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发生器

阅读:8发布:2023-01-16

专利汇可以提供发生器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且臭 氧 发生器单元包括在缺乏 粘合剂 的情况下保持该单元的各种层之间 接触 的两个导热板。该单元在单元的放电区域中缺乏包含 铝 的材料。,下面是发生器专利的具体信息内容。

1.一种臭发生器单元,包括:
高压电极层;
两个介电层,所述第一介电层设置在所述高压电极层的第一侧上而所述第二介电层设置在所述高压电极层的所述相对的第二侧上;
两个低压电极层,在所述两个介电层中的每个上设置有一个低压电极层;
两个放电区域,所述第一放电区域部分地由所述高压电极层、设置在所述高压电极层的第一侧上的所述介电层,以及设置在所述高压电极层的第一侧上的所述低压电极层限定,所述第二放电区域部分地由所述高压电极层、设置在所述高压电极层的第二侧上的所述介电层,以及设置在所述高压电极层的第二侧上的所述低压电极层限定;以及两个导热板,所述第一导热板与所述高压电极层的第一侧上的所述低压电极层接触,而所述第二导热板与所述高压电极层的第二侧上的所述低压电极层接触,其中所述两个导热板在缺乏粘合剂的情况下保持位于其间的所述层之间的接触。
2.根据权利要求1所述的臭氧发生器单元,其特征在于,在缺乏粘合剂的情况下保持位于所述第一导热板与所述第二导热板之间的所述层之间的接触产生了所述介电层与所述高压电极层的组合的厚度的减小。
3.根据权利要求2所述的臭氧发生器单元,其特征在于,所述厚度的减小产生了所述低压电极层与所述高压电极层之间的增大的电容。
4.根据权利要求1所述的臭氧发生器单元,其特征在于,使用不包含的材料来制造所述介电层、所述低压电极层,以及所述高压电极层。
5.根据权利要求1所述的臭氧发生器单元,其特征在于,所述臭氧发生器单元包括从各个低压电极层表面朝介电层表面突出的间隔垫片
6.根据权利要求5所述的臭氧发生器单元,其特征在于,所述第一介电层夹在从一个所述低压电极层的表面突出的所述间隔垫片和所述高压电极层的第一侧之间,而所述第二介电层夹在从另一个所述低压电极层的表面突出的所述间隔垫片和所述高压电极层的第二侧之间。
7.根据权利要求5所述的臭氧发生器单元,其特征在于,所述间隔垫片是所述低压电极层的整体结合的部分或是夹在所述介电层与所述低压电极层之间的单独构件。
8.一种用于制造臭氧发生器单元的方法,所述方法包括:
使第一介电层位于高压电极层的第一侧上;
使第二介电层位于所述高压电极层的相对的第二侧上;
使第一低压电极层位于所述第一介电层上以由所述高压电极层、所述第一介电层以及所述低压电极层的组合限定第一放电区域;
使第二低压电极层位于所述第二介电层上以由所述高压电极层、所述第二介电层以及所述第二低压电极层的组合限定第二放电区域;以及
使导热板位于所述第一低压电极层上;
使第二导热板位于所述第二低压电极层上;
向位于所述第一导热板与所述第二导热板之间的所有所述层施加压以在缺乏粘合剂的情况下保持位于其间的所述层之间的接触。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,在缺乏粘合剂的情况下保持位于所述第一导热板与所述第二导热板之间的所述层之间的接触产生了所述低压电极层与所述高压电极层之间的增大的电容。
10.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,在缺乏粘合剂的情况下保持位于所述第一导热板与所述第二导热板之间的所述层之间的接触减小了所述臭氧生成单元中的热变化效果。
11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,所述臭氧生成单元由于缺乏粘合剂而可在较大的温度范围内操作。
