行进设备 |
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| 申请号 | CN201710020593.1 | 申请日 | 2017-01-12 | 公开(公告)号 | CN107031664A | 公开(公告)日 | 2017-08-11 |
| 申请人 | 株式会社大福; | 发明人 | 村尾和弘; | ||||
| 摘要 | 操作装置（K）具备连结部和棒状部（50），前述连结部能够与行进体（V）连结，前述行进体（V）在比作业者通行的通行空间（S2）靠上方的行进空间（S1）行进，棒状部（50）从前述连结部延伸至通行空间（S2）。行进体（V）具备 制动 机构、被连结部和解除输入 端子 ，前述制动机构限制行进体（V）的移动，前述被连结部连结前述连结部，前述解除输入端子被输入前述解除 信号 。操作装置（K）具备解除输出端子、指令接受部（60）和把持部，前述解除输出端子能够与解除输入端子连接，指令接受部（60）接受指示解除信号的输出的人工操作，前述把持部被作业者（O）把持。把持部和指令接受部（60）在连结部被连结于被连结部的状态下位于通行空间（S2）。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种行进设备，前述行进设备包括轨道、行进体、操作装置，前述轨道被设置于比作业者通行的通行空间靠上方的位置，前述行进体被驱动部驱动，沿前述轨道在比前述通行空间靠上方的行进空间中行进，前述操作装置具备连结部和棒状部，前述连结部能够与前述行进体连结，前述棒状部从前述连结部延伸至前述通行空间，其特征在于，前述行进体具备制动机构、被连结部和解除输入端子， |
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| 说明书全文 | 行进设备技术领域背景技术[0002] 在特开2002－53214号公报中，公开了如下行进设备，前述行进设备包括行进体和操作装置，前述行进体沿被设置于比作业者通行的通行空间靠上方的位置的轨道行进，前述操作装置具备连结部和棒状部，前述连结部能够与行进体连结，前述棒状部从连结部延伸至通行空间。在该行进设备中，为了使由于驱动部或控制该驱动部的控制部的故障等变得不能行进的行进体移动至不妨碍其他行进体的行进的部位，使操作装置的末端与行进体接触或连结，推压行进体，由此使行进体移动。 [0003] 但是，在这样的行进体上，一般设置有制动机构，前述制动机构在未被输入解除信号的情况下，限制行进体的移动，使得在不使驱动部驱动时，行进体不会不按照预期地移动。因此，即使借助操作装置如上所述地推压行进体，也有难以使行进体移动的情况。 [0004] 在特开2006－231990号公报中，公开了在这样用外力使行进体移动的情况下用于解除由制动机构进行的移动限制的技术。具体地，在行进体上设置有能够将解除信号从外部输入的输入端子，并且设置有辅助控制器，前述辅助控制器具有能够生成解除信号的信号生成部和能够将该解除信号输出的输出端子。借助信号生成部生成的解除信号，由制动机构进行的移动限制被解除。 [0005] 但是，在特开2006－231990号公报中，记载了，将辅助控制器安装于行进体的作业、及将输出端子和输入端子连接的作业，是由作业者登上梯子来进行。上述那样的辅助控制器仅在行进体的故障时使行进体移动的情况下被使用。因此，在使行进体移动至既定的避让位置后，不得不将辅助控制器卸下。因此，即使在将辅助控制器卸下的情况下，还是作业者登上梯子来进行卸下作业。即，在使由于故障等不能动的行进体移动的情况下，将伴有作业者登上梯子来在高处进行的作业，所以作业性较差。 发明内容[0006] 鉴于上述说明，希望一种在行进体的故障时能够使行进体作业性良好地移动的行进设备。 [0007] 行进设备作为一个技术方案，包括轨道、行进体、操作装置，前述轨道被设置于比作业者通行的通行空间靠上方的位置，前述行进体被驱动部驱动，沿前述轨道在比前述通行空间靠上方的行进空间中行进，前述操作装置具备连结部和棒状部，前述连结部能够与前述行进体连结，前述棒状部从前述连结部延伸至前述通行空间，前述行进体具备制动机构、被连结部和解除输入端子， 前述制动机构以未被输入解除信号为条件，限制前述行进体的移动，以被输入前述解除信号为条件，解除前述限制， 前述被连结部连结前述连结部，前述解除输入端子被输入前述解除信号， 前述操作装置除了前述连结部及前述棒状部之外，还具备解除输出端子、指令接受部和把持部， 前述解除输出端子能够与前述解除输入端子连接，输出前述解除信号， 前述指令接受部接受指示来自前述解除输出端子的前述解除信号的输出的人工操作，前述把持部被作业者把持， 前述连结部和前述解除输出端子被设置于前述棒状部的末端侧的第1区域， 前述把持部和前述指令接受部被设置于在将前述连结部连结于前述被连结部的状态下位于前述通行空间的前述棒状部的第2区域。 [0008] 在比通行空间靠上方的行进空间行进的行进体具备的被连结部及解除输入端子存在于比作业者高的位置。根据本结构，能够在操作装置的把持部及指令接受部位于通行空间的状态下，经由棒状部，将操作装置的连结部及解除输出端子分别连接于位于行进空间的行进体的被连结部及解除输入端子。即，作业者即使不用例如梯子等登上比通行空间靠上方的位置，也能够将连结部连结于被连结部，将解除输出端子和解除输入端子连接。 [0009] 连结部和被连结部被连结，由此，作业者在留在通行空间的状态下，借助相对于指令接受部的人工操作，能够指示来自解除输出端子的解除信号的输出。解除输出端子和解除输入端子被连接，由此被从解除输出端子输出的解除信号被输入至被设置于行进体的解除输入端子。因此，作业者留在通行空间的状态下，能够将由制动机构进行的行进体的移动限制解除。因此，即使在由于例如行进体的故障等平时相对于制动机构输出解除信号的装置不能输出解除信号的情况下，作业者将由制动机构进行的行进体的移动限制解除，由此能够呈容易使行进体移动的状态。 [0010] 此外，在被连结部和连结部被连结的状态中，把持部位于通行空间。借助把持着把持部的作业者经由棒状部对行进体施加的外力，能够使行进体移动。即，作业者即使不用梯子等登上比通行空间高的位置，也能够使比该通行空间靠上方的行进体移动。 [0011] 这样，根据本方案，能够提供一种在行进体的故障时也能够使行进体作业性良好地移动的行进设备。 附图说明[0013] 图1是顶棚行进设备的局部剖视侧视图。 [0014] 图2是顶棚行进设备的局部剖视主视图。 [0015] 图3是顶棚行进设备的整体俯视图。 [0016] 图4是表示分岔部位的俯视图。 [0017] 图5是表示行进体及移动操作装置的控制结构的框图。 [0018] 图6是移动操作装置的整体立体图。 [0019] 图7是表示连结体的背面的图。 [0020] 图8是表示连结体的正面的图。 [0021] 图9是表示移动操作装置的使用方式的图。 具体实施方式[0022] 以下，基于附图，对将本发明的行进设备应用于半导体制造工厂的顶棚输送设备的实施方式进行说明。顶棚输送设备如图9所示，具备行进轨道R和顶棚输送车V，前述行进轨道R被以从顶棚悬挂的状态设置于比作业者通行的通行空间S2靠上方的位置，前述顶棚输送车V沿行进轨道R在比通行空间S2靠上方的行进空间S1行进。 [0023] 如图1及图2所示，顶棚输送车V具备行进部11和主体部12，前述行进部11具备在行进轨道R上行进自如的行进车轮W1，前述主体部12被从行进部11悬挂支承。在行进部11上设置有行进车轮W1和行进马达M1，前述行进车轮W1在行进轨道R上滚动，前述行进马达M1旋转驱动该行进车轮W1，前述行进马达M1是电力驱动式的。此外，在具备将行进马达M1的旋转输出传递至行进车轮W1的传递轴的传递机构处，具备负向制动器（N-BRAKE）N（参照图5）。负向制动器N具备制动体，前述制动体借助弹性力对与行进马达M1的输出轴抵接的抵接位置施力。此外，负向制动器N具备致动器，前述致动器若被输入电力，则将制动体切换至从输出轴离开的离开位置，保持于该离开位置。借助这样的机构，负向制动器N通过被供给电力来解除制动状态。 [0024] 在本实施方式中，行进轨道R相当于轨道，行进马达M1相当于驱动部，顶棚输送车V相当于行进体，负向制动器N相当于制动机构，施加用于解除由负向制动器N进行的制动状态的电力的信号相当于解除信号。即，在行进设备（顶棚输送设备）处，设置有行进轨道R和顶棚输送车V，前述行进轨道R被设置于比作业者通行的通行空间S2靠上方的位置，前述顶棚输送车V被行进马达M1驱动，沿行进轨道R在比通行空间S2靠上方的行进空间S1行进。