えると、シートを製造する際の取り扱い性が低下する。

エポキシ樹脂硬化剤には、樹脂組成物に難燃性を付与するためにリン含有エポキシ樹脂を用いても良い。 リン含有エポキシ樹脂としては、分子内にリン原子を含有する多官能エポキシ化合物が好ましい。 このような化合物としては、具体的には、リン含有エポキシ樹脂ＺＸ−１５４８−１（リン含有量：２．０重量％）、ＺＸ−１５４８−２（リン含有量：２．５重量％）、ＺＸ−１５４８−３（リン含有量：３．０重量％）、ＺＸ−１５４８−４（リン含有量：４．０重量％、以上、東都化成社製商品名）が挙げられる。 これらは単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。

本発明における（Ｄ）硬化促進剤量は、０．０３〜１．５重量部とする。 ０．０３重量部未満の場合には、硬化促進作用が現れない。 １．５重量部を超えると、硬化反応が進みやすく、硬化前の保存管理が難しくなる。 硬化促進剤としては、各種イミダゾール類を用いるのが好ましい。 イミダゾールとしては、２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾリウムトリメリテート等を使用できる。

本発明における（Ｅ）グリシジル（メタ）アクリレート２〜６重量％を含むＴｇが−１０℃以上でかつ重量平均分子量が８０万以上であるエポキシ基含有アクリル系共重合体は、エチル（メタ）アクリレートやブチル（メタ）アクリレート又は両者のユニットを有する共重合体を使用することができる。 官能基モノマーが、グリシジル（メタ）アクリレートでなく、カルボン酸タイプのアクリル酸や、水酸基タイプのヒドロキシメチル（メタ）アクリレートを用いると、架橋反応が進行しやすく、ワニス状態でのゲル化が起こりやすく好ましくない。 また、グリシジル（メタ）アクリレートの量は、２〜６重量％の共重合体比とする。 架橋反応による耐熱性向上を図るため、２重量％以上とし、ゴムのゲル化を防止するために６重量％以下とする。 エチル（メタ）アクリレートやブチル（メタ）アクリレートとの比率は、共重合体のＴｇを考慮して決定する。 Ｔｇが−１０℃未満であるとＢステージ状態での接着フィルムのタック性が大きくなり取扱性が悪化するので、−１０℃以上とする。 重合方法はパール重合、溶液重合等が挙げられ、これらにより得ることができる。 エポキシ基含有アクリル系共重合体の重量平均分子量は、シート状、フィルム状での強度や可撓性の低下が少ない８０万以上とする。 エポキシ基含有アクリル系共重合体の添加量は、４５〜２００重量部とする。 ４５重量部未満では、シート状、フィルム状での強度や可撓性が低下する。 また、エポキシ基含有アクリル系共重合体の添加量が増えると、ゴム成分の相が多くなりエポキシ樹脂相が少なくなるため、高温での取扱い性が低下するため２００重量部以下とする。

本発明においては、扁平軟磁性材料粉末の分散性を向上させるために（Ｆ）分散剤を加える。 分散剤としては、アニオン性高分子を主成分としたものがより好ましい。 アニオン性高分子を主成分とした分散剤としては、アクリル酸重合物、アクリル−マレイン酸共重合物、アクリル酸−アクリル酸エステル共重合物、カルボキシメチルセルロースなどのカルボキシル基をもつ高分子や、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、ナフタリンスルホン酸ホルマリン縮合物などのスルホン基をもつ高分子が挙げられる。 分散剤の添加量は、３〜２０重量部である。 ３重量部未満では、分散性の向上効果が小さく、２０重量部を超えると樹脂材料の特性に悪影響を及ぼし、耐熱性低下などの原因となる。

また、扁平軟磁性材料粉末表面の濡れ性を上げるためにカップリング剤を併用しても良い。 カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤を用いることができる。 添加量は、扁平軟磁性材料粉末と分散剤の添加量を考慮し、特性低下を起こさない範囲とすることが好ましい。

