多晶硅薄膜太阳能电池专用设备
专利汇可以提供多晶硅薄膜太阳能电池专用设备专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种多晶 硅 薄膜 太阳能 电池 专用设备，包括设置在炉管中对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器，进气管通过容器上的开口伸入容器中，在容器开口处近侧，设置有向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置。本发明结构合理，采用高压惰性气体对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器开口处进行密封，密封效果好，有效提高工作效率。，下面是多晶硅薄膜太阳能电池专用设备专利的具体信息内容。
1、一种多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，包括设置在炉管中对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器，进气管通过容器上的开口伸入容器中，其特征是：在容器开口处近侧，设置有向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置。
2、 根据权利要求1所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，其特 征是：容器开口处呈扩大的喇叭口形。
3、 根据权利要求1或2所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备， 其特征是：向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置包括套装在进气管 上的惰性气体管，惰性气体管的端部设置喷射孔，且多个喷射孔沿惰性 气体管的圆周方向均匀布置。
4、 根据权利要求1或2所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备， 其特征是：向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置为设置在容器开口 部位壁上的惰性气体孔。
5、 根据权利要求1或2所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备， 其特征是：进气管主体为陶瓷管，陶瓷管外壁上包有铂层。
6、 根据权利要求3所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，其特征是：惰性气体管是铂材料的管子。
7、 根据权利要求1或2所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，其特征是：所述惰性气体是氩气。
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