此外，顶棚输送车V具备负向制动器N，前述负向制动器N以未被输入解除信号为条件限制顶棚输送车V的移动，以被输入解除信号为条件解除该限制。 [0025] 此外，在行进部11处，设置有引导辊W2，前述引导辊W2被引导轨道R2引导，前述引导轨道R2沿行进轨道R被设置于行进路径T的分岔部位U（参照图3）。引导辊W2构成为，在行进部11的行进方向上观察时（参照图2）在左右方向上移动自如。此外，引导辊W2构成为，借助电力驱动式的引导辊切换部（GR-SEL）M2，将左右方向的位置在左侧位置和右侧位置切换。引导辊切换部M2被电力驱动，切换成使引导辊W2位于左侧位置的状态和使引导辊W2位于右侧位置的状态。 [0026] 上述那样的顶棚输送车V行进的行进路径T如图3所示，构成为具备环状的主行进路径Tm、被设置于该主行进路径Tm的侧方的环状的副行进路径Ts，主行进路径Tm和副行进路径Ts之间被连接路径Tj连接。主行进路径Tm及副行进路径Ts的顶棚输送车V的行进方向被规定为一个方向，图3的被虚线包围的部分是从主行进路径Tm向副行进路径Ts的分岔部位U、或从副行进路径Ts向主行进路径Tm的分岔部位U。 [0027] 另外，顶棚输送车V构成为，将收纳有半导体基板的容器B作为输送对象的物品，在沿行进路径T设置的多个处理装置S的交接部位（以后称作站Sp）之间输送容器B。处理装置S构成为，相对于半导体基板的制造中的半成品等进行既定的处理。 [0028] 如图4所示，在分岔部位U中，俯视时一对行进轨道R之间设置有引导轨道R2。引导轨道R2构成为，与行进路径T的分岔对应，分岔成第1分岔引导轨道R2a和第2分岔引导轨道R2b。在图4中，用实线表示分岔前的顶棚输送车V，用双点划线表示分岔后的顶棚输送车V。 [0029] 如图4所示，在使顶棚输送车V向行进路径T2行进的情况下，借助引导辊切换部M2使引导辊W2向XR方向移动。由此，引导辊W2抵接于第2分岔引导轨道R2b的XR侧的面而被引导，顶棚输送车V沿行进路径T2行进。另一方面，在使顶棚输送车V向行进路径T1行进的情况下，借助引导辊切换部M2使引导辊W2向XL方向移动。由此，引导辊W2抵接于第1分岔引导轨道R2a的XL侧的面而被引导，顶棚输送车V沿行进路径T1行进。 [0030] 在本实施方式中，引导轨道R2相当于分岔引导部，引导辊W2相当于被引导部，引导辊切换部M2相当于切换部，被输入至引导辊切换部M2的电力（施加电力的信号）相当于位置切换信号。即，顶棚输送车V构成为，具备引导辊W2和引导辊切换部M2，前述引导辊W2被引导轨道R2引导，前述引导轨道R2被设置于行进轨道R的分岔部位U，前述引导辊切换部M2将引导辊W2切换至与某个分岔方向对应的切换位置，引导辊W2被引导轨道R2引导，使得使顶棚输送车V在与切换位置对应的分岔方向上行进，引导辊切换部M2基于位置切换信号切换引导辊W2的位置。 [0031] 如图1所示，主体部12在行进部11的行进方向的前后上具备罩部12C。罩部12C如图1所示，形成为侧视时（与行进部11的行进方向正交且沿水平方向的方向观察时）向下方开口的C字形。主体部12如图1及图2所示，具备升降体13和升降驱动部（V-ACT）M3（参照图5），前述升降体13将容器B（在本实施方式中为，将半导体基板在上下方向层叠多层来收纳的被称作前端开启式晶圆传送盒（FOUP，Front Opening Unified Pod）的容器）保持，且在上下方向上升降移动自如，前述升降驱动部（V-ACT）M3使升降体13升降驱动地移动，主体部12构成为在用升降体13保持输送对象的容器B的状态下能够行进。升降驱动部M3被电力驱动，构成为切换成使升降体13上升移动的方向的驱动和使升降体13下降移动的方向的驱动。另外，在升降体13处，具备把持部，前述把持部用于把持作为容器B的前端开启式晶圆传送盒（FOUP）的上端所具备的凸缘。 [0032] 在本实施方式中，容器B相当于物品，驱动升降驱动部M3的电力（施加电力的信号）相当于升降信号。即，顶棚输送车V具备升降体13和升降驱动部M3，前述升降体13将容器B保持，能够升降，前述升降驱动部M3升降驱动升降体13，升降驱动部M3构成为，基于升降信号使升降体13升降。 [0033] 接着，参照图5，对顶棚输送车V的控制结构进行说明。