ハロゲンフリーで難燃性を発現するため、本発明においては、ハロゲンを含まないリン系難燃剤を必須の構成成分とし、（Ｉ）金属水酸化物と併用する。 リン系難燃剤としては、（Ｇ）有機ホスフィン酸塩化合物を使用し、（Ｈ）リン酸エステル化合物を併用することができる。 有機ホスフィン酸塩化合物と金属水酸化物との併用により良好な難燃性を得ることが出来るが、より安定した難燃性を得るためには、有機ホスフィン酸塩化合物、リン酸エステル、金属水酸化物の併用がより好ましい。 （Ｇ）有機ホスフィン酸塩としては、有機ホスフィン酸アルミニウム、有機ホスフィン酸カルシウム、有機ホスフィン酸亜鉛等があげられるが、有機ホスフィン酸アルミニウムを用いることが好ましい。 より好ましくはジアルキルホスフィン酸アルミニウムを用いるのが良い。 有機ホスフィン酸塩化合物の添加量は３０〜７０重量部とする。 ３０重量部未満では十分な難燃性が得られず、７０重量部を超えるとシートの可撓性が低下する。 また、（Ｈ）リン酸エステル化合物には、トリフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、トリキシレニルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート等のリン酸エステル系や、レゾルシノールジホスフェート等の縮合リン酸エステル等を用いることが出来る。 リン酸エステル化合物の添加量は、添加する場合には２０〜５０重量部とするのが好ましい。 ２０重量部未満では十分な難燃性が得られず、５０重量部を超えるとリン酸エステル化合物が可塑剤として機能するため耐熱性が低下する。

（Ｉ）金属水酸化物としては、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウムなどが挙げられるが、水酸化アルミニウム又は水酸化マグネシウムが好ましく、水酸化アルミニウムが特に好ましい。 金属水酸化物の添加量は５０〜９０重量部とする。 ５０重量部未満では十分な難燃性が得られず、９０重量部を超えるとシートの成形性や可撓性を低下させる要因となる。

難燃化ノイズ抑制シートの厚みは、２０〜５０μｍであることが好ましい。 ２０μｍ未満であるとシートの取り扱い性が困難であり、また、十分なノイズ抑制効果も得にくくなる。 ５０μｍを超えると厚くなり薄型電子機器への使用に適さない。

シートの製造は、（１）ワニスの製造、（２）キャリアフィルムへの塗布、（３）溶剤除去・硬化の工程を通すことで製造することができる。

ワニスの製造に関して、ワニス化の溶剤は、比較的低沸点の、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、２−エトキシエタノール、トルエン、ブチルセルソルブ、メタノール、エタノール、２−メトキシエタノールなどを用いるのが好ましい。 また、塗膜性を向上するなどの目的で、高沸点溶剤を加えても良い。 高沸点溶剤としては、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、メチルピロリドン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。 ワニスの製造は、扁平軟磁性材料粉末の分散を考慮した場合には、らいかい機、３本ロール、ホモミクサー、ビーズミル、ジェットミル、ナノマイザー等により、またこれらを組み合わせて行なうことができる。 扁平軟磁性材料粉末と低分子量物をあらかじめ混合した後、高分子量物を配合することにより、混合に要する時間を短縮することも可能となる。 また、ワニスとした後、真空脱気によりワニス中の気泡を除去することが好ましい。

キャリアフィルムへの塗布に関しては、一般的なドクターブレード法を用いることができる。 また、バーコーター、コンマコーター、ダイコーターなどの装置も使用できる。 キャリアフィルムとしては、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムなどのプラスチックフィルムが使用できる。

溶剤の除去・硬化に関しては、防爆型の加熱乾燥機、加熱乾燥炉を用いることができる。 また、溶剤の除去に伴って、シート中に気泡ができたり、シート中で扁平軟磁性材料粉末が十分に行われなかったりする場合がある。 そのようなことを防ぐためには、溶剤除去した半硬化状態のシートを加熱加圧して、充填性と配向性を向上することが好ましい。

