搬送システム

本発明は、搬送システムに関する。

従来の搬送システムとして、例えば特許文献1に記載されたものが知られている。特許文献1に記載の搬送システムでは、搬送車の種類に応じて、複数のエリアのうち、搬送車が走行可能なエリアを走行エリアとして設定し、設定された走行エリア以外のエリアには搬送車が進入しないように制御している。

特開2010−67028号公報

上記従来のシステムのように、複数種類の搬送台車が同一の軌道を複数のエリアにわたって走行する場合には、進入を許容していないエリアに誤って搬送台車が進入してしまうおそれがある。搬送台車が進入の許可されていないエリアに進入した場合、その搬送台車の進入を想定して設計されていないエリアでは、搬送台車と装置とが干渉するおそれがある。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、搬送台車の誤進入を防止できる搬送システムを提供することを目的とする。

本発明の一側面に係る搬送システムは、複数のエリアにわたって敷設された軌道と、軌道に沿って走行する第1の搬送台車と、軌道に沿って走行すると共に、第1の搬送台車と幅及び高さの少なくとも一方が異なる第2の搬送台車と、第1の搬送台車及び第2の搬送台車のうちの一方の搬送台車に設けられ、他方の搬送台車と走行方向において重ならない位置に配置されると共に、前方の障害物を検出するセンサと、複数のエリアのうち他方の搬送台車のみの進入を許容する特定のエリアへの進入領域において、他方の搬送台車の特定のエリアへの進入を許容する位置で且つ一方の搬送台車に設けられたセンサにより検出される位置に配置された被検出部材と、を備えることを特徴とする。

この搬送システムでは、第1の搬送台車と、第1搬送台車と幅及び高さの少なくとも一方の異なる第2の搬送台車とを備えている。第1の搬送台車及び第2の搬送台車のうちの一方の搬送台車には、前方の障害物を検出するセンサが設けられており、このセンサは、複数のエリアのうち他方の搬送台車のみの進入を許容する特定のエリアへの進入領域において、他方の搬送台車の特定のエリアへの進入を許容する位置に配置された被検出部材を検出する。これにより、搬送システムでは、特定のエリアへの進入が許容されてない一方の搬送台車は、センサにより被検出部材を検出することで、進入が許容されていないエリアを認識できる。したがって、搬送システムでは、搬送台車の誤進入を防止できる。

一実施形態においては、軌道は、天井又は天井近傍に敷設された天井軌道であり、第1及び第2の搬送台車は、天井軌道から吊り下げられて走行する懸垂式の台車であり、一方の搬送台車は、他方の搬送台車よりも高さ寸法が大きくされており、センサは、一方の搬送台車において、他方の搬送台車の下端部から所定高さだけ下の範囲内に配置されていてもよい。これにより、搬送システムでは、一方の搬送台車において他の搬送台車とは重ならない位置にセンサが配置されるため、被検出部材を他の搬送台車と接触しない位置に配置できる。また、懸垂式の台車(天井搬送車)を備える搬送システムでは、特定のエリアにおいて床に設定された装置と一方の搬送台車との接触を防止できる。

一実施形態においては、一方の搬送台車に設けられ、被検出部材と接触する位置に配置されると共に、被検出部材との接触を検出する接触センサを備えていてもよい。これにより、搬送システムでは、万が一センサにより被検出部材を検出できなかった場合であっても、接触センサによる被検出部材の検出により、一方の搬送台車の誤進入を防止できる。したがって、搬送システムでは、的確にフェールセーフを図ることができる。

一実施形態においては、被検出部材は、特定のエリアへの進入領域に進入していない位置では一方の搬送台車に設けられたセンサにより検出されない位置に配置されていることが好ましい。これにより、搬送システムでは、特定のエリアの近傍を走行する一方の搬送台車のセンサが被検出部材を検出することを防止できる。したがって、搬送システムでは、誤動作を防止できる。

本発明によれば、搬送台車の誤進入を防止できる。

図1は、一実施形態に係る搬送システムを模式的に示す図である。

図2は、FOUP搬送車及びレチクル搬送車を前方から見た図である。

図3は、FOUP搬送車の構成を示す図である。

図4は、レールの一部を拡大して示す図である。

図5は、被検出部材を示す正面図である。

図6は、被検出部材とFOUP搬送車及びレチクル搬送車との関係を示す図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

図1は、一実施形態に係る搬送システムを示す図である。図2は、FOUP搬送車及びレチクル搬送車を前方から見た図である。図1に示すように、搬送システム1は、レール(軌道、天井軌道)Rと、レールRを走行するFOUP搬送車(第1の搬送台車)10と、レールRを走行するレチクル搬送車(第2の搬送台車)20と、を備えている。搬送システム1では、複数種類の懸垂式の搬送台車(FOUP搬送車10、レチクル搬送車20)が同一のレールRを走行する。