在顶棚输送车V处，设置有集电部（PW-CLCT）E1、电源回路（PW-CCT）E2、指令接收部（COM-RCV）G、行进马达（T-MOTOR）M1、引导辊切换部（GR-SEL）M2、升降驱动部（V-ACT）M3、及负向制动器（N-BRAKE）N等，前述集电部（PW-CLCT）E1从沿行进轨道R设置的供电轨道以非接触方式集电，前述电源回路（PW-CCT）E2为了将由集电部E1集电的电力转化为该顶棚输送车的各部的驱动用电力而进行整流或向既定的电压转换，前述指令接收部（COM-RCV）G接收被用电波、光发送的输送指令等指令信息。此外，在顶棚输送车V处，设置有控制部H，前述控制部H基于上述指令信息控制该顶棚输送车V的各部分的工作。 [0034] 在控制部H上电气连接有电源回路E2而被供给电力。此外，在控制部H上，具备控制回路和电力控制回路等，前述控制回路由微型计算机、运算装置等构成，前述电力控制回路具备继电器，前述继电器用于切换向上述的行进马达M1、引导辊切换部M2、升降驱动部M3、及负向制动器N等的电力的供给状态。此外，控制部H和指令接收部G被连接，控制部H构成为能够从指令接收部G接收的上位的管理装置取得工作指令信息，并且将顶棚输送车V的动作结果等的信息经由指令接收部G向上位的管理装置发送。 [0035] 在控制部H上，具备行进马达控制部H1、引导辊切换控制部H2、升降控制部H3、负向制动器控制部HN，前述行进马达控制部H1进行相对于行进马达M1的驱动电力的供给状态的控制，前述引导辊切换控制部H2进行相对于引导辊切换部M2的驱动电力（位置切换信号）的供给状态的控制，前述升降控制部H3进行相对于升降驱动部M3的驱动电力（升降信号）的供给状态的控制，前述负向制动器控制部HN进行用于解除负向制动器N的电力（解除信号）的供给状态的控制。 [0036] 行进马达控制部H1和行进马达M1之间用控制线L1连接。同样地，引导辊切换控制部H2和引导辊切换部M2之间用控制线L2连接，升降控制部H3和升降驱动部M3之间用控制线L3连接，负向制动器控制部HN和负向制动器N之间用控制线LN连接。 [0037] 此外，如图1所示，在顶棚输送车V的罩部12C的行进部11的行进方向上的前方侧的侧面及后方侧的侧面，设置有被连结体12R，前述被连结体12R具备能够将后述的连结部C1（参照图5、图8）连结的被连结部C2。如图5所示，在被连结体12R上，设置有永久磁铁J2（接近于连结体31的一侧的磁极为N及S的一方的永久磁铁J22、及接近于连结体31的一侧的磁极为N及S的另一方的永久磁铁J21），以与该永久磁铁J2的位置关系为既定的位置关系的方式，设置有从外部输入各种信号的输入端子Q。 [0038] 作为输入端子Q，设置有解除输入端子Q1、位置切换用输入端子Q2、及升降用输入端子Q3这三个，前述解除输入端子Q1能够输入解除信号，前述位置切换用输入端子Q2被输入位置切换信号，前述升降用输入端子Q3被输入升降信号。 [0039] 解除输入端子Q1和控制线L3互相被电气连接。此外，位置切换用输入端子Q2和控制线LN互相被电气连接。进而，升降用输入端子Q3和控制线L2互相被电气连接。 [0040] 以下，还参照图5～图9，对如下结构进行说明，前述结构为，在如上所述的顶棚输送车V中，在控制部H处发生故障等、负向制动器N、引导辊切换部M2、或升降驱动部M3等不能工作的情况（以下简称为顶棚输送车V发生故障的情况）下，用于使顶棚输送车V沿行进轨道R移动至不妨碍其他顶棚输送车V的行进的部位等。 [0041] 为了使发生故障的顶棚输送车V移动，使用如图6及图7所示的移动操作装置K。在该移动操作装置K上，设置有连结体31，前述连结体31具备能够与顶棚输送车V的被连结部C2连结的连结部C1，在该移动操作装置K上还具备棒状部50，前述棒状部50从该连结体31经由铰链32被连接。在棒状部50的与连结部C1相反的一侧的端部，设置有由T字形的把手构成的把持部51。在本实施方式中，移动操作装置K相当于操作装置。 [0042] 如图8所示，在连结体31中，在与被连结体12R接近的部分上，设置有电磁铁J1（接近于被连结体12R的一侧的磁极为N及S的一方的电磁铁J11、及接近于被连结体12R的一侧的磁极为N及S的另一方的电磁铁J12），以与该电磁铁J1的位置关系为既定的位置关系的方式，设置有输出端子P，前述输出端子P能够与输入端子Q连接，输出各种信号。