1.一种稳定的环烯烃组合物，所述组合物包含：
一种或多种环烯烃，和
至少一种式(I)稳定剂化合物，
式(I)R1，R2，R3，R4，R5(C6)OH
其中R1至R5可以各自独立是H，OH，C1-C8直链、支链或环状 烷基，C1-C8直链、支链或环状烷氧基或者取代或未被取代的芳基； 且
其中所述稳定剂化合物的量为200ppm以上-20,000ppm，其中所 述稳定剂化合物具有低于265℃的沸点。
2.权利要求1的组合物，其中所述稳定剂化合物是至少一种选自 下列的化合物：苯酚、4-甲基苯酚、3-甲基苯酚、2-甲基苯酚、4-乙基 苯酚、4-丙基苯酚、4-异丙基苯酚、4-丁基苯酚、4-仲丁基苯酚、4- 异丁基苯酚、4-叔丁基苯酚、4-甲氧基苯酚、3-甲氧基苯酚、2-甲氧基 苯酚、4-乙氧基苯酚、2-(1-甲基丁基)苯酚、2-叔丁基-6-甲基苯酚、1，2- 二羟基苯及其混合物。
3.权利要求2的组合物，其中所述稳定剂化合物是4-甲氧基苯酚。
4.权利要求1的组合物，其中稳定剂化合物的量为500ppm-约 10,000ppm。
5.权利要求1的组合物，其中稳定剂化合物的量为1000ppm-5000 ppm。
6.权利要求1的组合物，其中稳定剂化合物的量为3000ppm-5000 ppm。
7.权利要求1的组合物，其中所述环烯烃具有通式CnH2n-2x-yRy， 其中n是整数4-18，x是整数且其中1≤x≤n/2，y是整数且其中0≤y≤ 2n-2x，R是至少一种选自下列的成分：C1-C18直链、支链、不饱和或 环状烷基，C1-C18直链、支链、不饱和或环状烷氧基，取代或未被取 代的芳基，或者含被取代硅的取代基。
8.权利要求1的组合物，其中所述环烯烃具有通式CnH2n-(2x+2)-yRy， 其中n是整数5-18，x是整数且其中x≤n/2，y是整数且其中0≤y≤ 2n-(2x+2)，R是至少一种选自下列的成分：C1-C18直链、支链、不饱和 或环状烷基，C1-C18直链、支链、不饱和或环状烷氧基，取代或未被 取代的芳基，或者含被取代硅的取代基。
9.权利要求1的组合物，其中所述环烯烃具有通式CnH2n-(2x+2)-yRy， 其中n是整数7-18，x是整数且其中x≤n/2，y是整数且其中0≤y≤ 2n-(2x+4)，R是至少一种选自下列的成分：C1-C18直链、支链、不饱和 或环状烷基，C1-C18直链、支链、不饱和或环状烷氧基，取代或未被 取代的芳基，或者含被取代硅的取代基。
10.权利要求1的组合物，其中所述环烯烃是至少一种选自下列的 化合物：二戊烯、水芹烯、二环戊二烯、α-萜品烯、γ-萜品烯、柠檬 烯、α蒎烯、3-蒈烯、萜品油烯、降冰片烯、降冰片二烯、5-乙烯基-2- 降冰片烯和5-亚乙基-2-降冰片烯。
11.权利要求1的组合物，其中所述环烯烃是至少一种选自下列的 化合物：二戊烯、水芹烯、二环戊二烯、α-萜品烯、γ-萜品烯、柠檬 烯、α蒎烯、3-蒈烯、萜品油烯、降冰片烯、降冰片二烯、5-乙烯基-2- 降冰片烯和5-亚乙基-2-降冰片烯，其中所述稳定剂化合物是4-甲氧基 苯酚。
12.权利要求1的组合物，其中使用两种或多种式(I)的稳定剂化合 物，
式(I)R1，R2，R3，R4，R5(C6)OH
其中R1至R5可以各自独立是H，OH，C1-C8直链、支链或环状 烷基，C1-C8直链、支链或环状烷氧基或者取代或未被取代的芳基； 且
其中至少一种稳定剂化合物的量为200ppm以上-20,000ppm。
13.权利要求1的组合物，所述组合物具有选自硝酰基类、取代的 硝酰基类、二苯甲酮、取代的二苯甲酮及其混合物的第二种稳定剂化 合物。
14.权利要求1的组合物，其中将组合物包含在具有至少一种选自 氦气、氮气、氖气、氩气、氪气、氙气、二氧化碳及其混合物的气体 的包装内。
