Magnetic recording medium
专利汇可以提供Magnetic recording medium专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且PURPOSE: To obtain a magnetic recording medium having high coercive force, decreased squareness ratio of the coercive force and improved S/N of recording and reproducing characteristics.
CONSTITUTION: A CoCrTa/Cr film with addition of 1-12at.% V is formed on a NiP/Al substrate by RF magnetron sputtering method. With addition of V, the squareness ratio of coercive force is decreased while the high coercive force of the CoCrTa film is maintained.
COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio，下面是Magnetic recording medium专利的具体信息内容。
以下である請求項１記載の磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハ―ド磁気ディスク用の長手薄膜媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ハ―ド磁気ディスク用の高密度記録媒体として、塗布媒体に代わってスパッタ法による金属薄膜媒体が現在主流となってきている。 この薄膜媒体は高密度記録を実現するため、高出力、高記録密度特性および高Ｓ／Ｎ等が要求され、媒体の磁気特性で保磁力を高く、かつ保磁力の角形比を小さくする必要がある。 そこで、上記のような良好な特性を得るため、従来ＣｏＮｉ
Ｃｒ／Ｃｒ媒体においてＣｒ下地膜の膜厚を厚くしたり（IEEE Trans. Magn. ， 24 ，p2727-，1988）、ＣｏＰｔ
Ｃｒ／Ｃｒ媒体においてＣｏＰｔＣｒ膜を高Ａｒガス圧で作製すること（IEEE Trans. Magn. ， 26 ，p1578-，19
90）が行われてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来のスパッタ法による薄膜媒体作製技術において、媒体の保磁力、保磁力の角形比は良好なレベルにあるが、更に超高記録密度の実現のためにそれらを改善する必要がある。 本発明の目的は、更に超高記録密度実現のため、媒体の保磁力が高く、かつ保磁力の角形比が低い磁気記録媒体を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上にＣｒ
よりなる下地膜とＣｏ系合金膜よりなる磁性膜とが形成された長手薄膜媒体において、磁性膜がＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元素としてＶを添加したものよりなることを特徴とする磁気記録媒体である。 ここでＶの添加量は１
ａｔ％以上，１２ａｔ％以下であることが好ましい。
【０００５】
【作用】本発明によれば、ＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元素としてＶを添加することにより、高保磁力で、かつ保磁力の角形比の低い磁気記録媒体が得られる。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマグネトロン方式のスパッタ装置にて行った。 タ−ゲットは下地膜用として３ＮのＣｒタ−ゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴ
ａ（１２ａｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ）合金タ−ゲット上にＶチップを置く複合タ−ゲットをそれぞれ用いた。 また、基板はテクスチャ溝つき（表面粗さＲ max ＝４００
オングストロ―ム）のＮｉＰ／Ａｌ基板を用いた。 まず、本実施例のスパッタ条件を表１に示す。 ここで、磁性膜でＶの添加量はＣｏＣｒＴａ合金タ−ゲット上に置くＶチップの個数により変化させた。 このようにして作製した種々のＶ組成のＣｏＣｒＴａＶ／Ｃｒ媒体について、ＶＳＭにより磁気特性を測定した。 その結果を図１
に示す。 なお、組成はＥＰＭＡにより分析を行った。 図１から本発明のＶ添加媒体は、Ｖ添加なしの従来媒体と比較して保磁力（Ｈｃ）がほぼ同じ約１，５００ Ｏｅ
の高い値で、保磁力の角形比（Ｓ * ）が約０．１低い値となることがわかった。
【０００７】
【表１】
【０００８】次に、本発明媒体の記録再生特性について述べる。 本発明の媒体はＶ添加量を５ａｔ％とし、比較のためＶ添加無しの従来媒体も作製した。 なお、これら記録再生用の媒体はＣｏＣｒＴａＶ成膜後に保護膜として３００オングストロ―ム厚のカ―ボンを成膜した。 表２に磁気特性（保磁力：Ｈｃ，角形比：Ｓ * ）および記録再生特性（孤立波再生出力：Ｖ，記録密度：Ｄ，Ｓ／
Ｎ）の評価結果を示す。 これらから本発明の媒体は従来媒体と比較して記録再生特性で特にＳ／Ｎが改善されていることがわかる。
【０００９】
【表２】
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＶ添加媒体は、従来媒体と比較して磁気特性で高保磁力を保ちつつ、保磁力の角形比を低くすることが可能となり、記録再生特性で特にＳ／Ｎが改善された。
【図１】保磁力（Ｈｃ）および保磁力の角形比（Ｓ * ）
について、ＣｏＣｒＴａ膜のＶ添加量依存性を示した図である。
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