硬質被膜、および硬質被膜被覆工具 |
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| 申请号 | JP2010520699 | 申请日 | 2008-07-14 | 公开(公告)号 | JPWO2010007660A1 | 公开(公告)日 | 2012-01-05 |
| 申请人 | オーエスジー株式会社; | 发明人 | 博昭 杉田; 博昭 杉田; 孝臣 戸井原; 孝臣 戸井原; 崇雅 鈴木; 崇雅 鈴木; | ||||
| 摘要 | 図1に示すように、ボールエンドミル10の刃部14に設けられた硬質被膜20は、(Cr1-a-bBaMb)(CcOdN1-c-d)にて構成されている第I層22と、AlCrNまたはAlCrDNにて構成されている第II層24と、Al、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Wの中の1種類以上の元素から成る金属の窒化物、炭窒化物、または炭化物にて構成されている第 III層26とから成るため、優れた耐摩耗性、耐溶着性が長期間に亘って安定して得られるようになり、ステンレス鋼に対する切削加工や溶着し易い被削材に対する切削加工などでも、剥離やチッピング摩耗が抑制され、良好な加工面が得られるとともに所定の加工性能が安定して得られる。 | ||||||
| 权利要求 | 所定の部材の表面上に設けられる耐摩耗性および耐溶着性に優れた硬質被膜であって、 前記部材の表面に接して設けられる第 III層と、該第 III層の上に設けられる第II層と、該第II層の上に設けられて表面を構成する第Ｉ層とから成る３層構造で、 前記第Ｉ層は、（Ｃｒ 1-ab Ｂ a Ｍ b ）（Ｃ c Ｏ d Ｎ 1-cd ）〔但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄはそれぞれ原子比で、０＜ａ≦０．２、０≦ｂ≦０．５、０≦ｃ≦０．５、０≦ｄ≦０．３の範囲内、Ｍは元素の周期表のIVａ族、Ｖａ族、VIａ族（Ｃｒを除く）、Ｓｉ、およびＹの中の１種類以上の元素〕にて構成され、 前記第II層は、ＡｌＣｒＮまたはＡｌＣｒＤＮ〔但し、Ｄは元素の周期表のIVａ族、Ｖａ族、VIａ族（Ｃｒを除く）、Ｓｉ、およびＹの中の何れか１種類の元素、またはＳｉＣ〕にて構成され、 前記第 III層は、Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗの中の１種類以上の元素から成る金属の窒化物、炭窒化物、または炭化物にて構成されている ことを特徴とする硬質被膜。 前記第Ｉ層と前記第II層との境界部分には両者の混合層が設けられ、 該第II層と前記第 III層との境界部分には両者の混合層が設けられている ことを特徴とする請求項１に記載の硬質被膜。 前記第Ｉ層、前記第II層、および前記第 III層の総膜厚Ｔtotal は０．０５〜１５μｍの範囲内で、 前記第Ｉ層の膜厚Ｔ１は、総膜厚Ｔtotal の１〜５０％の範囲内で、 前記第 III層の膜厚Ｔ３は、総膜厚Ｔtotal の１〜２５％の範囲内で、 前記第II層の膜厚Ｔ２は、（Ｔtotal −Ｔ１−Ｔ３）である ことを特徴とする請求項１または２に記載の硬質被膜。 請求項１〜３の何れか１項に記載の硬質被膜で工具母材の表面が被覆されていることを特徴とする硬質被膜被覆工具。 |
