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一种提高碳化硅半导体欧姆接触特性的方法 | 2020-05-25 | 578 |
溅射装置 | 2020-05-25 | 478 |
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双源ECR等离子体源装置 | 2020-05-25 | 919 |
电子回旋管阳极高压电源 | 2020-05-25 | 790 |
用化学机械抛光的平整步骤制造半导体器件的方法 | 2020-05-26 | 142 |
用化学机械抛光的平整步骤制造半导体器件的方法 | 2020-05-26 | 83 |
一种同位素质谱仪 | 2020-05-23 | 296 |
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过热氢交联反应的原子激发装置 | 2020-05-24 | 344 |
ECR-PEMOCVD系统对InN/GaN/自支撑金刚石膜结构的制备方法 | 2020-05-24 | 936 |
通过从等离子体沉积形成膜的装置 | 2020-05-24 | 687 |
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通过从等离子体沉积形成膜的方法和设备 | 2020-05-24 | 890 |
一种半导体激光器的镀膜方法及半导体激光器 | 2020-05-25 | 185 |
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Ⅲ族类氮化物半导体器件及其制造方法 | 2020-05-26 | 1010 |
薄膜形成方法及半导体发光元件的制造方法 | 2020-05-26 | 440 |
模拟三维非对称磁重联的等离子体模拟装置及其实现方法 | 2020-05-23 | 685 |
过热氢交联反应的原子激发装置 | 2020-05-25 | 79 |
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一种电子回旋共振离子源 | 2020-05-12 | 592 |
一种电子回旋共振离子源 | 2020-05-12 | 761 |
电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置 | 2020-05-11 | 868 |
用于处理玻璃基片或晶片的电子回旋共振除灰装置 | 2020-05-17 | 752 |
电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置 | 2020-05-11 | 179 |
一种微波电子回旋共振等离子体源电磁线圈 | 2020-05-13 | 919 |
微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备 | 2020-05-14 | 911 |
一种电子回旋共振加热毫米波发射器 | 2020-05-12 | 650 |
具有渐变带隙的无定形膜通过电子回旋共振的膜沉积 | 2020-05-18 | 776 |
一种基于回旋共振及电子溯源的信息识别系统及方法 | 2020-05-15 | 840 |
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