| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 用于布置在空调技术设备的流动通道中的阀 | CN201310211983.9 | 2013-05-31 | CN103453277A | 2013-12-18 | M.萨德科夫斯基; H.席克斯 |
| 用于布置在空调技术设备的流动通道中的阀。本发明涉及一种用于布置在空调技术设备的流动通道中的阀，其中所述阀具有两个阀面并且能够围绕转动轴旋转地支承，并且其中为了确定气态的、在所述流动通道中流动的介质的体积流量，设有具有至少两个测量位置的装置。为了给出一种例如用于体积流量调节器的阀，所述阀即使在非常小的体积流量的情况下也能够确定高的差压并且进而能实现足够的调节精度，所述阀在其两个阀面上分别具有至少一个空腔，其中每个空腔都设有至少一个空隙、优选设有多个按照穿孔的类型构造的空隙，并且其中一个所述测量位置与一个所述空腔连接并且另一个所述测量位置与另一个所述空腔连接。 | ||||||
| 2 | 流量范围可变型流量控制装置 | CN200680023200.2 | 2006-06-22 | CN101208641B | 2012-11-07 | 大见忠弘; 斋藤雅仁; 日野昭一; 岛津强; 三浦和幸; 西野功二; 永濑正明; 杉田胜幸; 平田薰; 土肥亮介; 广濑隆; 筱原努; 池田信一; 今井智一; 吉田俊英; 田中久士 |
| 本发明涉及一种流量范围可变型流量控制装置，通过一台流量控制装置也能对较广的流量区域的流体进行高精度的流量控制，从而可实现流量控制装置的小型化和设备费用的降低。具体而言，在使用节流孔上游侧压力P1以及或者节流孔下游侧压力P2而以Qc＝KP1(K为比例常数)或者Qc＝KP2m(P1-P2)n(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量的压力式流量控制装置中，将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的节流孔切换并流通。 | ||||||
| 3 | 流量计 | CN200980108040.5 | 2009-03-02 | CN101965504B | 2012-08-22 | 宫田肇; 贺门健一; 伊藤阳一; 别庄大介; 岩本龙志 |
| 基于在流体的使用期间检测到的压力和流量高精确度地检测泄漏等等。通过流量测量单元(106)测量流过流路(102)的气体的流量，并且通过压力测量单元(108)测量压力。测量到的流量数据和测量到的压力数据被输入到分析单元(112)，从而分析流量变化对压力变化的跟随。通过预定的阈值将响应于预定水平或者更多的压力变化量的流量变化量划分到多个范围，并且基于流量变化量的各范围的确定条件确定跟随的流量值变化。 | ||||||
| 4 | 使用压力式流量控制装置的流体非连续式流量切换控制方法 | CN200980118159.0 | 2009-03-10 | CN102037423A | 2011-04-27 | 大见忠弘; 西野功二; 土肥亮介; 永濑正明; 杉田胜幸; 平田薰; 广濑隆; 筱原努; 池田信一; 吉田俊英; 田中久士 |
| 本发明是使用了流量范围可变型流量控制装置的流体流量控制方法，该装置使得压力式流量控制装置的控制阀的下游侧和流体供给用管道之间的流体通道为至少两个以上的并列状流体通道，并且使流体流量特性不同的孔口分别位于所述各并列状的流体通道中，在第1流量域的流体的流量控制中，使所述第1流量域的流体流过一个孔口，并且在第2流量域的流体的流量控制中使所述第2流量域的流体流过至少另一个孔口，选定所述各孔口的流量特性，使得所述小流量的第1流量域的流体的最大控制流量小于所述大流量的第2流量域的最大控制流量的10％，在规定的流量控制误差内流量控制将第1流量域中的可能的最小流量降低。 | ||||||
| 5 | 三重冗余涡流流量计系统 | CN201410320015.6 | 2008-08-22 | CN104132694A | 2014-11-05 | 韦德.马塔; 哈里.W.德斯罗齐尔斯 |