次に実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

（実施例１）
扁平軟磁性材料粉末として、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金であるＦｅ _８５ Ａｌ _５．５ Ｓｉ _９．５の溶湯を水噴霧し、得られた粉末をアトライタで処理して、扁平軟磁性材料粉末（平均粒子径６０μｍ、平均厚み３μｍ）としたもの１０００重量部、エポキシ樹脂としてノボラックフェノール型エポキシ樹脂Ｎ−７７０（大日本インキ化学工業株式会社製、商品名）２１重量部、エポキシ樹脂硬化剤としてクレゾールノボラック型フェノール樹脂ＫＡ１１６５（大日本インキ化学工業株式会社製、商品名）１３重量部、硬化促進剤としてキュアゾール２ＰＺ−ＣＮ（１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、四国化成株式会社製、商品名）０．４重量部、エポキシ基含有アクリル系共重合体としてエポキシ基含有アクリルゴムＨＴＲ−８６０Ｐ−３（分子量１００万、ナガセケムテックス株式会社製、商品名）１００重量部、分散剤としてカルボキシル基を含む共重合体ＢＹＫ Ｐ−１０５（ビックケミー・ジャパン株式会社製、商品名）７重量部、有機ホスフィン酸塩化合物としてジアルキルホスフィン酸アルミニウムＯＰ９３０（クラリアント株式会社製、商品名）４０重量部、リン酸エステル化合物として縮合リン酸エステルＰＸ−２００（大八化学株式会社製、商品名）３４重量部、金属水酸化物として水酸化アルミニウム ハイジライトＨ−４２Ｍ（昭和電工株式会社製、商品名）６６重量部からなる組成物に、メチルエチルケトンを加えて撹拌混合し、さらにビーズミルを用いて混練し、真空脱気した。
このワニスを、厚み５０μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム上にドクターブレードを用いて塗布し、温度１２０℃で１０分間加熱乾燥して、半硬化状態のノイズ抑制シートを形成した。 このシートの表面に、さらに厚み５０μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルムを離型面がノイズ抑制シート表面に接するように重ね合わせ、温度１７０℃、圧力２ＭＰａ、３０分間、加熱加圧硬化した。 硬化したノイズ抑制シート単体の厚みを測定したところ、４０μｍであった。

（実施例２）
扁平軟磁性材料粉末として、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ−Ｎｂ−Ｃｕ系合金であるＦｅ _７３．５ Ｓｉ _１３．５ Ｂ _９ Ｎｂ _３ Ｃｕ _１の溶湯を水噴霧し、得られた粉末をアトライタで処理して得た扁平粉末（平均粒子径１００μｍ、平均厚み３μｍ）を用いた以外は、実施例１と同様にして厚み４０μｍのノイズ抑制シートを得た。

（実施例３）
扁平軟磁性材料粉末として、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｓｉ−Ｂ系合金であるＦｅ _２４ Ｃｏ _１２．５ Ｎｉ _４５．５ Ｓｉ _２ Ｂ _１６の溶湯を水噴霧し、得られた粉末をアトライタで処理して得た扁平粉末（平均粒子径８０μｍ、平均厚み３μｍ）を用いた以外は、実施例１と同様にして厚み４０μｍのノイズ抑制シートを得た。

（実施例４）
扁平軟磁性材料粉末として、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ系合金であるＦｅ _１６ Ｎｉ _７９．５ Ｍｏ _５の溶湯を水噴霧し、得られた粉末をアトライタで処理して得た扁平粉末（平均粒子径６０μｍ、平均厚み３μｍ）を用いた以外は、実施例１と同様にして厚み４０μｍのノイズ抑制シートを得た。

（実施例５）
扁平軟磁性材料粉末とし、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金であるＦｅ _８５ Ａｌ _５．５ Ｓｉ _９．５の溶湯を水噴霧し、得られた粉末をアトライタで処理して、扁平軟磁性材料粉末（平均粒子径６０μｍ、平均厚み３μｍ）としたもの１０００重量部、エポキシ樹脂としてノボラックフェノール型エポキシ樹脂Ｎ−７７０（大日本インキ化学工業株式会社製、商品名）２１重量部、エポキシ樹脂硬化剤としてクレゾールノボラック型フェノール樹脂ＫＡ１１６５（大日本インキ化学工業株式会社製、商品名）１３重量部、硬化促進剤としてキュアゾール２ＰＺ−ＣＮ（１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、四国化成株式会社製、商品名）０．４重量部、エポキシ基含有アクリル系共重合体としてエポキシ基含有アクリルゴムＨＴＲ−８６０Ｐ−３（分子量１００万、ナガセケムテックス株式会社製、商品名）１３５重量部、分散剤としてカルボキシル基を含む共重合体ＢＹＫ Ｐ−１０５（ビックケミー・ジャパン株式会社製、商品名）７重量部、有機ホスフィン酸塩化合物としてジアルキルホスフィン酸アルミニウムＯＰ９３０（クラリアント株式会社製、商品名）４０重量部、金属水酸化物として水酸化アルミニウム ハイジライトＨ−４２Ｍ（昭和電工株式会社製、商品名）６６重量部からなる組成物に、メチルエチルケトンを加えて撹拌混合し、さらにビーズミルを用いて混練し、真空脱気した。
このワニスを、厚み５０μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム上にドクターブレードを用いて塗布し、温度１２０℃で１０分間加熱乾燥して、半硬化状態のノイズ抑制シートを形成した。 このシートの表面に、さらに厚み５０μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルムを離型面がノイズ抑制シート表面に接するように重ね合わせ、温度１７０℃、圧力２ＭＰａ、３０分間、加熱加圧硬化した。 硬化したノイズ抑制シート単体の厚みを測定したところ、４０μｍであった。