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| 说明书全文 | 本発明は硬質被膜に係り、特に、耐摩耗性および耐溶着性に優れた硬質被膜の改良に関するものである。 高速度工具鋼や超硬合金等の工具母材などの所定の部材の表面に硬質被膜を設けることが広く行われている。 例えば特許文献１には、耐摩耗性に優れたＡ層の上に耐溶着性に優れたＢ層を設けることが提案されており、Ａ層はＴｉ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｓｉ等の窒化物、炭窒化物などで、Ｂ層はＴｉ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｓｉ等の酸化物、硼化物などである。 しかしながら、このような従来の硬質被膜においては、工具母材等に対して必ずしも十分な付着強度が得られず、例えばステンレス鋼に対する切削加工や５０ＨＲＣ以下で溶着し易い被削材に対する切削加工などでは、早期に剥離やチッピング摩耗が発生して加工面が悪化したり切削性能がばらついたりする問題があった。 本発明は以上の事情を背景として為されたもので、その目的とするところは、耐摩耗性および耐溶着性に優れた硬質被膜が高い付着強度で工具母材等に設けられ、優れた耐摩耗性、耐溶着性が長期間に亘って安定して得られるようにすることにある。 かかる目的を達成するために、第１発明は、所定の部材の表面上に設けられる耐摩耗性および耐溶着性に優れた硬質被膜であって、(a) 前記部材の表面に接して設けられる第 III層と、その第 III層の上に設けられる第II層と、その第II層の上に設けられて表面を構成する第Ｉ層とから成る３層構造で、(b) 前記第Ｉ層は、（Ｃｒ 1-ab Ｂ a Ｍ b ）（Ｃ c Ｏ d Ｎ 1-cd ）〔但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄはそれぞれ原子比で、０＜ａ≦０．２、０≦ｂ≦０．５、０≦ｃ≦０．５、０≦ｄ≦０．３の範囲内、Ｍは元素の周期表のIVａ族、Ｖａ族、VIａ族（Ｃｒを除く）、Ｓｉ、およびＹの中の１種類以上の元素〕にて構成され、(c) 前記第II層は、ＡｌＣｒＮまたはＡｌＣｒＤＮ〔但し、Ｄは元素の周期表のIVａ族、Ｖａ族、VIａ族（Ｃｒを除く）、Ｓｉ、およびＹの中 の何れか１種類の元素、またはＳｉＣ〕にて構成され、(d) 前記第 III層は、Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗの中の１種類以上の元素から成る金属の窒化物、炭窒化物、または炭化物にて構成されていることを特徴とする。 第２発明は、第１発明の硬質被膜において、(a) 前記第Ｉ層と前記第II層との境界部分には両者の混合層が設けられ、(b) その第II層と前記第 III層との境界部分には両者の混合層が設けられていることを特徴とする。 第３発明は、第１発明または第２発明の硬質被膜において、(a) 前記第Ｉ層、前記第II層、および前記第 III層の総膜厚Ｔtotal は０．０５〜１５μｍの範囲内で、(b) 前記第Ｉ層の膜厚Ｔ１は、総膜厚Ｔtotal の１〜５０％の範囲内で、(c) 前記第 III層の膜厚Ｔ３は、総膜厚Ｔtotal の１〜２５％の範囲内で、(d) 前記第II層の膜厚Ｔ２は、（Ｔtotal −Ｔ１−Ｔ３）であることを特徴とする。 第４発明は硬質被膜被覆工具に関するもので、第１発明〜第３発明の何れかの硬質被膜で工具母材の表面が被覆されていることを特徴とする。 第１発明の硬質被膜は、ＡｌＣｒＮまたはＡｌＣｒＤＮ〔但し、Ｄは元素の周期表のIVａ族、Ｖａ族、VIａ族（Ｃｒを除く）、Ｓｉ、およびＹの中の何れか１種類の元素、またはＳｉＣ〕にて構成されている第II層により優れた耐摩耗性が得られるとともに、（Ｃｒ 1-ab Ｂ a Ｍ b ）（Ｃ c Ｏ d Ｎ 1-cd ）〔但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄはそれぞれ原子比で、０＜ａ≦０．２、０≦ｂ≦０．５、０≦ｃ≦０．５、０≦ｄ≦０．