1.一种用于支持衬底的末端执行器垫，其包含：
中心部分，其沿着纵轴延伸；
环，其围绕所述中心部分延伸，并径向偏离所述中心部分；
分隔膜，其将所述环与所述中心部分连接；以及
一或更多个硬停止结构，其中：
离所述中心部分最远并沿着所述纵轴偏离所述分隔膜的所述环的表面限定第一参考平面，所述第一参考平面垂直于所述纵轴，
离所述中心部分最远的所述一或更多个硬停止结构的一或更多个硬停止表面限定第二参考平面，所述第二参考平面也垂直于所述纵轴，
所述第二参考平面在所述分隔膜与所述第一参考平面之间，且所述中心部分具有延伸穿过其中的一或更多个通道。
2.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述中心部分、所述环、以及所述分隔膜形成连续结构，所述连续结构由具有至少0.8GPa的弹性模量的材料制成。
3.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述分隔膜包括至少三个肋区域，在所述肋区域中所述分隔膜的厚度比在所述肋区域之间的所述分隔膜的区域厚，每个肋区域从所述中心部分延伸到所述环。
4.根据权利要求3所述的末端执行器垫，其中在所述肋区域之间的所述分隔膜的区域具有介于0.003英寸和0.005英寸之间的厚度。
5.根据权利要求3所述的末端执行器垫，其中在所述肋区域之间的所述分隔膜的区域具有介于0.005英寸和0.007英寸之间的厚度。
6.根据权利要求3所述的末端执行器垫，其中在所述肋区域之间的所述分隔膜的区域具有介于0.007英寸和0.009英寸之间的厚度。
7.根据权利要求3所述的末端执行器垫，其中，对于每个肋区域：
最靠近所述第一参考平面的所述肋区域的表面限定第三参考平面，所述第三参考平面垂直于所述纵轴，且所述第二参考平面介于所述第三参考平面与所述第二参考平面之间。
8.根据权利要求3所述的末端执行器垫，其中每个肋区域的至少一部分在横向于径向轴的方向上具有介于0.02英寸和0.04英寸之间的宽度，所述径向轴垂直于所述纵轴。
9.根据权利要求3所述的末端执行器垫，其中所述分隔膜具有四个肋区域。
10.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述环与所述第一参考平面的相交形成接触区域，所述接触区域的径向宽度小于所述环的直径的5％。
11.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述一或更多个硬停止表面具有径向宽度，所述径向宽度小于所述中心部分在垂直于所述纵轴的方向上的最大尺寸的5％。
12.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述一或更多个硬停止结构是环状结构，所述环状结构具有与所述中心部分的直径相同的直径。
13.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述一或更多个硬停止结构是单一结构，所述单一结构提供单一硬停止表面。
14.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述一或更多个硬停止结构包含多个弓形壁区段，所述多个弓形壁区段被配置为围绕所述中心部分的中心轴的圆形阵列。
15.根据权利要求14所述的末端执行器垫，其中：
所述分隔膜包括至少三个肋区域，在所述肋区域中所述分隔膜的厚度比在所述肋区域之间的所述分隔膜的区域厚，每个肋区域从所述中心部分延伸至所述环，且每个弓形壁区段定位在所述肋区域中的对应一者的内端处。
16.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述通道的至少一部分具有六角形横截面形状。
17.根据权利要求16所述的末端执行器垫，其中所述六角形横截面形状的每个转角具有弓形凹口。
18.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述中心部分的外表面的至少一部分是有螺纹的。
19.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述末端执行器垫由塑料制成。
20.根据权利要求19所述的末端执行器垫，其中所述塑料为导电的静电放电级塑料。
21.根据权利要求20所述的末端执行器垫，其中所述塑料是碳填充的聚醚醚酮(PEEK)。
22.根据权利要求20所述的末端执行器垫，其中所述塑料为聚苯并咪唑(PBI)。
23.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述环具有介于0.20英寸和1.50英寸之间的直径。
24.根据权利要求1所述的末端执行器垫，其中所述环具有介于0.40英寸和0.80英寸之间的直径。
25.一种用于晶片搬运机械手上的套件，所述套件包含根据权利要求1到15或18到24中任一项所述的末端执行器垫中的至少三者。
26.根据权利要求25所述的套件，其中所述通道的至少一部分具有六角形横截面形状。
27.根据权利要求26所述的套件，其还包含六角扳手，所述六角扳手被配置成适配在所述通道的具有所述六角形横截面形状的所述部分中。