（比較例１）
扁平軟磁性材料粉末とし、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金であるＦｅ _８５ Ａｌ _５．５ Ｓｉ _９．５の溶湯を水噴霧し、得られた粉末をアトライタで処理して、扁平軟磁性材料粉末（平均粒子径６０μｍ、平均厚み３μｍ）としたもの１０００重量部、エポキシ樹脂としてノボラックフェノール型エポキシ樹脂Ｎ−７７０（大日本インキ化学工業株式会社製、商品名）１５重量部、エポキシ樹脂硬化剤としてクレゾールノボラック型フェノール樹脂ＫＡ１１６５（大日本インキ化学工業株式会社製、商品名）９．３重量部、硬化促進剤としてキュアゾール２ＰＺ−ＣＮ（１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、四国化成株式会社製、商品名）０．２９重量部、エポキシ基含有アクリル系共重合体としてエポキシ基含有アクリルゴムＨＴＲ−８６０Ｐ−３（分子量１００万、ナガセケムテックス株式会社製、商品名）７１．４重量部、分散剤としてカルボキシル基を含む共重合体BYK Ｐ−１０５（ビックケミー・ジャパン株式会社製、商品名）７．１重量部、有機ホスフィン酸塩化合物としてジアルキルホスフィン酸アルミニウムＯＰ９３０（クラリアント株式会社製、商品名）２８．６重量部、リン酸エステルとして縮合リン酸エステルＰＸ−２００（大八化学株式会社製、商品名）２１．４重量部、金属水酸化物として水酸化アルミニウム ハイジライトＨ−４２Ｍ（昭和電工株式会社製、商品名）４７．１重量部からなる組成物に、メチルエチルケトンを加えて撹拌混合し、さらにビーズミルを用いて混練し、真空脱気した。
このワニスを、厚み５０μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム上にドクターブレードを用いて塗布し、温度１２０℃で１０分間加熱乾燥して、半硬化状態のノイズ抑制シートを形成した。 このシートの表面に、さらに厚み５０μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルムを離型面がノイズ抑制シート表面に接するように重ね合わせ、温度１７０℃、圧力２ＭＰａ、３０分間、加熱加圧硬化した。 硬化したノイズ抑制シート単体の厚みを測定したところ、４０μｍであった。

（比較例２）
扁平軟磁性材料粉末とし、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金であるＦｅ _８５ Ａｌ _５．５ Ｓｉ _９．５の溶湯を水噴霧し、得られた粉末をアトライタで処理して、扁平軟磁性材料粉末（平均粒子径６０μｍ、平均厚み３μｍ）としたもの１０００重量部、エポキシ樹脂としてノボラックフェノール型エポキシ樹脂Ｎ−７７０（大日本インキ化学工業株式会社製、商品名）２１重量部、エポキシ樹脂硬化剤としてクレゾールノボラック型フェノール樹脂ＫＡ１１６５（大日本インキ化学工業株式会社製、商品名）１３重量部、硬化促進剤としてキュアゾール２ＰＺ−ＣＮ（１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、四国化成株式会社製、商品名）０．４重量部、エポキシ基含有アクリル系共重合体としてエポキシ基含有アクリルゴムＨＴＲ−８６０Ｐ−３（分子量１００万、ナガセケムテックス株式会社製、商品名）２２０重量部、分散剤としてカルボキシル基を含む共重合体BYK Ｐ−１０５（ビックケミー・ジャパン株式会社製、商品名）７重量部、有機ホスフィン酸塩化合物としてジアルキルホスフィン酸アルミニウムＯＰ９３０（クラリアント株式会社製、商品名）４０重量部、リン酸エステルとして縮合リン酸エステルＰＸ−２００（大八化学株式会社製、商品名）３４重量部、金属水酸化物として水酸化アルミニウム ハイジライトＨ−４２Ｍ（昭和電工株式会社製、商品名）６６重量部からなる組成物に、メチルエチルケトンを加えて撹拌混合し、さらにビーズミルを用いて混練し、真空脱気した。
このワニスを、厚み５０μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム上にドクターブレードを用いて塗布し、温度１２０℃で１０分間加熱乾燥して、半硬化状態のノイズ抑制シートを形成した。 このシートの表面に、さらに厚み５０μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルムを離型面がノイズ抑制シート表面に接するように重ね合わせ、温度１７０℃、圧力２ＭＰａ、３０分間、加熱加圧硬化した。 硬化したノイズ抑制シート単体の厚みを測定したところ、４０μｍであった。

