Mikrobauelement |
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| 申请号 | EP89105850.5 | 申请日 | 1989-04-04 | 公开(公告)号 | EP0336352A3 | 公开(公告)日 | 1990-07-18 |
| 申请人 | Messerschmitt-Bölkow-Blohm Gesellschaft mit beschränkter Haftung; | 发明人 | Schwarz, Wolfgang; Joas, Reinhard; Schmid, Peter; Simon, Wolfgang; Bichler, Peter; | ||||
| 摘要 | Die Erfindung betrifft Mikrobauelemente, wie Mikro-Siebe, Mikro-Gitter Mikro-Sensoren oder anderer Mikromeß- oder Mikro- Test- oder Mikro-Träger oder andere Bauelemente mit Mikro-Öffnungen oder Ausnehmungen und möglichst großer freier Oberfläche. Verschiedene Herstellverfahren und Ausgangsmaterialien sind angegeben ebenso wie eine Vorrichtung zur spanenden Bearbeitung. Bevorzugte Anwendungen für bzw. als fluiddurchlässige Bauelemente in der chemischen Technik, in der physikalischen Technik, in Apparatebau, Elektrotechnik, Meß- und Prüftechnik, Träger für die Zwecke der Biotechnologie oder der medizinischen Forschung. | ||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
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