如图5所示，作为输出端子P，设置有输出解除信号的解除输出端子P1、输出位置切换信号的位置切换用输出端子P2、及输出升降信号的升降用输出端子P3这三种。电磁铁J1借助后述的励磁切换开关SW4（参照图5），切换成被供给电力的状态和不被供给电力的状态，由此能够切换成励磁状态和消磁状态。 [0043] 在本实施方式中，在连结体31中被设置电磁铁J1的部分相当于连结部C1，在顶棚输送车V的罩部12C处被设置永久磁铁J2的部分相当于被连结部C2。即，连结部C1和输出端子P（解除输出端子P1、位置切换用输出端子P2、升降用输出端子P3）配置成与被连结部C2和输入端子Q（解除输入端子Q1、位置切换用输入端子Q2、升降用输入端子Q3）的位置关系对应的位置关系。 [0044] 另外，连结部C1如图8所示，能够形成为以越向突出末端侧越细的方式倾斜的棱锥状的突出部。与此相对，被连结部C2能够形成为沿着连结部C1的形状的凹入部。通过这样地设置，能够将把连结部C1和被连结部C2连结时的该连结部C1和被连结部C2的位置准确地定位于既定的位置。 [0045] 并且，在将连结部C1与被连结部C2连结时，以电磁铁J11与永久磁铁J22发生吸引作用、电磁铁J12与永久磁铁J21发生吸引作用的方式，引导连结部C1。在本实施方式中，电磁铁J1相当于第1磁力发生部，永久磁铁J2相当于第2磁力发生部，借助电磁铁J1和永久磁铁J2形成有引导装置。即，行进设备具备将连结部C1向被连结部C2引导的引导装置，引导装置具备电磁铁J1和永久磁铁J2，前述电磁铁J1被设置于连结部C1，前述永久磁铁J2被设置于被连结部C2，与电磁铁J1发生吸引作用。此外，电磁铁J1和永久磁铁J2的吸引力被设定成，比作业者O拉拽把持部51来使顶棚输送车V移动时在永久磁铁J2和电磁铁J1之间作用的力大。 [0046] 即，顶棚输送车V具备连结电磁铁J1的永久磁铁J2、被输入解除信号的解除输入端子Q1、被输入位置切换信号的位置切换用输入端子Q2、被输入升降信号的升降用输入端子Q3。此外，如图6所示，移动操作装置K除了连结部C1及棒状部50之外，还具备解除输出端子P1、指令接受部60、把持部51，前述解除输出端子P1能够与输入端子Q连接，输出解除信号，前述指令接受部60接受指示来自解除输出端子P1的信号的输出的人工操作，前述把持部51被作业者O把持。在指令接受部60处，具备电源部（省略图示），前述电源部供给与从各输出端子P输出的信号对应的电力。 [0047] 如图5所示，在移动操作装置K的指令接受部60上，设置有位置切换开关SW1、升降切换开关SW2、解除切换开关SW3、及励磁切换开关SW4，前述位置切换开关SW1接受指示来自位置切换用输出端子P2的位置切换信号的输出的人工操作，前述升降切换开关SW2接受指示来自升降用输出端子P3的升降信号的输出的人工操作，前述解除切换开关SW3接受指示来自解除输出端子P1的解除信号的输出的人工操作，前述励磁切换开关SW4接受将电磁铁J1切换成励磁状态和消磁状态的人工操作。能够从升降切换开关SW2指示升降体13的上升移动、下降移动，还能够指示上升移动及下降移动的停止。 [0048] 连结部C1和输出端子P（解除输出端子P1、位置切换用输出端子P2、升降用输出端子P3）被设置于棒状部50的末端侧的第1区域，把持部51和指令接受部60被设置于在将连结部C1连结于被连结部C2的状态下位于通行空间S2的棒状部50的第2区域（参照图9）。在本实施方式中，在棒状部50的长度方向中央部二分的情况下，将比该中央部靠连结体31侧的区域设为第1区域，将比中央部靠把持部51侧的区域设为第2区域。另外，第1区域和第2区域的大小不限于上述说明，例如，在将棒状部50在长度方向上n等分的情况下，可以将最接近连结体31的区域设为第1区域，将最接近把持部51的区域设为第2区域。该情况下，n可以为3以上，优选为3以上且5以下。 [0049] 根据如上所述的结构，如图9所示，作业者O能够在位于通行空间S2的状态下，相对于顶棚输送车V分别指示负向制动器N的制动解除、引导辊W2的位置切换、及升降体13的升降移动。此外，电磁铁J1被切换成励磁状态和消磁状态，所以能够在由移动操作装置K进行的牵引操作时由电磁铁J1和永久磁铁J2产生充足的吸引力的同时，在将移动操作装置K从顶棚输送车V卸下的情况下也能够容易地进行该卸下操作。 [0050] 〔其他实施方式〕（1）在上述说明中，例示了连结部C1和输出端子P被设置于相同的连结体31的结构，但也可以将连结部C1和输出端子P分开。该情况下，希望在支承输出端子P的支承体上设置引导装置进行引导，使得与输入端子Q的位置关系成为适当的位置关系。该情况的引导结构可以用磁铁，也可以在顶棚输送车V侧设置锥形面来将支承输出端子P的支承体引导。 [0051] 此外，在上述说明中，说明了以下结构，在连结部C1具备磁力发生部（磁铁），借助磁力发生部的吸引力，连结部C1和被连结部C2被连结，但连结部C1和被连结部C2也可以用磁力以外来连结。例如，也可以在连结部C1上设置气体吸引装置，使连结部C1和被连结部C2之间产生负压来产生吸引力，或将连结部C1和被连结部C2用钩和环等物理性地卡合。 [0052] （2）在上述说明中，例示了以下方式，构成为移动操作装置K具备遍及长度方向的整体的棒状部50，但也可以构成为在第2区域侧具备带状部。此外，在上述说明中，例示了在棒状部50的末端设置具备连结部C1和输出端子P的连结体31的结构，但是，连结体31的配设位置也可以是，从棒状部50的末端向相反侧的端部偏移的位置。 [0053] （3）在上述说明中，例示了借助移动操作装置K牵引顶棚输送车V的方式，但是也可以借助移动操作装置K推压顶棚输送车V。只要能够经由移动操作装置K对顶棚输送车V施加外力来使顶棚输送车V移动即可。 [0054] （4）在上述说明中，例示了引导装置使用电磁铁J1及永久磁铁J2来实现的方式。但是，引导装置不限于这样的结构，例如也可以是用锥形面引导的结构。 [0055] （5）在上述说明中，例示了如下方式，连结部C1形成为以越向突出末端侧越细的方式倾斜的棱锥状的突出部，被连结部C2形成为沿连结部C1的形状的凹入部，但连结部C1和被连结部C2二者也可以形成为平坦状。 [0056] （6）在上述说明中，例示了如下方式，第1磁力发生部由电磁铁J1构成，第2磁力发生部由永久磁铁J2构成，但也可以是，第1磁力发生部及第2磁力发生部二者是电磁铁。此外，第1磁力发生部也可以是永久磁铁。 [0057] （7）在上述说明中，例示了在被连结部C2上具备永久磁铁J2的方式，但作为第2磁力发生部，也可以是取代永久磁铁J2而配设与电磁铁J1吸引的不锈钢、铁等磁性体。该情况下，作为引导装置，优选地将引导连结体31的锥形面设置于顶棚输送车V侧。 [0058] （8）在上述说明中，例示了将行进设备应用于半导体制造工厂的顶棚输送设备的情况，但行进设备也可以应用于被设置于半导体制造工厂以外的设备的顶棚输送设备。此外，在上述说明中，将行进设备应用于具备顶棚输送车V的输送设备，前述顶棚输送车V具备行进部11和主体部12，前述行进部11在被从顶棚以悬挂状态支承的行进轨道R上行进，前述主体部12被从行进部11悬挂支承，位于比行进轨道R靠下方的位置，但也可以将行进设备应用于具备如下行进体的设备，前述行进体为行进部11和主体部12二者位于行进轨道R的上方。 [0059] （9）在上述说明中，例示了在指令接受部60上设置位置切换开关SW1、升降切换开关SW2、解除切换开关SW3、及励磁切换开关SW4这4个开关的方式，也可以不将它们全部具备。例如，也可以是不设置其中的位置切换开关SW1及升降切换开关SW2的某一个或将二者都不设置的方式。此外，在将连结部C1与被连结部C2用磁力以外连结的情况下，当然也可以是不设有励磁切换开关SW4的方式。 [0060] （10）在上述说明中，例示了下述方式，将电磁铁J1和永久磁铁J2的吸引力设定成，比作业者O拉拽把持部51来使顶棚输送车V移动时在被连结部C2和连结部C1之间作用的力大。但是，在通过借助移动操作装置K进行推压来使顶棚输送车V移动的情况下，也可以将电磁铁J1和永久磁铁J2的吸引力设定成，比作业者O拉拽把持部51来使顶棚输送车V移动时在被连结部C2和连结部C1之间作用的力小。 [0061] （11）在上述说明中，例示了把持部51由被设置于棒状部50的与连结部C1相反的一侧的端部的T字形把手构成的方式，但把持部51也可以是T字形的把手以外的方式。例如也可以是以下方式，将棒状部50的一部分设置为作业者O容易握持的圆形或三角形的环形状、或施加加工使得作业者O握持时难以滑动，将该部分设为把持部。 [0062] 〔实施方式的概要〕以下，对上述说明的行进设备的概要进行简单地说明。 [0063] 作为行进设备的一实施方式，包括轨道、行进体、操作装置，前述轨道被设置于比作业者通行的通行空间靠上方的位置，前述行进体被驱动部驱动，沿前述轨道在比前述通行空间靠上方的行进空间中行进，前述操作装置具备连结部和棒状部，前述连结部能够与前述行进体连结，前述棒状部从前述连结部延伸至前述通行空间，前述行进体具备制动机构、被连结部和解除输入端子， 前述制动机构以未被输入解除信号为条件，限制前述行进体的移动，以被输入前述解除信号为条件，解除前述限制， 前述被连结部连结前述连结部，前述解除输入端子被输入前述解除信号， 前述操作装置除了前述连结部及前述棒状部之外，还具备解除输出端子、指令接受部和把持部， 前述解除输出端子能够与前述解除输入端子连接，输出前述解除信号， 前述指令接受部接受指示来自前述解除输出端子的前述解除信号的输出的人工操作，前述把持部被作业者把持， 前述连结部和前述解除输出端子被设置于前述棒状部的末端侧的第1区域， 前述把持部和前述指令接受部被设置于在将前述连结部连结于前述被连结部的状态下位于前述通行空间的前述棒状部的第2区域。 [0064] 在比通行空间靠上方的行进空间行进的行进体具备的被连结部及解除输入端子存在于比作业者高的位置。根据本结构，能够在操作装置的把持部及指令接受部位于通行空间的状态下，经由棒状部，将操作装置的连结部及解除输出端子分别连接于位于行进空间的行进体的被连结部及解除输入端子。即，作业者即使不用例如梯子等登上比通行空间靠上方的位置，也能够将连结部连结于被连结部，将解除输出端子和解除输入端子连接。 [0065] 连结部和被连结部被连结，由此，作业者在留在通行空间的状态下，借助相对于指令接受部的人工操作，能够指示来自解除输出端子的解除信号的输出。解除输出端子和解除输入端子被连接，由此被从解除输出端子输出的解除信号被输入至被设置于行进体的解除输入端子。因此，作业者留在通行空间的状态下，能够将由制动机构进行的行进体的移动限制解除。因此，即使在由于例如行进体的故障等平时相对于制动机构输出解除信号的装置不能输出解除信号的情况下，作业者也能够将由制动机构进行的行进体的移动限制解除，由此呈容易使行进体移动的状态。 [0066] 此外，在被连结部和连结部被连结的状态中，把持部位于通行空间。借助把持着把持部的作业者经由棒状部对行进体施加的外力，能够使行进体移动。即，作业者即使不用梯子等登上比通行空间高的位置，也能够使比该通行空间靠上方的行进体移动。 [0067] 这样，根据本方案，能够提供一种在行进体的故障时也能够使行进体作业性良好地移动的行进设备。 [0068] 这里，优选的是，前述连结部和前述解除输出端子被配置于前述第1区域，使得呈与前述被连结部和前述解除输入端子的位置关系对应的位置关系。 [0069] 根据这样的结构，相对于连结部的解除输出端子的位置和相对于被连结部的解除输入端子的位置对应，所以能够通过将连结部和被连结部连结来将解除输出端子和解除输入端子连接。因此，与分别进行将连结部和被连结部连结的操作、将解除输出端子和解除输入端子连接的操作的情况相比，能够减轻作业者的麻烦。 [0070] 此外，优选的是，行进设备具备将前述连结部向前述被连结部引导的引导装置。 [0071] 如上所述，行进体具备的被连结部位于比作业者高的位置。因此，以下操作是未必容易的：位于通行空间的作业者将棒状部的角度、位置微调整，使得被连结部的位置位于相对于连结部适当的位置，使被连结部和连结部连结。具有引导装置，引导装置将连结部向被连结部引导，由此能够提高由作业者进行的连结作业的作业性。 [0072] 这里，优选的是，前述引导装置具备第1磁力发生部和第2磁力发生部，前述第1磁力发生部被设置于前述连结部，前述第2磁力发生部被设置于前述被连结部，与前述第1磁力发生部发生吸引作用。 [0073] 根据这样的结构，利用由磁力产生的吸引作用，能够将被连结部和连结部容易地引导，且能够将他们引导至合适的连结位置。 [0074] 这里，优选的是，前述第1磁力发生部和前述第2磁力发生部的吸引力为设定吸引力以上，前述设定吸引力被设定成，比作业者拉拽前述把持部来使前述行进体移动时在前述被连结部和前述连结部之间作用的力大。 [0075] 根据这样的结构，借助第1磁力发生部和第2磁力发生部的吸引力，作业者能够拉拽把持部来使行进体移动。