一种确定工件台光电传感器最佳高度的方法
专利汇可以提供一种确定工件台光电传感器最佳高度的方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供一种确定 工件 台光电 传感器 最佳高度的方法，包括步骤：a.该工件台携带该 光电传感器 垂向移动至一高度；b.记录该高度，且该光电传感器测量无半影效应的透光区光强作为该高度的参考光强；c.该工件台携带该光电传感器在该高度之 水 平向移动，该光电传感器测量水平向不同 位置 上的光强；d.该光电传感器依据其所测得的水平向不同位置的光强确定一预定光强的水平位置，并记录该预定光强的水平位置；e该工件台携带该光电传感器垂向移动至一下高度，并重复执行该步骤b至d，直至所有待测的垂向高度测试完成以获得垂向不同高度的预定光强的水平位置；以及f.根据所记录的不同高度及该些高度所对应的预定光强的水平位置进行求极值运算，所得的极值点即为该光电传感器的最佳高度。，下面是一种确定工件台光电传感器最佳高度的方法专利的具体信息内容。
1.一种确定工件台光电传感器最佳高度的方法，其特征在于该方法包括步骤：
a.该工件台携带该光电传感器垂向移动至一高度；
b.记录该高度，且该光电传感器测量无半影效应的透光区光强作为该高度的参考光强；
c.该工件台携带该光电传感器在该高度之水平向移动，该光电传感器测量水平向不同位置上的光强；
d.该光电传感器依据其所测得的水平向不同位置的光强确定一预定光强的水平位置，并记录该预定光强的水平位置；
e.该工件台携带该光电传感器垂向移动至一下高度，并重复执行该步骤b至d，直至所有待测的垂向高度测试完成以获得垂向不同高度的预定光强的水平位置；以及f.根据所记录的不同高度及该些高度所对应的预定光强的水平位置进行进行求极值运算，所得的极值点即为该光电传感器的最佳高度。
2.根据权利要求1所述的确定工件台光电传感器最佳高度的方法，其特征在于该预定光强的水平位置是通过收敛方法获得。
3.根据权利要求1所述的确定工件台光电传感器最佳高度的方法，其特征在于该收敛方法为折线法或者两分法。
4.根据权利要求1所述的确定工件台光电传感器最佳高度的方法，其特征在于该预定光强的水平位置是指该光电传感器正负离焦时，该预定光强对应水平位置有相同的偏移趋势。
5.根据权利要求3所述的确定工件台光电传感器最佳高度的方法，其特征在于该预定光强为该参考光强的50％-90％。
6.根据权利要求1所述的确定工件台光电传感器最佳高度的方法，其特征在于该步骤f中的求极值运算的方法为曲线拟合或收敛法。
7.根据权利要求1所述的确定工件台光电传感器最佳高度的方法，其特征在于在步骤c中，该光电传感器是在该水平向不同位置之每一位置多次采样，并取多次采样的平均值作为该位置处的光强。
一种确定工件台光电传感器最佳高度的方法
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