レールRは、天井又は天井近傍に敷設されている。本実施形態では、レールRは、主レールR1と、主レールR1から分岐又は合流する分岐・合流レールR2〜R6と、を有している。主レールR1は、インターベイを構成し、分岐・合流レールR2〜R6は、イントラベイを構成している。分岐・合流レールR2〜R6は、複数(ここでは5つ)のエリアA1〜A5にそれぞれ敷設されている。すなわち、レールRは、複数のエリアA1〜A5にわったて敷設されている。各エリアA1〜A5には、図示しない各種装置やストッカが配置されている。搬送システム1では、各エリアA1〜A5のいずれかにおいて、FOUP搬送車10又はレチクル搬送車20の進入が規制されている。

図2に示すように、レチクル搬送車20は、レチクルを収容したレチクルスミフポッド(ReticleSMIF Pod)を搬送するOHT(Overhead Hoist Transport:天井搬送車)である。レチクル搬送車20は、レールRを走行する走行部22と、ホイスト、ベルト及びグリッパ等を備える本体部24と、を有している。レチクル搬送車20は、レチクルスミフポッドを搬送すると共に、レチクル搬送車20の進入が許可されたエリアに進入して、各種の処理装置及びストッカに備えられた入庫ポートとの間においてレチクルスミフポッドを移載可能に構成されている。

FOUP搬送車10は、ウエハを収容したFOUP(Front-OpeningUnified Pod)を搬送するOHTである。FOUP搬送車10は、レールRを走行する走行部12と、ホイスト、ベルト及びグリッパ等を備える本体部14と、を有している。FOUP搬送車10は、FOUPを搬送すると共に、FOUP搬送車10の進入が許可されたエリアに進入して、各種のウエハ処理装置及びストッカに備えられた入庫ポートとの間においてFOUPを移載可能に構成されている。

図2に示すように、FOUP搬送車10は、レチクル搬送車20よりも大きい。具体的には、FOUP搬送車10は、レチクル搬送車20よりも本体部14の高さ寸法が大きい。FOUP搬送車10とレチクル搬送車20の高さ寸法の差Dは、例えば100mm程度である。すなわち、FOUP搬送車10は、レールRを走行する走行方向において、レチクル搬送車20と重ならない領域を有している。

図3は、FOUP搬送車の構成を示す図である。図3に示すように、FOUP搬送車10は、光学センサ15と、接触センサ16と、コントローラ17と、を備えている。光学センサ15は、FOUP搬送車10前方の障害物を検出する。光学センサ15は、本体部14の下端部に配置されている。具体的には、光学センサ15は、レチクル搬送車20と重ならない領域、つまりレチクル搬送車20との高さ寸法の差Dの範囲内(レチクル搬送車20の本体部24の下端部から所定高さだけ下の範囲内)に配置されている。光学センサ15の検出領域は、例えば距離5mにおいて高さ幅が100mm程度とされている。光学センサ15は、障害物を検出すると、コントローラ17に検出情報を出力する。

接触センサ16は、障害物との接触を検出する。接触センサ16は、本体部14の下端部に配置されている。具体的には、光学センサ15は、レチクル搬送車20と重ならない領域、つまりレチクル搬送車20との高さ寸法の差Dの範囲内に配置されている。本実施形態では、接触センサ16は、光学センサ15よりも上部に配置されている。接触センサ16は、本体部14の幅方向に沿って延在しており、バンパーとしても機能する。接触センサ16は、障害物に接触したことを検出すると、コントローラ17に検出情報を出力する。

コントローラ17は、FOUP搬送車10の動作を制御する制御装置である。コントローラ17は、FOUP搬送車10の各部(走行部12やホイスト等)を制御する。コントローラ17は、走行制御部18を備えている。走行制御部18は、図示しない搬送指示部からの指令に基づいて、FOUP搬送車10が指定アドレスまでの走行するように制御する。走行制御部18は、光学センサ15又は接触センサ16から出力された検出情報を受け取ると、走行部12に制動制御を実施させる。すなわち、FOUP搬送車10は、光学センサ15により障害物が検出される、又は、接触センサ16により障害物との接触が検出されると、走行を停止する。

上述のように、搬送システム1では、各エリアA1〜A5のいずれかにおいて、FOUP搬送車10又はレチクル搬送車20の進入が規制されている。例えば、エリアA1では、FOUP搬送車10の進入が許容されていない(FOUP搬送車10の進入が規制されている)。そこで、搬送システム1では、図4に示すように、主レールR1からエリアA1に分岐する分岐・合流レールR2の進入領域に、被検出部材30を設けている。

図5は、被検出部材を示す正面図である。図5に示すように、被検出部材30は、例えば板部材である。被検出部材30は、その両端部が支持部材32a,32bにより分岐・合流レールR2に支持されている。具体的には、被検出部材30は、分岐・合流レールR2から所定の高さ下方に位置し、分岐・合流レールR2の延在方向に交差する方向に延在している。被検出部材30は、FOUP搬送車10の光学センサ15及び接触センサ16に検出される障害物である。被検出部材30は、FOUP搬送車10の光学センサ15及び接触センサ16の検出範囲で、且つ、レチクル搬送車20と接触しない位置に配置されている。