３の範囲内、Ｍは元素の周期表のIVａ族、Ｖａ族、VIａ族（Ｃｒを除く）、Ｓｉ、およびＹの中の１種類以上の元素〕にて構成されている最上層の第Ｉ層により優れた耐溶着性が得られる一方、工具母材等の硬質被膜を形成すべき所定の部材と上記第II層との間には、Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗの中の１種� ��以上の元素から成る金属の窒化物、炭窒化物、または炭化物にて構成されている第 III層が介在させられているため、高い付着強度が得られる。 これにより、優れた耐摩耗性、耐溶着性が長期間に亘って安定して得られるようになり、例えば第４発明のような硬質被膜被覆工具の場合、ステンレス鋼に対する切削加工や５０ＨＲＣ以下で溶着し易い被削材に対する切削加工などでも、剥離やチッピング摩耗が抑制され、良好な加工面が得られるとともに、所定の加工性能が安定して得られるようになって工具寿命が向上する。 第２発明では、第Ｉ層と第II層との境界部分に両者の混合層が設けられるとともに、第II層と第 III層との境界部分にも両者の混合層が設けられているため、それ等の第Ｉ層、第II層、および第 III層の相互の付着強度も高くなり、剥離やチッピング摩耗が一層効果的に抑制される。 また、それ等の第Ｉ層〜第 III層をアークイオンプレーティング法やスパッタリング法等のＰＶＤ法で形成する場合、上記混合層が形成されるようにターゲットや反応ガスの切換タイミングを適当に設定することにより、その混合層を含めて第 III層〜第Ｉ層を連続的に効率良く形成することができる。 第３発明では、第Ｉ層〜第 III層の総膜厚Ｔtotal が０．０５〜１５μｍの範囲内で、第Ｉ層の膜厚Ｔ１が総膜厚Ｔtotal の１〜５０％の範囲内で、第 III層の膜厚Ｔ３が総膜厚Ｔtotal の１〜２５％の範囲内で、第II層の膜厚Ｔ２が（Ｔtotal −Ｔ１−Ｔ３）であるため、第Ｉ層による耐溶着性向上、第II層による耐摩耗性向上、および第 III層による付着強度向上の各効果が適切に得られる。 １０：エンドミル（硬質被膜被覆工具） １２：工具母材（所定の部材） ２０：硬質被膜 ２２：第Ｉ層 ２４：第II層 ２６：第 III層 本発明は、エンドミルやタップ、ドリルなどの回転切削工具の他、バイト等の非回転式の切削工具、或いは転造工具など、種々の加工工具の表面に設けられる硬質被膜に好適に適用されるが、半導体装置等の表面保護膜など加工工具以外の部材の表面に設けられる硬質被膜にも適用できる。 硬質被膜の形成手段としては、アークイオンプレーティング法やスパッタリング法等のＰＶＤ法（物理蒸着法）が好適に用いられる。 （Ｃｒ 1-ab Ｂ a Ｍ b ）（Ｃ c Ｏ d Ｎ 1-cd ）〔但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄはそれぞれ原子比で、０＜ａ≦０．２、０≦ｂ≦０．５、０≦ｃ≦０．５、０≦ｄ≦０．３の範囲内、Ｍは元素の周期表のIVａ族、Ｖａ族、VIａ族（Ｃｒを除く）、Ｓｉ、およびＹの中の１種類以上の元素〕から成る第Ｉ層のＭは、１種類の元素であっても良いが２種類以上の元素であっても良く、２種類以上の元素から成る場合は、それ等の原子比の合計が前記ｂの範囲内、すなわち０．５以下であれば良い。 ＡｌＣｒＮまたはＡｌＣｒＤＮ〔但し、Ｄは元素の周期表のIVａ族、Ｖａ族、VIａ族（Ｃｒを除く）、Ｓｉ、およびＹの中の何れか１種類の元素、またはＳｉＣ〕から成る第II層のＤは、前記第Ｉ層のＭとは別個に適宜定められるが、第Ｉ層のＭと同じであっても良い。 第２発明では、第Ｉ層と第II層との境界部分に両者の混合層が設けられ、第II層と第 III層との境界部分に両者の混合層が設けられているが、それ等の混合層は必ずしも必要なく、第Ｉ層の上に直接第II層を形成するとともに、その第II層の上に直接第 III層を形成しても良い。 第Ｉ層と第II層との境界部分、および第II層と第 III層との境界部分の何れか一方のみに混合層が設けられても良い。 第３発明では、総膜厚Ｔtotal が０．０５〜１５μｍの範囲内であるが、０．