1.用于将溅射靶的第一部件的连接面结合到溅射靶的第二部件的连接面上的一种方
法，该方法包括以下步骤：
提供一个第一部件和一个第二部件，至少较硬的部件在其连接表面上具有至少一个部
分，该至少一个部分相对于该相同连接表面的至少另一个部分突出并且具有一个切口；
对该第一部件的连接面和该第二部件的连接面进行定位使其互相抵靠；
将该第一部件与该第二部件朝向彼此压制，从而引起该第一部件的连接面的区域以及
第二部件的连接面的区域中的至少一者的材料塑性变形，至少部分地填充至少一个切口由此获得第二部件与第一部件的互锁，
并且没有在所结合的表面区域的主要部分上产生除互锁之外的其他结合的步骤。
2.根据权利要求1所述的方法，其中该第一部件是一个背衬体并且该第二部件是一个
靶段。
3.根据权利要求1所述的方法，其中该第一部件的连接面和第二部件的连接面中的一
个恰在压制之前是平坦的。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所有或大致所有切口在压制步骤过程中是完全地
或大致完全地填充的。
5.根据权利要求1所述的方法，其中所结合的表面区域的至少主要部分是无焊料的。
6.根据权利要求1所述的方法，其中该方法是在不允许在任何实际程度上发生扩散结
合的条件下实施的。
7.根据权利要求1所述的方法，其中前述的这些步骤是产生在该第一部件的连接面与
该第二部件的连接面之间的结合的仅有步骤。
8.根据权利要求1所述的方法，其中该互锁是仅有的结合机制。
9.根据权利要求1所述的方法，其中所提及的这些步骤不是在保护气氛或真空中进行
的。
10.根据权利要求1所述的方法，其中压力主要施加在垂直于该第一部件的连接面和
第二部件的连接面的方向上。
11.根据权利要求1所述的方法，其中该压制步骤是在一个模具中实施的，该模具具有
多个带有曲率的冲头以便在压制过程中将相同的曲率赋予存在于该模具中的、所结合的第一部件与第二部件。
12.根据权利要求1所述的方法，其中该第一部件是一个背衬板。
13.根据权利要求1所述的方法，其中该至少一个突出部分是以一个或几个脊的形式
设置的。
14.根据权利要求13所述的方法，其中这些脊设置为多个同心圆。
15.根据权利要求13所述的方法，其中这些脊的横截面是大致T形的。
16.根据权利要求1所述的方法，其中这些突出部分设置在一个规则的图案中。
17.根据权利要求1所述的方法，其中该至少一个突出部分设置在该第一部件上。
18.根据权利要求1所述的方法，其中该第一部件是铜或铜合金制成的。
19.根据权利要求1所述的方法，其中该第二部件是由来自下组的材料之一或其组合、
混合物或者合金制成的：铝、锂、镁、银、金、铟、锡、铊、铅、铋、锑、镉、钠、钾、铍、钙、锶、钡、碲或基于这些元素的化合物。
20.根据权利要求19所述的方法，其中该第二部件是由铝或铝合金制成的。
21.根据权利要求1所述的方法，其中该压制是在室温与300°C之间的一个温度进行
的。
22.根据权利要求21所述的方法，其中该压制是在200°C与300°C之间的一个温度
进行的。
23.根据权利要求1所述的方法，其中施加在垂直于该第一组件的连接面以及该第二
组件的连接面的方向上的压强分量是在20与120MPa之间，按该第一组件的连接面与第二组件的连接面的所结合部分的总面积进行测量。
24.根据权利要求1所述的方法，其中该结合是可逆的。
25.根据权利要求24所述的方法，其中这些工艺条件和/或该至少一个突出部分的几
何特征被选择为使得通过该第一组件与第二组件的机械分离该结合是可逆的。
26.一种组件，包括溅射靶的一个带有第一连接面的第一部件和溅射靶的一个带有第
二连接面的第二部件，第一和第二连接面互相结合在一起，其中第一和第二连接面各自包含具有一个切口的至少一个突出部分，并且第二部件与第一部件的互锁提供结合强度的至少主要部分，其中焊料结合和/或扩散结合是次要结合机制或者是完全不存在的。
27.根据权利要求26所述的组件，其中该互锁是仅有的结合机制。
28.根据权利要求26和27中任一项所述的组件在一种溅射工艺中的用途。