钛升华泵
阅读：300发布：2020-05-13
专利汇可以提供钛升华泵专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种 钛 升华 泵 ，它是由 泵壳 、泵壳上的抽气口、线状通电 蒸发 源、 挡板 、电源组成。所述档板是设置在抽气口与线状通电蒸发源前部之间的空间里，挡板的外周在线状通电蒸发源后部与抽气口边缘形成的封闭曲面以外。本实用新型具有抽速大、结构简单、运行 费用 低、使用寿命长的特点。，下面是钛升华泵专利的具体信息内容。
钛升华泵
技术领域
本实用新型涉及一种在超真空泵条件下的物理分析仪器、加速器等领域上使用的钛升华泵。
技术背景利用活性气体能起吸附作用的材料通电蒸发在真空容器内表面形成薄膜，该薄膜吸附真空容器内气体分子来达到超高真空的方法是很成熟的方法。通常为避免上述蒸发材料污染真空容器，真空容器通过抽气口连接一个升华泵。升华泵泵腔内壁形成的蒸发材料薄膜的面积越大，升华泵的抽气速度越大，众所周知，当升华泵与真空容器相连时，要相连的部分的流导尽可能大，以此来充分发挥泵的抽气能力。也就是升华泵的抽气口的口径越大抽气效果越好。但是通电蒸发材料一旦蒸发，材料就从抽气口飞到真空容器内形成污染，特别是沾在绝缘材料表面，会造成表面漏电等故障。虽然国内生产的升华泵在泵内设挡板，还是不能满足超高真空的要求。如果在中、高真空系统上使用，由于升华泵是靠钛的蒸发沉积来工作的，系统的真空度不高，新鲜钛膜很快就会饱和，要不断的升华才能维持抽气作用，钛膜将很快耗尽。因此在中、高真空状态下(10-6Pa以下)使用需要经常更换钛源(钛丝或钛球)很麻烦，许多场合下也不允许。而且在不断的升华过程中，要维持一个相对稳定的抽速，就要不断的调节钛升华率，操作和控制难度较大。为了获得更大的抽速，国内外设计的升华泵外壳都有水冷系统或液氮系统，造价高且运行麻烦、寿命短。因此多年来升华泵在国内使用率很低。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种抽气速度高、结构简单、造价低的钛升华泵。
本实用新型的目的是这样实现的，它是由泵壳、泵壳上的抽气口、线状通电蒸发源、挡板、电源组成。所述档板是设置在抽气口与线状通电蒸发源前部之间的空间里，挡板的外周在线状通电蒸发源后部与抽气口边缘形成的封闭曲面以外。
由于在升华泵内设置挡板的大小与安排的位置影响抽气速度，而本实用新型提供了保证最大抽速的挡板的大小及其设置位置的关系，因此具有抽速大、结构简单、运行费用低、使用寿命长的特点。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构示意图具体实施方式参照图1，本实用新型的泵壳1上有一个抽气口9，抽气口9是与真空容器相连，泵壳1的泵腔内设置线状通电蒸发源，线状通电蒸发源是置于抽气口9的中心轴线附近，而蒸发源蒸发的薄膜是形成在蒸发源为对称轴心的泵腔内壁上。线状通电蒸发源是由至少l根钛丝3、加热电极4、接地电极5采用陶瓷封接工艺(封接件漏率≤1×10-8Pa.l/s)与支承座6封接在一起。钛丝3是采用钛钼合金丝，加热电极4是两片瓦形电极片，钛丝3的端部是夹置在两片瓦形电极片中，这样使得钛丝3和加热电极4为面接触，可以减少接触电阻，使电极部分的发热减少，同时减少了电源的损耗，也减少了钛丝在电极部位的断裂次数，延长了寿命。如果采用3根或3根以上钛丝，其钛丝是圆环形布设，这样可以增大钛丝之间的距离，避免位置狭小可能造成的钛丝之间的短路现象。能承受大电流、低电压，并能承受高温烘烤的插座与电极做成一体，相应的插头与之相连供电。在抽气口9与线状通电蒸发源前部7之间的空间里设置档板2，挡板2的外周在线状通电蒸发源后部8与抽气口9边缘形成的封闭曲面以外。这样可以有效地阻挡蒸发材料飞出抽气口到达真空容器以内。从气体分子运动学可知，挡板2的设置会减少蒸发薄膜的抽气效果，配置在线状通电蒸发源前部7对抽气速度影响是最小，但由于制造上的原因挡板不能安装在线状通电蒸发源前部7，而只能配置在抽气口9与线状通电蒸发源前部7之间时，特别是在蒸发薄膜的外周大于抽气口9(通常是这样)时，从实验上得出，只要挡板外周与抽气口形成的曲面面积与抽气口的面积相当，这时也能达到相当好的抽气效果。