０５μｍ未満の場合は硬質被膜としての性能が十分に得られず、１５μｍを超えると切削工具の刃先が丸くなるなどして工具性能が損なわれる可能性がある。 第Ｉ層の膜厚Ｔ１は総膜厚Ｔtotal の１〜５０％の範囲内であるが、１％未満では第Ｉ層による耐溶着性の向上効果が十分に得られず、５０％を超えると、第II層による耐摩耗性の向上効果が損なわれる可能性がある。 また、第 III層の膜厚Ｔ３は総膜厚Ｔtotal の１〜２５％の範囲内であるが、１％未満では第 III層による付着強度の向上効果が十分に得られず、２５％を超えると、第II層による耐摩耗性の向上効果が損なわれる可能性がある。 硬質被膜被覆工具の工具母材としては、超硬合金や高速度工具鋼、サーメット、セラミックス、多結晶ダイヤモンド（ＰＣＤ）、単結晶ダイヤモンド、多結晶ＣＢＮ、単結晶ＣＢＮが好適に用いられるが、他の工具材料を採用することもできる。 以下、本発明の実施例を、図面を参照しつつ詳細に説明する。 図１(c) から明らかなように、硬質被膜２０は第Ｉ層２２、第II層２４、および第 III層２６から成る３層構造で、本実施例ではアークイオンプレーティング装置を用いて、ターゲットや反応ガスを切り換えることにより連続的に形成されている。 工具母材１２の表面に接して設けられる第 III層２６は、Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗの中の１種類以上の元素から成る金属の窒化物、炭窒化物、または炭化物にて構成されている。 具体的には、例えば図２の「被膜構造」の「第 III層」の欄に例示されているように、ＴｉＮ、ＣｒＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣｒＮ、ＺｒＮ、ＴｉＡｌＮｂＮ、ＴｉＴａＮ、ＴｉＡｌＺｒＮ、ＺｒＡｌＮ、ＴｉＣｒＮｂＮ、ＴｉＡｌＳｉＣＮ、ＴｉＡｌＣｒＮ、ＴｉＶＳｉＮ、ＴｉＡｌＨｆＮ、ＴｉＡｌＣＮなどである。 なお、図２の被膜構造の欄の各元素の後に記載されている小数は原子比である。 図３も同様である。 上記第 III層２６の上に設けられる第II層２４は、ＡｌＣｒＮまたはＡｌＣｒＤＮ〔但し、Ｄは元素の周期表のIVａ族、Ｖａ族、VIａ族（Ｃｒを除く）、Ｓｉ、およびＹの中の何れか１種類の元素、またはＳｉＣ〕にて構成されている。 具体的には、例えば図２の「被膜構造」の「第II層」の欄に例示されているように、ＡｌＣｒＮ、ＡｌＣｒＨｆＮ、ＡｌＣｒＹＮ、ＡｌＣｒＷＮ、ＡｌＣｒＮｂＮ、ＡｌＣｒＶＮ、ＡｌＣｒＳｉＮ、ＡｌＣｒＴｉＮ、ＡｌＣｒＭｏＮ、ＡｌＣｒＺｒＮ、ＡｌＣｒＳｉＣＮなどである。 この第II層２４と第 III層２６との境界部分には、両者の組成が混ざった混合層が僅かな厚さ（例えば第II層２４の膜厚Ｔ２の１０％以下）で設けられているが、図では省略されている。 この混合層は、第 III層２６を形成するためのターゲットおよび反応ガスから第II層２４を形成するためのターゲットおよび反応ガスに切り換えるタイミングをずらし、第 III層２６を形成するためのターゲットおよび反応ガスと、第II層２４を形成するためのターゲットおよび反応ガスとを、所定時間だけ重複して用いることにより、第 III層２６に連続して形成することができる。 また、その状態で第 III層２６を形成するためのターゲットへの通電（アーク放電）および反応ガスの供給を停止すれば、混合層から連続して第II層２４に切り換えることができる。 なお、反応ガスが共通であれば、ターゲットへの通電のみを切り換えれば良い。 上記第II層２４の上に設けられて硬質被膜２０の表面を構成する最上層の第Ｉ層２２は、（Ｃｒ 1-ab Ｂ a Ｍ b ）（Ｃ c Ｏ d Ｎ 1-cd ）〔但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄはそれぞれ原子比で、０＜ａ≦０．２、０≦ｂ≦０．５、０≦ｃ≦０．５、０≦ｄ≦０．