図6に示すように、被検出部材30は、レチクル搬送車20の通過を許可する一方、FOUP搬送車10に接触してFOUP搬送車10の通過を許可しない。すなわち、搬送システム1では、レチクル搬送車20は、被検出部材30によりエリアA1へ進入が許容され、FOUP搬送車10は、被検出部材30によりエリアA1への進入が規制される。

被検出部材30は、主レールR1から進入したFOUP搬送車10が分岐・合流レールR2の進入領域で停止した際に、FOUP搬送車10が主レールR1を走行する後続のFOUP搬送車10又はレチクル搬送車20の妨げとならない位置に配置されている。具体的には、被検出部材30は、例えば光学センサ15の検出距離が5mである場合には、被検出部材30の5m手前でFOUP搬送車10が停止したときに、FOUP搬送車10が主レールR1を走行するFOUP搬送車10及びレチクル搬送車20と重ならない位置で停止するように配置されている。また、被検出部材30は、主レールR1を走行するFOUP搬送車10の光学センサ15の検出領域に入らない位置に配置されている。

被検出部材30を検出して停止したFOUP搬送車10は、例えば手動により、主レールR1に戻される。また、搬送システム1では、FOUP搬送車10が停止している分岐・合流レールにレチクル搬送車20が進入する指令が出ている場合には、FOUP搬送車10が停止している情報を受けて、FOUP搬送車10が主レールR1に戻されるまで主レールR1を走行するようにレチクル搬送車20を制御する。

以上説明したように、本実施形態の搬送システム1では、FOUP搬送車10には、レチクル搬送車20と走行方向で重ならない本体部14の下端部に、前方の障害物を検出する光学センサ15が設けられている。光学センサ15は、複数のエリアA1〜A5のうちレチクル搬送車20のみの進入を許容する特定のエリアへの進入領域において、レチクル搬送車20の特定のエリアへの進入を許容する位置に配置された被検出部材30を検出する。これにより、搬送システム1では、特定のエリアへの進入が許容されてないFOUP搬送車10は、光学センサ15により被検出部材30を検出することで、進入が許容されていないエリアを認識できる。したがって、搬送システム1では、搬送台車の誤進入を防止できる。

これにより、搬送システム1では、特定のエリアにおいて床に設置された装置とFOUP搬送車10との接触が防止される。例えば、レチクル搬送車20の進入が許容されている特定のエリアにおいては、FOUP搬送車10の進入を想定して設定されていないため、装置の高さも例えばレチクル搬送車20の走行高さに基づいて設定されている。そのため、特定のエリアでは、FOUP搬送車10が進入すると、装置と接触するおそれがある。したがって、天井搬送車による搬送を行う本実施形態の構成では、搬送システム1の構成が特に有効である。

本実施形態では、搬送システム1は、FOUP搬送車10に光学センサ15を設けると共に、この光学センサ15により検出される被検出部材30を設けることにより、搬送台車の誤進入を防止できる。したがって、搬送システム1では、簡易な構成で、搬送台車の誤進入の防止を実現できる。また、搬送システム1は、既存のシステムにも適用可能である。

また、本実施形態では、FOUP搬送車10は、被検出部材30と接触する位置に取り付けられた接触センサ16を備えている。これにより、搬送システム1では、万が一、光学センサ15により被検出部材30を検出できなかった場合であっても、接触センサ16による被検出部材30の検出により、FOUP搬送車10の誤進入を防止できる。したがって、搬送システム1では、的確にフェールセーフを図ることができる。

本実施形態では、被検出部材30は、主レールR1から進入したFOUP搬送車10が停止した際に、FOUP搬送車10が主レールR1を走行する後続のFOUP搬送車10又はレチクル搬送車20の妨げとならない位置に配置されている。これにより、搬送システム1では、特定のエリアへの進入領域(分岐・合流レールR2〜R6)でFOUP搬送車10が停止した場合であっても、後続のFOUP搬送車10又はレチクル搬送車20の走行を継続させることができる。

また、本実施形態では、被検出部材30は、主レールR1を走行するFOUP搬送車10の光学センサ15の検出領域に入らない位置に配置されている。これにより、搬送システム1では、主レールR1を走行するFOUP搬送車10の光学センサ15が被検出部材30を誤検出して停止する誤動作を防止できる。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、天井搬送車であるFOUP搬送車10及びレチクル搬送車20を一例に説明したが、搬送台車は、床を走行する台車であってもよい。

上記実施形態では、FOUP搬送車10の高さ寸法がレチクル搬送車20の高さ寸法よりも大きい形態を一例とし、FOUP搬送車10の本体部14の下端部にセンサを設ける構成を一例に説明したが、一方の搬送台車に対して他方の搬送台車の幅が大きい場合には、センサを幅方向の一端部に取り付けてもよい。

1…搬送システム、10…FOUP搬送車(第1の搬送台車、一方の搬送台車)、15…光学センサ、16…接触センサ、20…レチクル搬送車(第2の搬送台車、他方の搬送台車)、30…被検出部材、A1〜A5…エリア、R…レール。