技术背景利用活性气体能起吸附作用的材料通电蒸发在真空容器内表面形成薄膜，该薄膜吸附真空容器内气体分子来达到超高真空的方法是很成熟的方法。通常为避免上述蒸发材料污染真空容器，真空容器通过抽气口连接一个升华泵。升华泵泵腔内壁形成的蒸发材料薄膜的面积越大，升华泵的抽气速度越大，众所周知，当升华泵与真空容器相连时，要相连的部分的流导尽可能大，以此来充分发挥泵的抽气能力。也就是升华泵的抽气口的口径越大抽气效果越好。但是通电蒸发材料一旦蒸发，材料就从抽气口飞到真空容器内形成污染，特别是沾在绝缘材料表面，会造成表面漏电等故障。虽然国内生产的升华泵在泵内设挡板，还是不能满足超高真空的要求。如果在中、高真空系统上使用，由于升华泵是靠钛的蒸发沉积来工作的，系统的真空度不高，新鲜钛膜很快就会饱和，要不断的升华才能维持抽气作用，钛膜将很快耗尽。因此在中、高真空状态下(10-6Pa以下)使用需要经常更换钛源(钛丝或钛球)很麻烦，许多场合下也不允许。而且在不断的升华过程中，要维持一个相对稳定的抽速，就要不断的调节钛升华率，操作和控制难度较大。为了获得更大的抽速，国内外设计的升华泵外壳都有水冷系统或液氮系统，造价高且运行麻烦、寿命短。因此多年来升华泵在国内使用率很低。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种抽气速度高、结构简单、造价低的钛升华泵。
本实用新型的目的是这样实现的，它是由泵壳、泵壳上的抽气口、线状通电蒸发源、挡板、电源组成。所述档板是设置在抽气口与线状通电蒸发源前部之间的空间里，挡板的外周在线状通电蒸发源后部与抽气口边缘形成的封闭曲面以外。
由于在升华泵内设置挡板的大小与安排的位置影响抽气速度，而本实用新型提供了保证最大抽速的挡板的大小及其设置位置的关系，因此具有抽速大、结构简单、运行费用低、使用寿命长的特点。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构示意图具体实施方式参照图1，本实用新型的泵壳1上有一个抽气口9，抽气口9是与真空容器相连，泵壳1的泵腔内设置线状通电蒸发源，线状通电蒸发源是置于抽气口9的中心轴线附近，而蒸发源蒸发的薄膜是形成在蒸发源为对称轴心的泵腔内壁上。线状通电蒸发源是由至少l根钛丝3、加热电极4、接地电极5采用陶瓷封接工艺(封接件漏率≤1×10-8Pa.l/s)与支承座6封接在一起。钛丝3是采用钛钼合金丝，加热电极4是两片瓦形电极片，钛丝3的端部是夹置在两片瓦形电极片中，这样使得钛丝3和加热电极4为面接触，可以减少接触电阻，使电极部分的发热减少，同时减少了电源的损耗，也减少了钛丝在电极部位的断裂次数，延长了寿命。如果采用3根或3根以上钛丝，其钛丝是圆环形布设，这样可以增大钛丝之间的距离，避免位置狭小可能造成的钛丝之间的短路现象。能承受大电流、低电压，并能承受高温烘烤的插座与电极做成一体，相应的插头与之相连供电。在抽气口9与线状通电蒸发源前部7之间的空间里设置档板2，挡板2的外周在线状通电蒸发源后部8与抽气口9边缘形成的封闭曲面以外。这样可以有效地阻挡蒸发材料飞出抽气口到达真空容器以内。从气体分子运动学可知，挡板2的设置会减少蒸发薄膜的抽气效果，配置在线状通电蒸发源前部7对抽气速度影响是最小，但由于制造上的原因挡板不能安装在线状通电蒸发源前部7，而只能配置在抽气口9与线状通电蒸发源前部7之间时，特别是在蒸发薄膜的外周大于抽气口9(通常是这样)时，从实验上得出，只要挡板外周与抽气口形成的曲面面积与抽气口的面积相当，这时也能达到相当好的抽气效果。
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