３の範囲内、Ｍは元素の周期表のIVａ族、Ｖａ族、VIａ族（Ｃｒを除く）、Ｓｉ、およびＹの中の１種類以上の元素〕にて構成されている。 具体的には、例えば図２の「被膜構造」の「第Ｉ層」の欄に例示されているように、ＣｒＢＴｉＮ、ＣｒＢＶＮ、ＣｒＢＹＮ、ＣｒＢＳｉＨｆＮ、ＣｒＢＷＮ、ＣｒＢＮｂＮ、ＣｒＢＴａＮ、ＣｒＢＶＣＮ、ＣｒＢＴｉＯＮなどである。 この第Ｉ層２２と第II層２４との境界部分にも、両者の組成が混ざった混合層が僅かな厚さ（例えば第Ｉ層２２の膜厚Ｔ１の１０％以下）で設けられているが、図では省略されている。 この混合層も、前記第II層２４と第 III層２６との境界部分の混合層と同様に連続して形成することができる。 また、上記第Ｉ層２２、第II層２４、および第 III層２６を合わせた硬質被膜２０全体の総膜厚Ｔtotal は０．０５〜１５μｍの範囲内で、第Ｉ層２２の膜厚Ｔ１は総膜厚Ｔtotal の１〜５０％の範囲内、第 III層２６の膜厚Ｔ３は総膜厚Ｔtotal の１〜２５％の範囲内、第II層２４の膜厚Ｔ２は（Ｔtotal −Ｔ１−Ｔ３）である。 図２および図３の膜厚の欄に括弧書きで示されている％は、それぞれ総膜厚Ｔtotal に対する比率である。 このように、本実施例のボールエンドミル１０の硬質被膜２０は、ＡｌＣｒＮまたはＡｌＣｒＤＮにて構成されている第II層２４により優れた耐摩耗性が得られるとともに、（Ｃｒ 1-ab Ｂ a Ｍ b ）（Ｃ c Ｏ d Ｎ 1-cd ）にて構成されている最上層の第Ｉ層２２により優れた耐溶着性が得られる一方、工具母材１２と上記第II層２４との間には、Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗの中の１種類以上の元素から成る金属の窒化物、炭窒化物、または炭化物にて構成されている第 III層２６が介在させられているため、高い付着強度が得られる。 これにより、優れた耐摩耗性、耐溶着性が長期間に亘って安定して得られるようになり、ステンレス鋼に対する切削加工や５０ＨＲＣ以下で溶着し易い被削材に対する切削加工などでも、剥離やチッピング摩耗が抑制され、良好な加工面が得られるとともに、所定の加工性能が安定して得られるようになって工具寿命が向上する。 また、本実施例では、第Ｉ層２２と第II層２４との境界部分に両者の混合層が設けられるとともに、第II層２４と第 III層２６との境界部分にも両者の混合層が設けられているため、それ等の第Ｉ層２２、第II層２４、および第 III層２６の相互の付着強度も高くなり、剥離やチッピング摩耗が一層効果的に抑制される。 本実施例では、それ等の第Ｉ層２２〜第 III層２６がアークイオンプレーティング法によって形成されるため、上記混合層が形成されるようにターゲットや反応ガスの切換タイミングを適当に設定することにより、その混合層を含めて第 III層２６〜第Ｉ層２２を連続的に効率良く形成することができる。 また、本実施例では、第Ｉ層２２〜第 III層２６の総膜厚Ｔtotal が０．０５〜１５μｍの範囲内で、第Ｉ層２２の膜厚Ｔ１が総膜厚Ｔtotal の１〜５０％の範囲内で、第 III層２６の膜厚Ｔ３が総膜厚Ｔtotal の１〜２５％の範囲内で、第II層２４の膜厚Ｔ２が（Ｔtotal −Ｔ１−Ｔ３）であるため、第Ｉ層２２による耐溶着性向上、第II層２４による耐摩耗性向上、および第 III層２６による付着強度向上の各効果が適切に得られる。 次に、工具母材１２が超硬合金製で直径が６ｍｍ（先端Ｒ＝３）、２枚刃の本実施例のボールエンドミル１０（請求項１〜３の要件を満たす本発明品）と、硬質被膜２０を構成している第Ｉ層２２、第II層２４、第 III層２６の有無や被膜組成、原子比、膜厚が請求項１または３の要件を満たしていない比較品とを用意し、以下の加工条件で切削加工を行って２１０ｍ切削加工した後のボール刃１８の逃げ面摩耗幅（ｍｍ）を調べた結果を説明する。 