12.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,在缺乏粘合剂的情况下保持位于所述第一导热板与所述第二导热板之间的所述层之间的接触产生了所述介电层与所述高压电极层的组合的厚度的减小。
13.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述方法包括使用不包含铝的材料来制造所述介电层、所述低压电极层,以及所述高压电极层。
14.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述方法包括使用组装夹具来相对于彼此定位所述第一介电层、所述高压电极层、所述第二介电层、所述第一低压电极层、所述第二低压电极层、所述第一导热板,以及所述第二导热板。
15.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,间隔垫片从各个低压电极层表面朝介电层表面突出。
16.根据权利要求15所述的方法,其特征在于,所述第一介电层夹在从一个所述低压电极层的表面突出的所述间隔垫片和所述高压电极层的第一侧之间,而所述第二介电层夹在从另一个所述低压电极层的表面突出的所述间隔垫片和所述高压电极层的第二侧之间。
17.一种臭氧发生器单元,包括:
高压电极层;
两个介电层,所述第一介电层设置在所述高压电极层的第一侧上而所述第二介电层设置在所述高压电极层的所述相对的第二侧上;
包括钨的两个低压电极层,在所述两个介电层的每个上设置有一个低压电极层;
两个放电区域,所述第一放电区域部分地由所述高压电极层、设置在所述高压电极层的第一侧上的所述介电层,以及设置在所述高压电极层的第一侧上的所述低压电极层限定,所述第二放电区域部分地由所述高压电极层、设置在所述高压电极层的第二侧上的所述介电层,以及设置在所述高压电极层的第二侧上的所述低压电极层限定;以及两个导热板,所述第一导热板与所述高压电极层的第一侧上的所述低压电极层接触,而所述第二导热板与所述高压电极层的第二侧上的所述低压电极层接触,其中所述两个导热板在缺乏粘合剂的情况下保持位于其间的所述层之间的接触。
18.根据权利要求17所述的臭氧发生器单元,其特征在于,在缺乏粘合剂的情况下保持位于所述第一导热板与所述第二导热板之间的所述层之间的接触产生了所述介电层与所述高压电极层的组合的厚度的减小。
19.根据权利要求17所述的臭氧发生器单元,其特征在于,所述臭氧发生器单元包括从各个低压电极层表面朝介电层表面突出的间隔垫片。
20.根据权利要求19所述的臭氧发生器单元,其特征在于,所述第一介电层夹在从一个所述低压电极层的表面突出的所述间隔垫片和所述高压电极层的第一侧之间,而所述第二介电层夹在从另一个所述低压电极层的表面突出的所述间隔垫片和所述高压电极层的第二侧之间。
21.根据权利要求19所述的臭氧发生器单元,其特征在于,所述间隔垫片是所述低压电极层的整体结合的部分或是夹在所述介电层与所述低压电极层之间的单独构件。
22.一种高浓度的臭氧发生器单元,包括:
使用不包含铝的材料制造的高压电极层;
两个介电层,所述第一介电层设置在所述高压电极层的第一侧上而所述第二介电层设置在所述高压电极层的所述相对的第二侧上;
两个低压电极层,在使用不包含铝的材料制造的所述两个介电层的每个上设置有一个低压电极层;
缺乏含铝材料的两个放电区域,所述第一放电区域部分地由所述高压电极层、设置在所述高压电极层的第一侧上的所述介电层,以及设置在所述高压电极层的第一侧上的所述低压电极层限定,所述第二放电区域部分地由所述高压电极层、设置在所述高压电极层的第二侧上的所述介电层,以及设置在所述高压电极层的第二侧上的所述低压电极层限定;
以及
两个导热板,所述第一导热板与所述高压电极层的第一侧上的所述低压电极层接触,而所述第二导热板与所述高压电极层的第二侧上的所述低压电极层接触,其中所述两个导热板在缺乏粘合剂的情况下保持位于其间的所述层之间的接触以减小所述臭氧发生器单元中的剪切应力