（比較例３）
扁平軟磁性材料粉末とし、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金であるＦｅ _８５ Ａｌ _５．５ Ｓｉ _９．５の溶湯を水噴霧し、得られた粉末をアトライタで処理して、扁平軟磁性材料粉末（平均粒子径６０μｍ、平均厚み３μｍ）としたもの１０００重量部、エポキシ樹脂としてノボラックフェノール型エポキシ樹脂Ｎ−７７０（大日本インキ化学工業株式会社製、商品名）２１重量部、エポキシ樹脂硬化剤としてクレゾールノボラック型フェノール樹脂ＫＡ１１６５（大日本インキ化学工業株式会社製、商品名）１３重量部、硬化促進剤としてキュアゾール２ＰＺ−ＣＮ（１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、四国化成株式会社製、商品名）０．４重量部、エポキシ基含有アクリル系共重合体としてエポキシ基含有アクリルゴムＨＴＲ−８６０Ｐ−３（分子量１００万、ナガセケムテックス株式会社製、商品名）１００重量部、分散剤としてカルボキシル基を含む共重合体BYK Ｐ−１０５（ビックケミー・ジャパン株式会社製、商品名）７重量部、有機ホスフィン酸塩化合物としてジアルキルホスフィン酸アルミニウムＯＰ９３０（クラリアント株式会社製、商品名）１０３重量部、リン酸エステルとして縮合リン酸エステルＰＸ−２００（大八化学株式会社製、商品名）３４重量部、金属水酸化物として水酸化アルミニウム ハイジライトＨ−４２Ｍ（昭和電工株式会社製、商品名）８４重量部からなる組成物に、メチルエチルケトンを加えて撹拌混合し、さらにビーズミルを用いて混練し、真空脱気した。
このワニスを、厚み５０μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム上にドクターブレードを用いて塗布し、温度１２０℃で１０分間加熱乾燥して、半硬化状態のノイズ抑制シートを形成した。 このシートの表面に、さらに厚み５０μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルムを離型面がノイズ抑制シート表面に接するように重ね合わせ、温度１７０℃、圧力２ＭＰａ、３０分間、加熱加圧硬化した。 硬化したノイズ抑制シート単体の厚みを測定したところ、４０μｍであった。

実施例・比較例で作製したノイズ抑制シートについて、下記に示す方法により評価した。 結果を表１に示す。

（電磁波吸収性）
シールド効果評価器（株式会社アドバンテスト製、ＴＲ１７３０１Ａ）を用い、１０ＭＨｚの磁性シールド特性を測定し、電磁波減衰量が２ｄＢ以上のものを良好（○）、２ｄＢ未満のものを不良（×）とした。 尚、プローブは磁界プローブを用いた。

（難燃性）
ＵＬ９４垂直燃焼試験に準じて行い、分類が９４ＶＴＭ−０又は９４ＶＴＭ−１のものを良好（○）、それ以外を不良（×）とした。

（成形性）
外観、手触りからシートの成形性を判断した。 ざらつきの無いもの、フィラー類の脱落が無いものを良好（○）、それ以外を不良とした（×）。

（可撓性）
シートを二つ折りにし、亀裂や破断の無いものを良好（○）、それ以外を不良（×）とした。

（信頼性）
８５℃−８５％ＲＨの高温高湿槽に１６８時間処理し、そのシートを１２０℃で６０分脱湿乾燥した。 処理前の引張り試験結果と照らし合わせ、機械的強度の低下（伸び低下、破断強度低下）の割合が５０％未満のものを良好（○）、それ以外を不良（×）とした。

表１に示すように、実施例１〜５で作製したノイズ抑制シートは、いずれも電磁波吸収特性、難燃性、成形性、可撓性、信頼性で良好な値を示した。 これより、本発明におけるノイズ抑制シートが電気的だけでなく機械的にも優れた特性・信頼性を有するものであることが分かる。 比較例１では、軟磁性材料粉末の添加量が相対的に多いために成形性、可撓性が低下、及び特に機械的性質の低下による信頼性が低下した。 比較例２では可燃性成分であるアクリルゴム量が多いのに対して難燃剤が不足し、難燃性が低下した。 比較例３では難燃剤の添加量が多すぎるために電磁波吸収特性、成形性、可撓性、信頼性が低下した。