| 本发明涉及一种三重冗余涡流流量计系统。该系统包括第一喷射器，该第一喷射器至少部分地设置在流体管道中并且产生涡流，响应于由第一喷射器产生的涡流的第一流体传感器系统以及响应于由第一喷射器产生的涡流的第二流体传感器系统。该系统还包括第二喷射器，所述第二喷射器至少部分地设置在流体管道中并且在流体管道中产生涡流，并且以一距离与第一喷射器分离开。第三流体传感器系统响应于由第二喷射器产生的涡流。 | ||||||
| 6 | 气体供给装置用流量控制器的校正方法及流量计测方法 | CN201180037208.5 | 2011-06-28 | CN103003766A | 2013-03-27 | 永濑正明; 池田信一; 泽田洋平; 平井畅; 森崎和之; 西野功二; 土肥亮介 |
| 仅将被校正流量控制器的出口侧开闭阀开放而使设定流量的气体向校正单元（5）流入，在箱内气体压力及气体温度稳定的时刻t0，计测第1次的箱内的气体温度T0及气体压力P0，然后将校正单元（5）的出口侧开闭阀（V2）封闭而进行向箱（BT）内的气体的积累，在时刻t1将入口侧开闭阀（V1）封闭，并在该入口侧开闭阀（V1）的封闭后的时刻t2计测第2次的气体温度T2及气体压力P2，根据各计测值将气体流量Q作为Q=（22.4V/R･Δt）×（P2/T2－P0/T0）（其中，V是箱（BT）的内容积，R是气体常数，Δt是积累时间t1－t0）运算，通过设定气体流量与运算气体流量Q的对比进行流量校正。 | ||||||
| 7 | 流量计 | CN200980108040.5 | 2009-03-02 | CN101965504A | 2011-02-02 | 宫田肇; 贺门健一; 伊藤阳一; 别庄大介; 岩本龙志 |
| 基于在流体的使用期间检测到的压力和流量高精确度地检测泄漏等等。通过流量测量单元(106)测量流过流路(102)的气体的流量，并且通过压力测量单元(108)测量压力。测量到的流量数据和测量到的压力数据被输入到分析单元(112)，从而分析流量变化对压力变化的跟随。通过预定的阈值将响应于预定水平或者更多的压力变化量的流量变化量划分到多个范围，并且基于流量变化量的各范围的确定条件确定跟随的流量值变化。 | ||||||
| 8 | 三重冗余涡流流量计系统 | CN200880112725.2 | 2008-08-22 | CN101836090A | 2010-09-15 | 韦德·马塔; 哈里·W·德斯罗齐尔斯 |
| 本发明涉及一种系统。该系统包括第一喷射器，该第一喷射器至少部分地设置在流体管道中并且产生涡流，响应于由第一喷射器产生的涡流的第一流体传感器系统以及响应于由第一喷射器产生的涡流的第二流体传感器系统。该系统还包括第二喷射器，所述第二喷射器至少部分地设置在流体管道中并且在流体管道中产生涡流，并且以一距离与第一喷射器分离开。第三流体传感器系统响应于由第二喷射器产生的涡流。 | ||||||
| 9 | 测量流量的系统和方法 | CN200580043027.8 | 2005-11-29 | CN101167025A | 2008-04-23 | 斯图阿特·A·蒂森; 吕时良 |
| 本发明的一个实施方案可以包括初级流量测量系统、与初级流量测量系统流体连通的次级流量测量系统和与初级流量测量系统和次级流量测量系统耦合的控制器。所述控制器可以包括处理器和用该处理器可存取的存储器。所述处理器能执行储存在所述存储器上的计算机指令在第一操作模式中使用初级流量测量系统计算流速，而在第二操作模式中使用次级流量测量系统计算流速。所述计算机指令是可进一步执行的，以便基于预先定义的参数在第一操作模式和第二操作模式之间切换。 | ||||||
| 10 | 高空隙比多相流体流量计 | CN95117712.5 | 1995-09-13 | CN1131274A | 1996-09-18 | J·阿加; D·法奇 |
| 一种用于测量高空隙率多相流体的流量计及其方法，其中第一流体流动通道包括一与流量节流器串联装设的多相流量测量器件，与第一流体流动通道并联的第二流体流动通道包括一气体流量测量器件。检测在流量计中是否存在液流。当检测到液流时，在第二流体流动通道中的阀门动作切断通过第二流体流动通道的流体。否则控制在第二流体流动通道中的阀门使气流转引通过第二流体流动通道。 | ||||||
| 11 | 用于布置在空调技术设备的流动通道中的阀 | CN201310211983.9 | 2013-05-31 | CN103453277B | 2017-08-18 | M.萨德科夫斯基; H.席克斯 |