说明书全文

发生器

技术领域

[0001] 当前描述的发明涉及臭氧发生器和用于生成臭氧的方法。

背景技术

[0002] 现有技术的臭氧发生器在延长的时间周期内不能够产生没有掺杂物(例如,氮)的有用的臭氧量。此外,臭氧发生器也不能在产生高浓度臭氧所需的极低的温度下操作。
[0003] 因此,存在对于改善的臭氧发生器和用于生成臭氧的方法的需要。 发明内容
[0004] 本发明的实施例涉及用于以具有减小臭氧发生器单元的构件之间的剪切应的系统产生高纯度的高浓度臭氧的臭氧发生器和方法。这些系统能够在极低的温度下操作且相对于常规系统具有改善的适用性。
[0005] 一方面,本发明特征在于一种包括高压电极层和两个介电层的臭氧发生器单元。第一介电层设置在高压电极层的第一侧上,而第二介电层设置在高压电极层的相对的第二侧上。臭氧发生器单元还包括两个低压电极层。在两个介电层的每个上设置有一个低压电极层。臭氧发生器单元还包括两个放电区域,第一放电区域部分地由高压电极层、设置在高压电极层的第一侧上的介电层,以及设置在高压电极层的第一侧上的低压电极层限定,第二放电区域部分地由高压电极层、设置在高压电极层的第二侧上的介电层,以及设置在高压电极层的第二侧上的低压电极层限定。臭氧发生器单元还包括两个导热板,第一导热板与高压电极层的第一侧上的低压电极层接触,而第二导热板与高压电极层的第二侧上的低压电极层接触,其中两个导热板在缺乏粘合剂的情况下保持位于其间的层之间的接触。
[0006] 在一些实施例中,在缺乏粘合剂的情况下保持位于第一导热板与第二导热板之间的层之间的接触产生了介电层与高压电极层的组合的厚度的减小。在一些实施例中,厚度的减小产生了低压电极层与高压电极层之间的增大的电容。在一些实施例中,使用不包含的材料来制造介电层、低压电极层,以及高压电极层。
[0007] 在一些实施例中,臭氧发生器单元包括从各个低压电极层表面朝介电层表面突出的间隔垫片。在一些实施例中,第一介电层夹在从一个低压电极层的表面突出的间隔垫片和高压电极层的第一侧之间,而第二介电层夹在从另一个低压电极层的表面突出的间隔垫片之间和高压电极层的第二侧。在一些实施例中,间隔垫片是低压电极层的整体结合的部分或是夹在介电层与低压电极层之间的单独构件。
[0008] 另一方面,本发明特征在于一种用于制造臭氧发生器单元的方法。该方法包括使第一介电层位于高压电极层的第一侧上和使第二介电层位于高压电极层的相对的第二侧上。该方法还包括使第一低压电极层位于第一介电层上以由高压电极层、第一介电层以及第一低压电极层的组合限定第一放电区域。该方法还包括使第二低压电极层位于第二介电层上以由高压电极层、第二介电层以及第二低压电极层的组合限定第二放电区域。该方法还包括使第一导热板位于第一低压电极层上和使第二导热板位于第二低压电极层上。该方法还包括向位于第一导热板与第二导热板之间的所有层施加压力以在缺乏粘合剂的情况下保持位于其间的层之间的接触。
[0009] 在一些实施例中,在缺乏粘合剂的情况下保持位于第一导热板与第二导热板之间的层之间的接触产生了低压电极层与高压电极层之间的增大的电容。
[0010] 在一些实施例中,在缺乏粘合剂的情况下保持位于第一导热板与第二导热板之间的层之间的接触减小了臭氧生成单元中的热变化效果。在一些实施例中,臭氧生成单元由于缺乏粘合剂而可在较大的温度范围内操作。
