一种日盲紫外探测器结构、制备方法及性能测试方法
专利汇可以提供一种日盲紫外探测器结构、制备方法及性能测试方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 专利 公布了一种日盲紫外探测器结构、制备方法及性能测试方法，结构包括Ni/Au 电极 、Al0.4Ga0.6N有源层、低温AlN成核层、高温AlN 缓冲层 和图形化蓝 宝石 衬底。日盲紫外探测器制备方法，首先在衬底上生长获得器件低温AlN成核、Al0.4Ga0.6N有源层和高温AlN缓冲层的 外延 结构，同时在Al0.4Ga0.6N有源层上蒸 镀 Ni/Au电极，用来表征半透明电极的透过率和 电阻 率 ，Ti/Au电极作为 接触 电极，最后，整个器件快速热 退火 。性能测试方法包括：通过 显微镜 观察探测器表面是否存在裂纹，若无裂纹则说明探测器 质量 达到要求。本发明益处在于：与无退火的日盲紫外探测器相比，性能变得更加稳定；采用高温AlN缓冲层技术可以获得极低暗 电流 ；采用图形化蓝宝石衬底具有更好的 量子效率 。，下面是一种日盲紫外探测器结构、制备方法及性能测试方法专利的具体信息内容。
1.一种日盲紫外探测器结构，其特征在于：包括Ni/Au电极(5)、Al0.4Ga0.6N有源层(4)、低温AlN成核层(2)、高温AlN缓冲层(3)和图形化蓝宝石衬底(1)，所述Al0.4Ga0.6N有源层(4)的表面布置有Ni/Au电极(5)，所述AlN缓冲层布置在Al0.4Ga0.6N有源层(4)与蓝宝石衬底(1)之间。
2.如权利要求1所述一种日盲紫外探测器结构，其特征在于，所述低温AlN成核层(2)厚度为0.3μm。
3.如权利要求1所述一种日盲紫外探测器结构，其特征在于，所述高温AlN缓冲层(3)厚度为0.3μm。
4.如权利要求1所述一种日盲紫外探测器结构，其特征在于，所述Al0.4Ga0.6N有源层(4)厚度为0.5μm。
5.一种日盲紫外探测器制备方法，其特征在于：首先通过金属有机物化学气相淀积技术在蓝宝石衬底(1)上生长获得低温AlN成核层(2)、高温AlN缓冲层(3)和Al0.4Ga0.6N有源层(4)的外延结构，同时在Al0.4Ga0.6N有源层(4)上蒸镀Ni/Au电极(5)，最后，整个器件在250℃的N2氛围中快速热退火200s。
6.一种日盲紫外探测器性能测试方法，其特征在于：通过显微镜的观察，发现探测器表面是否存在裂纹的情况，判断探测器质量是否达到要求，若无裂纹，则说明探测器质量达到要求，若有裂纹，则说明探测器质量未达到要求；通过扫描电子显微镜观察，发现探测器表面形貌是否平整，若平整，则说明探测器质量达到要求，若不平整，则说明探测器质量未达到要求；通过Lambda光度计测量Al0.4Ga0.6N有源层(4)光谱透过率判断Al0.4Ga0.6N有源层(4)材料中Al组分的含量，光谱中长波波段透过率越高，证明Al0.4Ga0.6N有源层(4)结构的界面质量越好。
一种日盲紫外探测器结构、制备方法及性能测试方法
技术领域
背景技术
发明内容
具体实施方式
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 扫描电子显微镜温度调节系统及方法 | 2020-05-11 | 577 |
| 一种透射电子显微镜用原位样品杆 | 2020-05-14 | 19 |
| 一种制备掺钴氧化锌纳米阵列的方法 | 2020-05-19 | 840 |
| 一种分子结光学近场显微镜系统及其构造方法 | 2020-05-23 | 596 |
| 光致超弱发光成像技术鉴定地沟油的方法及系统 | 2020-05-25 | 200 |
| 荧光显微内窥成像系统及荧光显微内窥成像方法 | 2020-05-13 | 594 |
| 一种利用电子束辐照碳碳键融合碳纳米管的技术 | 2020-05-14 | 22 |
| 一种测定泥页岩储层不同孔径孔隙对孔隙度贡献的方法 | 2020-05-20 | 611 |
| 基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统及方法 | 2020-05-11 | 933 |
| 多功能镜下显微病理研究仪 | 2020-05-16 | 855 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