| 用于布置在空调技术设备的流动通道中的阀。本发明涉及一种用于布置在空调技术设备的流动通道中的阀，其中所述阀具有两个阀面并且能够围绕转动轴旋转地支承，并且其中为了确定气态的、在所述流动通道中流动的介质的体积流量，设有具有至少两个测量位置的装置。为了给出一种例如用于体积流量调节器的阀，所述阀即使在非常小的体积流量的情况下也能够确定高的差压并且进而能实现足够的调节精度，所述阀在其两个阀面上分别具有至少一个空腔，其中每个空腔都设有至少一个空隙、优选设有多个按照穿孔的类型构造的空隙，并且其中一个所述测量位置与一个所述空腔连接并且另一个所述测量位置与另一个所述空腔连接。 | ||||||
| 12 | 气体供给装置用流量控制器的校正方法及流量计测方法 | CN201180037208.5 | 2011-06-28 | CN103003766B | 2016-01-27 | 永濑正明; 池田信一; 泽田洋平; 平井畅; 森崎和之; 西野功二; 土肥亮介 |
| 仅将被校正流量控制器的出口侧开闭阀开放，而使设定流量的气体向校正单元（5）流入，在箱内气体压力及气体温度稳定的时刻t0，计测第1次的箱内的气体温度T0及气体压力P0，然后将校正单元（5）的出口侧开闭阀（V2）封闭，进行向箱（BT）内的气体的积累，在时刻t1将入口侧开闭阀（V1）封闭，并在该入口侧开闭阀（V1）的封闭后的时刻t2计测第2次的气体温度T2及气体压力P2，根据各计测值将气体流量Q作为Q=（22.4V/R？Δt）×（P2/T2－P0/T0）（其中，V是箱（BT）的内容积，R是气体常数，Δt是积累时间t1－t0）运算，通过设定气体流量与运算气体流量Q的对比进行流量校正。 | ||||||
| 13 | 使用压力流量控制装置的流体非连续式流量切换控制方法 | CN200980118159.0 | 2009-03-10 | CN102037423B | 2014-02-05 | 大见忠弘; 西野功二; 土肥亮介; 永濑正明; 杉田胜幸; 平田薰; 广濑隆; 筱原努; 池田信一; 吉田俊英; 田中久士 |
| 本发明是使用了流量范围可变型流量控制装置的流体流量控制方法，该装置使得压力式流量控制装置的控制阀的下游侧和流体供给用管道之间的流体通道为至少两个以上的并列状流体通道，并且使流体流量特性不同的孔口分别位于所述各并列状的流体通道中，在第1流量域的流体的流量控制中，使所述第1流量域的流体流过一个孔口，并且在第2流量域的流体的流量控制中使所述第2流量域的流体流过至少另一个孔口，选定所述各孔口的流量特性，使得所述小流量的第1流量域的流体的最大控制流量小于所述大流量的第2流量域的最大控制流量的10％，在规定的流量控制误差内流量控制将第1流量域中的可能的最小流量降低。 | ||||||
| 14 | 气体流速校验系统和方法 | CN200910147220.6 | 2006-03-15 | CN101672669B | 2013-10-30 | V·王; R·J·迈内克 |
| 本发明提供一种气体流速校验设备，它可以在多工具半导体处理平台中共用。此气体流速校验设备用来测量测试体积内的压力增长速率和温度，以确定相应的气体流速。所述设备包括：限定在第一室内的第一体积；限定在第二室内的第二体积，第二体积大于第一体积，其中通过至少一个阀门，使第二体积与第一体积相隔离，其中第一体积和第二体积中的每一个，或第一和第二体积两者可选为测量气体流速的测试体积；第一压力测量装置，它在结构上与第一体积或第二体积，或第一和第二体积两者，通过流体联通连接。本发明还提供一种校正质量流控制器的方法。 | ||||||
| 15 | 气体流速校验系统和方法 | CN200910147220.6 | 2006-03-15 | CN101672669A | 2010-03-17 | V·王; R·J·迈内克 |
| 本发明提供一种气体流速校验设备，它可以在多工具半导体处理平台中共用。此气体流速校验设备用来测量测试体积内的压力增长速率和温度，以确定相应的气体流速。所述设备包括：限定在第一室内的第一体积；限定在第二室内的第二体积，第二体积大于第一体积，其中通过至少一个阀门，使第二体积与第一体积相隔离，其中第一体积和第二体积中的每一个，或第一和第二体积两者可选为测量气体流速的测试体积；第一压力测量装置，它在结构上与第一体积或第二体积，或第一和第二体积两者，通过流体联通连接。本发明还提供一种校正质量流控制器的方法。 | ||||||