[0011] 在一些实施例中,在缺乏粘合剂的情况下保持位于第一导热板与第二导热板之间的层之间的接触产生了介电层与高压电极层的组合的厚度的减小。在一些实施例中,方法包括使用不包含铝的材料来制造介电层、低压电极层以及高压电极层。在一些实施例中,该方法包括使用组装夹具来相对于彼此定位第一介电层、高压电极层、第二介电层、第一低压电极层、第二低压电极层、第一导热板,以及第二导热板。
[0012] 在一些实施例中,间隔垫片从各个低压电极层表面朝介电层表面突出。在一些实施例中,第一介电层夹在从一个低压电极层的表面突出的间隔垫片和高压电极层的第一侧之间,而第二介电层夹在从另一个低压电极层表面突出的间隔垫片和高压电极层的第二侧之间。
[0013] 另一方面,本发明特征在于一种包括高压电极层和两个介电层的臭氧发生器单元。第一介电层设置在高压电极层的第一侧上而第二介电层设置在高压电极层的相对的第二侧上。臭氧发生器单元还包括包含钨的两个低压电极层,其中在两个介电层中的每个上设置有一个低压电极层。臭氧发生器单元还包括两个放电区域。第一放电区域部分地由高压电极层、设置在高压电极层的第一侧上的介电层,以及设置在高压电极层的第二侧上的低压电极层限定。第二放电区域部分地由高压电极层、设置在高压电极层的第二侧上的介电层,以及设置在高压电极层的第二侧上的低压电极层限定。臭氧发生器单元还包括两个导热板,第一导热板与高压电极层的第一侧上的低压电极层接触,而第二导热板与高压电极层的第二侧上的低压电极层接触,其中两个导热板在缺乏粘合剂的情况下保持位于其间的层之间的接触。
[0014] 在一些实施例中,在缺乏粘合剂的情况下保持位于第一导热板与第二导热板之间的层之间的接触产生了介电层与高压电极层的组合的厚度的减小。在一些实施例中,臭氧发生器单元包括从各个低压电极层表面朝介电层表面突出的间隔垫片。在一些实施例中,第一介电层夹在从一个低压电极层的表面突出的间隔垫片与高压电极层的第一侧之间,而第二介电层夹在从另一个低压电极层的表面突出的间隔垫片和高压电极层的第二侧之间。在一些实施例中,间隔垫片是低压电极层的整体结合的部分或是夹在介电层与低压电极层之间的单独构件。
[0015] 另一方面,本发明特征在于包括使用不包含铝的材料制造的高压电极层的高浓度臭氧发生器单元。该单元还包括两个介电层,第一介电层设置在高压电极层的第一侧上而第二介电层设置在高压电极层的相对的第二侧上。该单元还包括两个低压电极层,在使用不包含铝的材料制造的两个介电层中的每个上设置有一个低压电极层。该单元还包括缺乏包含铝的材料的两个放电区域,第一放电区域部分地由高压电极层、设置在高压电极层的第一侧上的介电层,以及设置在高压电极层的第一侧上的低压电极层限定,第二放电区域部分地由高压电极层、设置在高压电极层的第二侧上的介电层,以及设置在高压电极层的第二侧上的低压电极层限定。该单元还包括两个导热板,第一导热板与高压电极层的第一侧上的低压电极层接触,而第二导热板与高压电极层的第二侧上的低压电极层接触,其中两个导热板在缺乏粘合剂的情况下保持位于其间的层之间的接触以减小臭氧发生器单元中的剪切应力
[0016] 本发明的其它方面和优点将结合仅通过举例的方式示出本发明的原理的附图从以下详细描述中变得明显。

