1.一种在基材上形成有机硅酸盐玻璃多孔薄膜的化学气相沉积方法，所述薄膜具有孔并且介电常数为2.7或更小，所述方法包括：使包含至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷前体和选自如下的成孔剂前体的前体混合物进行反应：
a)包含一个或更多个醇基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-z(OH)z的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中醇基的数量并且在1和4之间，并且其中醇官能团可是环外和/或环内的；
b)包含一个或更多个醚基并且通式为CnH2n+2-2x-2yOz的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中醚键的数量并且在1和4之间，并且其中醚键可是环外和/或环内的；
c)包含一个或更多个环氧基团并且通式为CnH2n+2-2x-2y-2zOz的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中环氧基团的数量并且在1和4之间，并且其中环氧基团可连接至环上或直链上；
d)包含一个或更多个醛基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-2zOz的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中醛基的数量并且在1和4之间；
e)包含一个或更多个酮基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-2zOz的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中醛基的数量并且在1和4之间，并且其中酮基可是环外和/或环内的；
f)包含一个或更多个羧酸基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-3z(OOH)z的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中羧酸基的数量并且在1和4之间；
(g)包含偶数个羧酸基并且酸官能团被脱水以形成环状酸酐基团的烃结构，其中，所述结构的通式为CnH2n+2-2x-2y-6z(O3)z，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中酸酐基的数量并且为1或2；
(h)包含酯基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)z的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且没有不饱和键与酯的羰基共轭，z为结构中酸酐基的数量并且为1或2；
(i)包含丙烯酸酯官能团并且通式为CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)z的烃结构，所述官能团由酯基和至少一个与酯基的羰基共轭的不饱和键组成，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在
0-4之间，y是结构中不饱和键的数量且大于或等于1，其中至少不饱和键与酯的羰基共轭，z为结构中酯基的数量并且为1或2；
(j)包含醚和羰基官能团并且通式为CnH2n+2-2w-2x-2y(O)y(O)z的烃结构，其中n＝1-12，w是通式中环的数量并且在0和4之间，x是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，y是结构中羰基的数量，其中羰基可为酮和/或醛，z为结构中醚基的数量并且为1或2，并且醚基可是环外或环内的；
(k)包含醚和醇官能团并且通式为CnH2n+2-2w-2x-y(OH)y(O)z的烃结构，其中n＝1-12，w是结构中环的数量且在0和4之间，x是结构中不饱和键的数量并且在0-n之间，y是结构中醇基的数量，z为结构中醚基的数量并且为1或2，并且其中醚基可是环外或环内的；
(l)包含选自醇、醚、羰基和羧酸的官能团的任意组合并且通式为CnH2n+2-2u-2v-w-2y-3z(OH)w(O)x(O)y(OOH)z的烃结构，其中n＝1-12，u是结构中环的数量且在0和4之间，v是结构中不饱和键的数量且在0和n之间，w是通式中醇基的数量并且在0和4之间，x是结构中醚基的数量并且在0和4之间且该醚基可是环外或环内的，y是结构中羰基的数量且在0和
3之间，其中羰基可为酮和/或醛，z为结构中羧酸基的数量并且在0和2之间；
(m)包含一个或更多个伯胺基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-z(NH2)z的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中胺基的数量并且在1和4之间，并且其中胺官能团可是环外和/或环内的；
(n)包含一个或更多个仲胺基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-2z(NH)z的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中仲胺基的数量并且在1和4之间，并且其中胺官能团可是环外和/或环内的；
(o)包含一个或更多个叔胺基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-3z(N)z的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中叔胺基的数量并且在1和4之间，并且其中胺官能团可是环外和/或环内的；
(p)包含一个或更多个硝基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-z(NO2)z的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中硝基的数量并且在1和4之间，并且其中硝基官能团可是环外和/或环内的；
(q)包含胺和醚官能团并且通式为CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)z的烃结构，其中n＝1-12，u是结构中环的数量并且在0和4之间，v是结构中不饱和键的数量且在0和n之间，w是伯胺基的数量，x是仲胺基的数量，y是叔胺基的数量，并且1＜w+x+y＜4，并且其中z为化合物中醇基的数量并且在1和4之间，并且醇基和/或胺基可是环外和/或环内的；
(r)包含胺和醇官能团并且通式为CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)z的烃结构，其中n＝1-12，u是结构中环的数量并且在0和4之间，v为结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，w是伯胺基的数量，x是仲胺基的数量，y是叔胺基的数量，并且1＜w+x+y＜4，z为化合物中醚基的数量并且在1和4之间，且醚基和/或胺基可是环外和/或环内的；
(s)及其混合物。
2.权利要求1的方法，其中，介电常数小于1.9。
3.权利要求1的方法，其中多孔薄膜包含SivOwCxHyFz，其中v+w+x+y+z＝100％原子，v为20-30％原子，w为20-45％原子，x为5-20％原子，y为1540％原子，且z为0。
4.权利要求1的方法，其中，z为0.5-7％原子，至少一种氟化剂选自SiF4、NF3、F2、COF2、CO2F2和HF，并且用来将F引至多孔薄膜上，基本上所有多孔薄膜中的F均以Si-F基团的形式键合至Si上。
5.权利要求1的方法，其中，薄膜中50％或更多的氢键合至碳上。
6.权利要求1的方法，其中，多孔薄膜的密度小于1.5克/毫升。
7.权利要求1的方法，其中，孔的当量球体直径小于或等于3nm。
8.权利要求1的方法，其中，多孔薄膜的傅里叶变换红外(FTIR)光谱与用除了在气体试剂中没有任何成孔剂前体以外基本上相同的方法制备的参考薄膜的参考FTIR基本相同。
9.权利要求8的方法，其中，多孔薄膜的介电常数比用除了在气体试剂中没有任何成孔剂前体以外基本上相同的方法制备的参考薄膜小至少0.3。