15.一种稳定环烯烃的方法，包括将至少一种式(I)的稳定剂化合 物加入所述环烯烃内，
式(I)R1，R2，R3，R4，R5(C6)OH
其中R1至R5可以各自独立是H，OH，C1-C8直链、支链或环状 烷基，C1-C8直链、支链或环状烷氧基或者取代或未被取代的芳基，
其中稳定剂化合物的量为200ppm以上-20,000ppm，其中所述稳 定剂化合物具有低于265℃的沸点。
16.权利要求15的方法，其中所述稳定剂化合物是至少一种选自 下列的化合物：苯酚、4-甲基苯酚、3-甲基苯酚、2-甲基苯酚、4-乙基 苯酚、4-丙基苯酚、4-异丙基苯酚、4-丁基苯酚、4-仲丁基苯酚、4- 异丁基苯酚、4-叔丁基苯酚、4-甲氧基苯酚、3-甲氧基苯酚、2-甲氧基 苯酚、4-乙氧基苯酚、2-(1-甲基丁基)苯酚、2-叔丁基-6-甲基苯酚、1，2- 二羟基苯及其混合物。
17.权利要求16的方法，其中稳定剂化合物是4-甲氧基苯酚。
18.权利要求15的方法，其中所述环烯烃具有通式CnH2n-2x-yRy， 其中n是整数4-18，x是整数且其中1≤x≤n/2，y是整数且其中0≤y≤ 2n-2x，R是至少一种选自下列的成分：C1-C18直链、支链、不饱和或 环状烷基，C1-C18直链、支链、不饱和或环状烷氧基，取代或未被取 代的芳基，或者含被取代硅的取代基。
19.权利要求15的方法，其中所述环烯烃具有通式CnH2n-(2x+2)-yRy， 其中n是整数5-18，x是整数且其中x≤n/2，y是整数且其中0≤y≤2n- (2x+2)，R是至少一种选自下列的成分：C1-C18直链、支链、不饱和或 环状烷基，C1-C18直链、支链、不饱和或环状烷氧基，取代或未被取 代的芳基，或者含被取代硅的取代基。
20.权利要求15的方法，其中所述环烯烃具有通式CnH2n-(2x+2)-yRy， 其中n是整数7-18，x是整数且其中x≤n/2，y是整数且其中0≤y≤2n- (2x+4)，R是至少一种选自下列的成分：C1-C18直链、支链、不饱和或 环状烷基，C1-C18直链、支链、不饱和或环状烷氧基，取代或未被取 代的芳基，或者含被取代硅的取代基。
21.权利要求15的方法，其中所述环烯烃是至少一种选自下列的 化合物：二戊烯、水芹烯、二环戊二烯、α-萜品烯、γ-萜品烯、柠檬 烯、α蒎烯、3-蒈烯、萜品油烯、降冰片烯、降冰片二烯、5-乙烯基-2- 降冰片烯、5-亚乙基-2-降冰片烯及其混合物。
22.权利要求15的方法，其中所述环烯烃是至少一种选自下列的 化合物：二戊烯、水芹烯、二环戊二烯、α-萜品烯、γ-萜品烯、柠檬 烯、α蒎烯、3-蒈烯、萜品油烯、降冰片烯、降冰片二烯、5-乙烯基-2- 降冰片烯和5-亚乙基-2-降冰片烯，其中所述稳定剂化合物是4-甲氧基 苯酚。
23.权利要求15的方法，其中稳定剂化合物的范围是500-10,000 ppm。
24.权利要求15的方法，其中稳定剂化合物的范围是1000-5000 ppm。
25.权利要求15的方法，其中稳定剂化合物的范围是3000-5000 ppm。
26.一种在衬底上形成掺碳氧化硅层的方法，所述方法包括下列 步骤：
提供环烯烃组合物、含硅化合物和衬底；和
在衬底上形成掺碳氧化硅层，其中所述环烯烃组合物包含：
一种或多种环烯烃；和
至少一种式(I)的稳定剂化合物：
式(I)R1，R2，R3，R4，R5(C6)OH
其中R1至R5可以各自独立是H，OH，C1-C8直链、支链或环状 烷基，C1-C8直链、支链或环状烷氧基或者取代或未被取代的芳基， 且
其中稳定剂化合物的浓度为200ppm以上-20,000ppm，且