附图说明

[0017] 通过参考所附附图中的以下详细描述将更容易理解本发明的各个实施例的前述特征,在附图中:图1为根据本发明的示范性实施例的臭氧发生器的示意图。
[0018] 图2A为根据本发明的示范性实施例的臭氧发生器单元的分解视图的示意图。
[0019] 图2B为根据本发明的示范性实施例的图2A的臭氧发生器单元的一部分的更详细的视图。
[0020] 图2C为根据本发明的示范性实施例的图2A的低压电极层表面的示意图。
[0021] 图2D为根据本发明的示范性实施例的图2A的臭氧发生器单元的组装视图的示意图。
[0022] 图2E为根据本发明的示范性实施例的图2D的臭氧发生器单元的一部分的更详细的视图。
[0023] 图3为根据本发明的示范性实施例的臭氧发生器的示意图。

具体实施方式

[0024] 图1为根据本发明的示范性实施例的臭氧发生器100的示意图。臭氧发生器100构造成用以以通常被称为是介质阻挡放电(DBD)构造的放电构造类型来操作。该构造通常被描述为包括由至少一个介电绝缘体分离的两个载流的平面或圆柱形的金属电极。在金属电极之间应用高振幅的AC电压导致电极之间的区域中的一系列短暂的放电(微放电)。如果氧或氧与掺杂物(例如,氮)的混合物给送到间隙中且通过放电区域,则产生了臭氧。
[0025] 臭氧发生器100包括五个臭氧发生器单元104a,104b,104c,104d和104e(统称为104)。各个臭氧发生器单元104均包括高压电极层108(例如,金属电极(例如,钨电极))。
各个单元104均还包括两个介电层(112a和112b,统称为112)。第一介电层112a设置在高压电极层108的第一侧上而第二介电层112b设置在高压电极层108的相对的第二侧。
[0026] 单元104还包括两个低压电极层(第一低压电极层116a和第二低压电极层116b,统称为116)。在两个介电层112上分别设置一个低压电极层116(例如,低压电极层116a设置在介电层112a上)/分别邻近两个介电层112的每个设置一个低压电极层116。在一些实施例中,低压电极层116为电性地接地的钨电极。放电区域中的铝的存在(例如,如果电极层是使用铝来制造的)将减小臭氧生成效率且减少臭氧发生器单元的寿命。由于放电区域中的构件(例如,介电层、低压电极层以及高压电极层)使用不包含铝的材料来制造,故有可能创造出产生高浓度的臭氧且防止系统的长期退化的臭氧发生器。在放电区域中缺乏铝的情况下,不再需要在供应到臭氧发生器的氧中包括掺杂物(例如,氮)。
[0027] 臭氧发生器单元104还包括两个导热板120a和120b(统称为120)。第一导热板120a与高压电极层108的第一侧上的第一低压电极层116a接触,而第二导热板120b与高压电极层108的第二侧上的第二低压电极层116b接触。两个导热板120a和120b构造成用以向位于板之间的构件(例如,高压电极层、介电层、低压电极层)施加力,以在缺乏粘合剂的情况下保持位于其间的层之间的接触。由于在构件之间未使用粘合剂,故减小了构件之间的剪切应力;这减小了系统对优选为用于生成臭氧的极低温度的敏感度和脆弱度。此外,剪切应力的减小允许在较大温度范围内操作臭氧发生器。
[0028] 在该实施例中,导热板120具有流体输入件136a和流体输出件136b。流体输入件136a构造成用以接收来自冷却剂流体源(未示出)的流体到位于板120内的腔中。流体输出件136b构造成用以从该腔中输出流体。由放电过程生成的应用到导热板120上的热转移到腔中的流体上;然后在流体从流体输出件136b中输出时除去热。
[0029] 各个臭氧发生器单元104均由两个导热板120界定。邻近于另一个臭氧发生器单元104定位的臭氧发生器单元104共用公共的导热板。例如,导热板120b由臭氧发生器单元104a和由臭氧发生器单元104b共用/使用,以向相应的臭氧发生器单元的构件施加力且冷却臭氧发生器单元。
[0030] 臭氧发生器100还包括夹具底座124和弹簧加载的夹板128。弹簧加载的夹板128以多个螺钉附接于底板124上使得弹簧加载的夹板128向位于其间的臭氧发生器单元
104a,104b,104c,104d和104e的叠层施加力。臭氧发生器100还包括在底板124的凹槽表面140处与底板124配合的盖(为了示图清楚目的而未示出)。该盖产生了密封室,当盖与底板124配合时,臭氧发生器单元和板128位于该密封室内。
[0031] 图2A为根据本发明的示范性实施例的臭氧发生器单元204(例如,图1的单元104)的分解视图的示意图。臭氧发生器单元204包括高压电极层208。该单元204还包括两个介电层212a和212b。第一介电层212a设置在高压电极层208的第一侧210a上而第二介电层212b设置在高压电极层208的相对的第二侧210b上。
[0032] 单元204还包括第一低压电极层216a和第二低压电极层216b。低压电极层216a设置在第一介电层212a上。低压电极层216b设置在第二介电层212b上。图2B为图2A的臭氧发生器单元204的一部分的更详细的视图。第二低压电极层216b包括位于朝第二介电层212b和高压电极层208(参照图2A)突出的第二低压电极层216b的表面250b上的多个间隔垫片240。图2C为图2A和图2B的低压电极层216b的表面250b的示意图。间隔垫片240分布在整个低压电极层216b的表面250b上。
[0033] 低压电极层216、高压电极层208、介电层212、导热板220具有轴向对准的孔口280。供应到臭氧发生器单元的气体朝臭氧发生器单元的中心流入臭氧发生器单元的外边缘。在气体朝臭氧发生器单元的中心流动时,臭氧发生器单元内产生了放电(例如,如相对于图2E描述的)。放电产生臭氧,然后臭氧流过中心孔口280且流到臭氧发生器的气体输出件。
