专利汇可以提供一种基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种基于片上冲击强度检测试验机利用 电流 变化检测微结构冲击碰撞应 力 波脉宽和峰值方法。该试验机实现了即时的微结构冲击强度测试,利用热驱执行器实现自加载和卸载,排除人为偶然因素,极大地提高了测试准确度,同时利用热驱执行器和V型放大杠杆可以获得大冲击和大冲击脉宽。同时基于该新型试验机提出的测试方法通过同次 光刻 同次 刻蚀 释放保证片上试验机的被测样品和实际工作的功能器件具有一致的冲击强度,排除了工艺误差带来的干扰。该方法针对不同尺寸的测试样品,通过调整试验机中冲击 质量 块 以及柔性长梁尺寸保证试验机能够产生高强度的冲击 载荷 。该方法在获取冲击断裂 加速 度时,通过记录实际断裂加载挠度,利用商业ansys 软件 建立力学模型,随后将容易记录的加载位移代入力学模型来获取难以测量的冲击加速度和产生的 应力 峰值。,下面是一种基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值方法专利的具体信息内容。
1.一种基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值的方法,包括下述步骤:
1)选择标准SOG(silicon on glass)体硅工艺和标准压阻工艺流程制作片上试验机、测试样品、测试样品压阻区域和功能器件,注意片上试验机、测试样品应和功能器件在同一微单元内;
2)将电源和电流测试仪器与片上冲击试验机的可动部件和被测试样品串联形成测试电路,此时测试电路处于开路状态,电流大小为零;
3)利用片上冲击试验机进行冲击试验,加载强度从小到大,直至测试样品被冲击破坏,记录每次冲击试验中产生的电流脉冲图形;
4)测量测试样品冲击破坏前一加载情况下电流脉冲图形的峰值和脉冲宽度,其脉冲宽度则为应力波作用脉宽,同时利用压阻公式,通过电流脉冲峰值计算应力波峰值大小。
2.如权利要求1所述的基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值的方法,其特征在于步骤1)中,标准SOG体硅工艺包括三次光刻,两次等离子刻蚀,两次金属溅射和一次硅玻璃键合,其中功能器件、片上试验机和被测样品结构图形在同一次光刻形成,其结构在同一次刻蚀中释放。
3.如权利要求1所述的基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值的方法,其特征在于,步骤1)中,压阻工艺包括一次光刻,一次离子注入,一次热退火。
4.如权利要求1所述的基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值的方法,其特征在于,步骤1)中,压阻工艺在标准体硅工艺完成硅玻璃键合后,先于结构层图形定义进行样品压阻区域制作。
5.如权利要求1所述的基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值的方法,其特征在于,步骤1)中,制作的片上冲击试验机为能实现片上冲击碰撞试验装置,其一般组成部分为冲击块,储能弹簧及锁扣。
6.如权利要求1所述的基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值的方法,其特征在于,步骤4)中,利用电流回路和压阻模型,将电流脉宽和峰值转换为应力波脉宽和峰值。
构冲击碰撞应力波脉宽和峰值方法
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