| 16 | 气体流速校验系统和方法 | CN200680011776.7 | 2006-03-15 | CN100516786C | 2009-07-22 | V·王; R·J·迈内克 |
| 本发明提供一种气体流速校验设备，它可以在多工具半导体处理平台中共用。此气体流速校验设备用来测量测试体积内的压力增长速率和温度，以确定相应的气体流速。此设备包括第一和第二体积，其中第二体积大于第一体积。此设备还包括第一和第二压力测量装置，其中第二压力测量装置能测量较高的压力。根据要测量的目标气体流速，可以选择第一或第二体积作为测试体积，并可选择第一或第二压力测量装置来测量测试体积内的压力。此设备的构造使它能够在较短时间内精确测量很宽范围的气体流速。 | ||||||
| 17 | 流量范围可变型流量控制装置 | CN200680023200.2 | 2006-06-22 | CN101208641A | 2008-06-25 | 大见忠弘; 斋藤雅仁; 日野昭一; 岛津强; 三浦和幸; 西野功二; 永濑正明; 杉田胜幸; 平田薰; 土肥亮介; 广濑隆; 筱原努; 池田信一; 今井智一; 吉田俊英; 田中久士 |
| 本发明涉及一种流量范围可变型流量控制装置，通过一台流量控制装置也能对较广的流量区域的流体进行高精度的流量控制，从而可实现流量控制装置的小型化和设备费用的降低。具体而言，在使用节流孔上游侧压力P1以及或者节流孔下游侧压力P2而以Qc＝KP1(K为比例常数)或者Qc＝KP2m(P1－P2)n(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量的压力式流量控制装置中，将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的节流孔切换并流通。 | ||||||
| 18 | 气体流速校验系统和方法 | CN200680011776.7 | 2006-03-15 | CN101156054A | 2008-04-02 | V·王; R·J·迈内克 |
| 本发明提供一种气体流速校验设备，它可以在多工具半导体处理平台中共用。此气体流速校验设备用来测量测试体积内的压力增长速率和温度，以确定相应的气体流速。此设备包括第一和第二体积，其中第二体积大于第一体积。此设备还包括第一和第二压力测量装置，其中第二压力测量装置能测量较高的压力。根据要测量的目标气体流速，可以选择第一或第二体积作为测试体积，并可选择第一或第二压力测量装置来测量测试体积内的压力。此设备的构造使它能够在较短时间内精确测量很宽范围的气体流速。 | ||||||
| 19 | 多相流体流量计及其测量方法 | CN95117712.5 | 1995-09-13 | CN1066818C | 2001-06-06 | J·阿加; D·法奇 |
| 一种用于测量高空隙率多相流体的流量计及其方法，其中第一流体流动通道包括一与流量节流器串联装设的多相流量测量器件，与第一流体流动通道并联的第二流体流动通道包括一气体流量测量器件。检测在流量计中是否存在液流。当检测到液流时，在第二流体流动通道中的阀门动作切断通过第二流体流动通道的流体。否则控制在第二流体流动通道中的阀门使气流转引通过第二流体流动通道。 | ||||||
| 20 | 유량측정장치 | KR1020140134337 | 2014-10-06 | KR1020160041141A | 2016-04-18 | 황상윤 |
| 본발명은유체가통과하는관로사이에끼워지는대구경의메인관; 상기메인관을통과하는유량을측정하는메인유량계; 상기메인관의입구에결합되어상기입구를개폐하여상기관로로부터상기메인관으로유입되는유량을제어하는제1 게이트밸브; 상기메인관의출구에결합되어출구를개폐하여상기메인관으로부터상기관로로유출되는유량을제어하는제2 게이트밸브; 상기제1 게이트밸트와상기제2 게이트밸브를연결하도록설치되어상기메인관의유로차단시유량을우회시키는소구경의바이패스관; 상기바이패스관의유로를개폐하는보조밸브를포함하는것을특징으로하는유량측정장치를제공한다. | ||||||
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