一种微等离子体氧化处理装置
专利汇可以提供一种微等离子体氧化处理装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型属涉及一种微 等离子体 氧 化处理装置，由脉冲电源、负极、正极、 电解 质液、 阳极 电极 、 阴极 电极、氧化处理槽组成，脉冲电源的正极和阳极电极相连，负极和阴极电极相连，阳极电极和阴极电极插入置有电解液的微 等离子体氧化 处理槽中，微等离子体氧化处理槽中设有冷却管道，微等离子体氧化处理槽内的下端设有搅拌器。 电解质 溶液为酸性介质Ba(OH)2，同时添加含有WO42－，Mo7O242－、SnO32－酸根离子的盐。本实用新型的有益效果是，结构简单，操作方便，成本低，可直接在金属表面成膜。，下面是一种微等离子体氧化处理装置专利的具体信息内容。
1.一种微等离子体氧化处理装置，其特征在于，由脉冲电源(1)、负极(2)、 正极(3)、电解质溶液(4)、阳极电极(5)、阴极电极(8)、氧化处理槽(9) 组成，脉冲电源(1)的正极(3)和阳极电极(5)相连，负极(2)和阴极电 极(8)相连，阳极电极(5)和阴极电极(8)插入置有电解液(4)的微等离 子体氧化处理槽(9)中，微等离子体氧化处理槽(9)中设有冷却管道(6)， 微等离子体氧化处理槽(9)内的下端设有搅拌器(7)。
2.如权利要求1所述的一种微等离子体氧化处理装置，其特征在于，所述 的电解质溶液(4)为酸性介质Ba(OH)2或同时添加含有WO42-，Mo7O242-、SnO32- 酸根离子的盐。
技术领域
本实用新型属于电子工程技术领域，涉及一种微等离子体氧化处理装置
背景技术
发明内
本实用新型的目的是为了改善生产的TiO2性能、工艺复杂和成本高的缺点， 提供一种工艺设备简单，适于大规模生产的实现金属离子掺杂的(Ba，X)TiO3膜层 的设备。
本实用新型解决其技术所采用的技术方案是，一种微等离子体氧化处理装 置，由脉冲电源1、负极2、正极3、电解质溶液4、阳极电极5、阴极电极8、 氧化处理槽9组成，脉冲电源1的正极3和阳极电极5相连，负极2和阴极电 极8相连，阳极电极5和阴极电极8插入置有电解液4的微等离子体氧化处理 槽9中，微等离子体氧化处理槽9中设有冷却管道6，微等离子体氧化处理槽9 内的下端设有搅拌器7。电解质溶液4为酸性介质Ba(OH)2或同时添加含有WO12， Mo7O242、SnO32-酸根离子的盐。
本实用新型的有益效果是，结构简单，操作方便，成本低，可直接在金属 表面成膜。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中：1、脉冲电源，2、负极，3正极，4、电解质溶液，5、阳极电极，6、 冷却管道，7搅拌器，8、阴极电极，9、微等离子体氧化处理槽。
具体实施方式
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