其中所述稳定剂化合物具有低于265℃的沸点。
27.权利要求26的方法，还包括下列步骤：
提供在第一个容器内的所述环烯烃组合物，在第二个容器内的所 述含硅化合物，膜沉积工具，在所述膜沉积工具内的膜沉积室，将所 述环烯烃组合物和所述含硅化合物吹扫通过连接设备、进入膜沉积室 内的载气流，其中所述衬底位于所述膜沉积工具的所述膜沉积室内；
使所述第一个和第二个容器与所述膜沉积工具中的所述膜沉积 室连接；
将所述环烯烃组合物和所述含硅化合物的蒸汽引入所述载气流 内；和
将所述环烯烃组合物和所述含硅化合物的所述蒸汽转运入所述 膜沉积室内。
28.权利要求27的方法，其中所述环烯烃具有通式CnH2n-(2x+2)-yRy， 其中n是整数4-18，x是整数且其中1≤x≤n/2，y是整数且其中0≤y≤ 2n-2x，R是至少一种选自下列的成分：C1-C18直链、支链、不饱和或 环状烷基，C1-C18直链、支链、不饱和或环状烷氧基，取代或未被取 代的芳基，或者含被取代硅的取代基。
29.权利要求27的方法，其中所述环烯烃具有通式CnH2n-(2x+2)-yRy， 其中n是整数5-18，x是整数且其中x≤n/2，y是整数且其中0≤y≤2n- (2x+2)，R是至少一种选自下列的成分：C1-C18直链、支链、不饱和或 环状烷基，C1-C18直链、支链、不饱和或环状烷氧基，取代或未被取 代的芳基，或者含被取代硅的取代基。
30.权利要求27的方法，其中所述环烯烃具有通式CnH2n-(2x+2)-yRy， 其中n是整数7-18，x是整数且其中x≤n/2，y是整数且其中0≤y≤2n- (2x+4)，R是至少一种选自下列的成分：C1-C18直链、支链、不饱和或 环状烷基，C1-C18直链、支链、不饱和或环状烷氧基，取代或未被取 代的芳基，或者含被取代硅的取代基。
31.权利要求27的方法，其中所述环烯烃是至少一种选自下列的 化合物：二戊烯、水芹烯、二环戊二烯、α-萜品烯、γ-萜品烯、柠檬 烯、α蒎烯、3-蒈烯、萜品油烯、降冰片烯、降冰片二烯、5-乙烯基-2- 降冰片烯、5-亚乙基-2-降冰片烯及其混合物。
32.权利要求27的方法，其中所述稳定剂化合物是至少一种选自 下列的化合物：苯酚、4-甲基苯酚、3-甲基苯酚、2-甲基苯酚、4-乙基 苯酚、4-丙基苯酚、4-异丙基苯酚、4-丁基苯酚、4-仲丁基苯酚、4- 异丁基苯酚、4-叔丁基苯酚、4-甲氧基苯酚、3-甲氧基苯酚、2-甲氧基 苯酚、4-乙氧基苯酚、2-(1-甲基丁基)苯酚、2-叔丁基-6-甲基苯酚、1，2- 二羟基苯、2，4-二叔丁基苯酚、2，6-二叔丁基-4-甲基苯酚(BHT)、1，3- 二羟基苯、氢醌、2-(苄氧基)苯酚、3，4，5-三甲氧基苯酚、3-乙氧基-4- 甲基苯酚、4-苄氧基苯酚、4-苄基-2，6-二叔丁基苯酚、2-(2-丁烯基)苯 酚、4-丙氧基苯酚、4-丁氧基苯酚、2-(4-甲基苄基)苯酚、2，4，6-三苄氧 基苯酚、2，4-二环己基-5-甲基苯酚、6-叔丁基-1，2-二羟基苯及其混合 物。
33.权利要求32的方法，其中所述稳定剂化合物是4-甲氧基苯酚。
34.权利要求27的方法，其中所述环烯烃是至少一种选自下列的 化合物：二戊烯、水芹烯、二环戊二烯、α-萜品烯、γ-萜品烯、柠檬 烯、α蒎烯、3-蒈烯、萜品油烯、降冰片烯、降冰片二烯、5-乙烯基-2- 降冰片烯和5-亚乙基-2-降冰片烯，其中所述稳定剂化合物是4-甲氧基 苯酚。
35.权利要求34的组合物，其中稳定剂化合物的范围是 500-10,000ppm。
36.权利要求34的组合物，其中稳定剂化合物的范围是1000-5000 ppm。
37.权利要求34的组合物，其中稳定剂化合物的范围是3000-5000 ppm。