即，第1磁力发生部和第2磁力发生部除了仅作为引导装置被利用，还能够作为将连结部和被连结部连结的机构（手段）来利用。与将引导装置、及也产生把连结部和被连结部连结时的连结力的机构的每一个分别设置的情况相比，能够实现结构的简单化。 [0076] 这里，优选的是，前述第1磁力发生部构成为具有电磁铁，前述指令接受部构成为，接受将前述电磁铁切换成励磁状态和消磁状态的人工操作。 [0077] 即，作业者从把持部对行进体施加外力来使行进体移动的情况下，将第1磁力发生部切换成励磁状态来产生吸引力，由此能够将连结部引导至被连结部，进而也能够产生连结力。此外，行进体的移动结束后，将第1磁力发生部切换成消磁状态来使吸引力减少或消失，由此能够容易地将操作装置从行进体卸下。 [0078] 这些励磁状态和消磁状态的切换能够通过来自被设置于第2区域的指令接受部的人工操作来进行，所以位于通行空间的作业者不需要登上高处进行作业。即，根据这样的结构，能够使操作装置和行进体的拆装变得容易。 [0079] 此外，作为一实施方式，优选的是，前述行进体具备被引导部和切换部，前述被引导部被设置于前述轨道的分岔部位的分岔引导部引导，前述切换部将前述被引导部切换至与某个分岔方向对应的切换位置，前述被引导部被前述分岔引导部引导，使得前述行进体在与前述切换位置对应的分岔方向上行进，前述切换部构成为，基于位置切换信号切换前述被引导部的位置，前述行进体具备被输入前述位置切换信号的位置切换用输入端子，前述操作装置在前述第1区域具备位置切换用输出端子，前述位置切换用输出端子能够与前述位置切换用输入端子连接，输出前述位置切换信号，前述指令接受部构成为，接受指示来自前述位置切换用输出端子的前述位置切换信号的输出的人工操作。 [0080] 连结部和被连结部被连结，由此作业者能够在留在通行空间的状态下，借助相对于指令接受部的人工操作，指示来自位置切换用输出端子的位置切换信号的输出。位置切换用输出端子和位置切换用输入端子被连接，由此从位置切换用输出端子被输出的位置切换信号被输入至设置于行进体的位置切换用输入端子。因此，作业者能够在留在通行空间的状态下，借助相对于指令接受部的人工操作，指示位置切换信号的输出，将被引导部的位置切换至与分岔方向对应的切换位置。因此，即使在由于例如行进体的故障等平时输出相对于切换部的位置切换信号的装置不能输出位置切换信号的情况下，也能够使行进体沿所希望的分岔方向移动。 [0081] 此外，优选的是，前述行进体具备升降体和升降驱动部，前述升降体保持物品，能够升降，前述升降驱动部将前述升降体升降驱动，前述升降驱动部构成为，基于升降信号使前述升降体升降，前述行进体具备被输入前述升降信号的升降用输入端子，前述操作装置在前述第1区域具备升降用输出端子，前述升降用输出端子能够与前述升降用输入端子连接，输出前述升降信号，前述指令接受部构成为，接受指示来自前述升降用输出端子的前述升降信号的输出的人工操作。 [0082] 能够通过设成升降用输出端子和升降用输入端子被连接的状态，将从升降用输出端子被输出的升降信号输入至被设置于行进体的升降用输入端子。 [0083] 将连结部和被连结部连结，由此作业者能够通过相对于位于通行空间的指令接受部的人工操作，指示升降信号的输出，使升降体的位置在所希望的升降位置上移动。因此，即使在例如由于行进体的故障等平时输出相对于升降驱动部的升降信号的装置不能输出升降信号的情况下，也能够使升降体移动至所希望升降位置。 [0084] 附图标记说明13 升降体 50 棒状部 51 把持部 60 指令接受部 B 容器（物品） C1 连结部 C2 被连结部 J 分岔部位 J1 电磁铁（第1磁力发生部） J2 永久磁铁（第2磁力发生部） K 移动操作装置（操作装置） M1 行进马达（驱动部） M2 引导辊切换部（切换部） M3 升降驱动部 N 负向制动器（制动机构） O 作业者 P1 解除输出端子 P2 位置切换用输出端子 P3 升降用输出端子 Q1 解除输入端子 Q2 位置切换用输入端子 Q3 升降用输入端子 R 行进轨道（轨道） R2 引导轨道（分岔引导部） S1 行进空间 S2 通行空间 V 顶棚输送车（行进体） W2 引导辊（被引导部）。 |
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