図２は総て本発明品で、図３は総て比較品であり、図３の網掛けを付した欄は請求項１または３の要件から外れている項目である。 また、逃げ面摩耗幅（ｍｍ）は２枚のボール刃１８の平均値で、許容範囲を０．１ｍｍ以下として合否判定を行った。 なお、被膜硬さ（ＨＶ０．０２５）については必ずしも測定が容易でないため、一部の試験品についてのみ調べ、記載の無いものは測定を省略した。 図２の本発明品は、何れも逃げ面摩耗幅が許容範囲内（０．１ｍｍ以下）である。 これに対し、図３の比較品は、何れも逃げ面摩耗幅が許容範囲（０．１ｍｍ）を超えているか、加工途中で欠けが発生して加工不可となり、十分な耐久性（工具寿命）が得られなかった。 被膜硬さＨＶは、図２の本発明品では２７６０〜２９４０であるのに対し、図３の比較品では２６４０〜２９００であるが、測定誤差や個体差を考慮すると殆ど差がないものと考えられ、耐溶着性や付着強度が耐久性（逃げ面摩耗幅）に大きく影響しているものと考えられる。 また、直径が６ｍｍの円柱形状で、先端ラップ面がＲ５の球面とされたテストピースにおいて、そのラップ面に本発明の硬質被膜２０をコーティングしたものと、従来のＡｌＣｒＮのみから成る１層の硬質被膜をコーティングしたものとをそれぞれ２本ずつ用意し、図４に示すピンオンディスク式試験装置を用いて以下の試験条件で摩擦摩耗試験を行ったところ、図５および図６に示す結果（摩耗痕の写真）が得られた。 この場合の本発明の硬質被膜２０は、図２の試料No２６に示すものと同じで、第Ｉ層２２がＣｒ 0.67 Ｂ 0.04 Ｖ 0.29 Ｎ、第II層２４がＡｌ 0.65 Ｃｒ 0.35 Ｎ、第 III層２６がＴｉ 0.6 Ａｌ 0.4 Ｎで、総膜厚Ｔtotal が４．１μｍ、第Ｉ層２２の膜厚Ｔ１＝１．３μｍ（３２％）、第II層２４の膜厚Ｔ２＝１．８μｍ（４４％）、第 III層２６の膜厚Ｔ３＝１μｍ（２４％）である。 図５は相手材がＳ４５Ｃの場合で、図６は相手材がＳＵＳ３０４の場合であり、何れも白の点線で囲った領域が摩耗痕で、本発明品の方が従来品よりも小さく、優れた耐摩耗性が得られることが分かる。 特に、相手材がＳ４５Ｃの図５においては、(b) の従来品では相手材の溶着や被膜の剥離が観察されたのに対し、(a) の本発明品では、そのような溶着や剥離が殆ど見られず、優れた耐溶着性、付着強度が得られる。 以上、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、これ等はあくまでも一実施形態であり、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更，改良を加えた態様で実施することができる。 本発明の硬質被膜は、ＡｌＣｒＮまたはＡｌＣｒＤＮにて構成されている第II層により優れた耐摩耗性が得られるとともに、（Ｃｒ 1-ab Ｂ a Ｍ b ）（Ｃ c Ｏ d Ｎ 1-cd ）にて構成されている最上層の第Ｉ層により優れた耐溶着性が得られる一方、工具母材と上記第II層との間には、Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗの中の１種類以上の元素から成る金属の窒化物、炭窒化物、または炭化物にて構成されている第 III層が介在させられているため、高い付着強度が得られる。 これにより、優れた耐摩耗性、耐溶着性が長期間に亘って安定して得られるようになり、ステンレス鋼に対する切削加工や溶着し易い被削材に対する切削加工などでも、剥離やチッピング摩耗が抑制され、良好な加工面が得られるとともに所定の加工性能が安定して得られるなど、切削加工用の加工工具等の硬質被膜として好適に採用される。 【０００２】 【０００４】 【０００５】 【０００６】 【０００７】 【０００９】 |
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