[0034] 可使用各种方法来产生间隔垫片240。在一些实施例中,间隔垫片240通过蚀刻间隔垫片的期望位置周围的第二低压电极的表面250b使得间隔垫片从表面250b突出来产生。在一些实施例中,间隔垫片240的材料在表面250b上筛过,且然后燃烧以产生间隔垫片240。在一些实施例中,间隔垫片240通过在第二低压电极216b的表面250b中产生凹痕来形成(例如,通过使用冲压或其它机械方法来引起第二低压电极层的材料起凹痕)。在备选实施例中可使用其它方法(例如,电真空蒸发、溅射)。在一些实施例中,间隔垫片240为通过摩擦固持在适当的位置且位于低压电极层216b的表面250b与第二介电层212b之间的单独材料片(或多种材料片)。
[0035] 尽管未示出,但第一低压电极层216a还包括位于朝第一介电层212a和高压电极层208(参照图2A)突出的第一低压电极层216a的表面上的多个间隔垫片。 [0036] 臭氧发生器单元204还包括两个导热板220a和220b(参照图2A)。第一导热板220a位于高压电极层208的第一侧210a上的第一低压电极层216a上,而第二导热板220b位于高压电极层208的第二侧210b上的第二低压电极层216b上。两个导热板220a和220b构造成用以向位于板之间的构件施加力,以在缺乏粘合剂的情况下保持位于其间的层之间的接触。
[0037] 图2D为在臭氧发生器的构件在第一导热板220a与第二导热板220b之间已经夹在一起之后的图2A的臭氧发生器单元204的分解视图的示意图。图2E为图2D的臭氧发生器单元204的一部分的更详细的视图。间隙260由第二介电层212b、低压电极层216b和间隔垫片240的组合限定。高压引线(未示出)以在间隙260的区域中足够引起放电的电压平来相对于低压电极层216b激励高压电极层208。如果臭氧发生器单元204的间隙260中引入了氧,则放电产生臭氧。
[0038] 由发明人实施的实验论证了具有适合的金属电极的无掺杂物的臭氧发生器中的臭氧的主源具有光催化起源。在一些实施例中,由于材料的光催化性质,故使用了氧化钨。氧化钨在使用中变得稍微缺氧且产生的氧化物为n-型半导体。分子氧为电负性的,且在其- -
吸引了电子时,形成O2。这产生了n-型氧化钨表面上的O2 层。在氧化钨吸收光子(γ)- -
时形成了电子-空穴对。该空穴(其为O)转移到表面且与O2 组合以形成臭氧。在该反应中消耗的来自氧化钨的晶格氧通过氧化物与放电的接触和氧通过氧化钨的扩散来补充。
放电中的电子通过与放电中的氧种类的自由-自由和自由-边界碰撞来产生光子。电子还破坏臭氧,且激励分子氧和使分子氧去激励。光子产生了光催化剂表面(例如,低压电极层
216b的氧化钨表面)上的臭氧且破坏气相的臭氧。气相反应组合存在于气体中的氧种类且产生臭氧和分子氧。
[0039] 所获得的理解中的一者是实现气相反应由于由光催化剂上生成的源臭氧的破坏引起的原子氧产生臭氧。该气相反应与温度有关,其中在气体温度增大时反应速率减小。臭氧的生成随在该类型的典型发生器中观察到的气体温度的增大而减少是由于减小的气相反应速率而不是由于臭氧的热分解。由放电发出的光子由间隙260中的放电空间中的臭氧吸收。该吸收具有两个影响:其破坏臭氧和减小产生臭氧的光子到光催化表面的通量。这些效果可通过使间隙270(第二低压电极层216b与第二介电层212b之间的距离)更小来使光子的路径长度尽可能短地穿过包含臭氧的气体来最小化。使间隙270更小的附加益处为高压电极层208和介电层212的组合的电容增大。增大的电容减小了供应到高压电极层以产生臭氧的电压大小。
[0040] 图3为根据本发明的示范性实施例的臭氧发生器300的示意图。臭氧发生器300包括多个堆叠的臭氧发生器单元304(例如,图1的单元104)。臭氧发生器单元304位于由附接于(例如,焊接)底板320(图1的底板124)上的盖316限定的密封室318中。臭氧发生器300包括向臭氧发生器单元304的高压电极层312(例如,图1的臭氧发生器单元104的高压层108)提供高压信号的高压电源308。
[0041] 臭氧发生器300还包括冷却剂流体源324和冷却剂排出装置328。冷却剂源324向臭氧发生器单元304的导热板334的流体输入件332提供冷却剂。冷却剂流过导板334内的腔且经由臭氧发生器单元304的流体输出件336输出冷却剂到冷却剂排出装置328。
[0042] 臭氧发生器单元300还包括向密封室318供应气体流的气体源340(例如,氧源)。气体朝臭氧发生器单元的中心354流入臭氧发生器单元304的边缘350。在气体朝臭氧发生器单元304的中心354流动时,在臭氧发生器单元304内产生了放电(例如,如以上相对于图2E描述的)。放电产生臭氧,然后臭氧穿过臭氧发生器单元304中的孔口(例如,图
2C的中心孔口280)流到气体输出件344。
[0043] 包含、包括,和/或分别的多种形式为开放式的且包括所列出的部分,以及可包括未列出的附加部分。和/或为开放式的且包括一个或多个列出部分以及列出部分的组合。 [0044] 本领域中的技术人员将认识到,在不脱离本发明的精神或基本特点的情况下,本发明可以以其它具体形式来体现。因此,前述实施例在所有方面都考虑为示例性的而不是限制本文描述的发明。因此,本发明的范围由所附权利要求指出而不是由前述描述指出,且因此落在权利要求的相等物的意思和范围内的所有变化都旨在涵盖在其中。
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