微机电系统
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| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
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| 一种基于模态局部化效应的四自由度弱耦合谐振式加速度计 | 2020-05-11 | 560 |
| 微机电系统声学换能器管芯 | 2020-05-11 | 316 |
| 微机电系统惯性测量单元自动校准系统及其校准验证方法 | 2020-05-11 | 529 |
| 一种用于薄膜微流控芯片键合的PDMS基片底座制作方法 | 2020-05-08 | 771 |
| 纳米多孔硅凸透镜组的制备方法 | 2020-05-08 | 816 |
| 一种微机电系统的硅片及其制备方法 | 2020-05-11 | 378 |
| 微机电系统传感器的封装方法和封装结构 | 2020-05-08 | 1002 |
| 一种基于光纤的等强度多焦点衍射透镜 | 2020-05-08 | 883 |
| 具有堆叠的IC的对称压阻压力传感器 | 2020-05-11 | 621 |
| 带有MEMS质量传感器的医用介入器械 | 2020-05-11 | 158 |
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