10.权利要求8的方法，其中，多孔薄膜的介电常数比用除了在气体试剂中没有任何成孔剂前体以外基本上相同的方法制备的参考薄膜小至少10％。
11.权利要求1的方法，其中，多孔薄膜在氮气气氛下于425℃恒温的平均重量损失小于1.0wt％/hr。
12.权利要求1的方法，其中，多孔薄膜在空气中于425℃恒温的平均重量损失小于
1.0wt％/hr。
13.权利要求1的方法，其中，成孔剂前体与至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷前体不同。
14.权利要求13的方法，其中，至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷前体由式
1 2 3 1
SiRn(OR)p(O(O)CR)4-(n+p)表示，其中，R 独立地为H或C1-C4直链或支链的，饱和的，单或多
2
不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 独立地为C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多
3
不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为1-3，且p为0-3。
1 2
15.权利要求13的方法，其中，至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷由式Rn(OR)
4 3 5 6 1 3
p(O(O)CR)3-n-pSi-O-SiRm(O(O)CR)q(CR)3-m-q表示，其中，R 和R 独立地为H或C1-C4直链或
2 6
支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 和R 独立地为C1-C6直
4 5
链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，R 和R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为0-3，m为0-3，q为0-3，且p为0-3，n+m≥1，n+p≤3且m+q≤3。
1 2
16.权利要求13的方法，其中，至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷由式Rn(OR)
4 3 5 6 1 3
p(O(O)CR)3-n-pSi-SiRm(O(O)CR)q(OR)3-m-q表示，其中，R 和R 独立地为H或C1-C4直链或支
2 6
链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 和R 独立地为C1-C6直链
4 5
或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，R 和R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为0-3，m为0-3，q为0-3，且p为0-3，n+m≥1，n+p≤3且m+q≤3。
1 2
17.权利要求13的方法，其中，至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷由式Rn(OR)
4 7 3 5 6 1 3
p(O(O)CR)3-n-pSi-R-SiRm(O(O)CR)q(OR)3-m-q表示，其中，R 和R 独立地为H或C1-C4直链
2 6
或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 和R 独立地为C1-C6
4 5
直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，R 和R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化
7
的烃，R 为C2-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃，n为0-3，m为0-3，q为0-3，且p为0-3，n+m≥1，n+p≤3且m+q≤3。
1 2
18.权利要求13的方法，其中，至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷前体由式(Rn(OR)
3 1
p(O(O)CR)4-(n+p)Si)tCH4-t表示，其中，R 独立地为H或C1-C4直链或支链的，饱和的，单或多
2
不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 独立地为C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多
3
不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为1-3，p为0-3，且t为2-4，n+p≤4。
1 2
19.权利要求13的方法，其中，至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷前体由式(Rn(OR)
3 1
p(O(O)CR)4-(n+p)Si)tNH3-t表示，其中，R 独立地为H或C1-C4直链或支链的，饱和的，单或多
2
不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 独立地为C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多
3
不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为1-3，p为0-3，且t为1-3，n+p≤4。
1
20.权利要求13的方法，其中，至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷前体由式(N(R)
1 2 1 2
Si(RR))x的环硅氮烷表示，其中，R 和R 独立地为H，C1-C4直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃，且x是2-8的整数。
1 2
21.权利要求13的方法，其中，至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷前体由式(C(RR)
1 2 1 2
Si(RR))x的环硅碳烷表示，其中，R 和R 独立地为H，C1-C4直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃，且x是2-8的整数，前提条件是，在分子中至少有一个Si-H键。
22.权利要求13的方法，其中，至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷前体选自：二甲氧基甲基甲硅烷、二乙氧基甲基甲硅烷、二异丙氧基甲基甲硅烷、二叔丁氧基甲基甲硅烷、三甲氧基甲硅烷、三乙氧基甲硅烷、三异丙氧基甲硅烷、甲基三甲氧基甲硅烷、甲基三乙氧基甲硅烷和三叔丁氧基甲硅烷。
23.权利要求1的方法，其中，所述至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷前体是带有两个或更少S-O键的第一含硅前体和带有三个或更多个Si-O键的第二含硅前体的混合物，并且该混合物用来调整多孔薄膜的化学组成，前提条件是，所述前体包含至少一个Si-O键。
24.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含一个或更多个醇基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-z(OH)z的烃结构表示，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中醇基的数量并且在1和4之间，并且其中醇官能团可是环外和/或环内的。
25.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含一个或更多个醚基并且通式为CnH2n+2-2x-2yOz的烃结构表示，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中醚键的数量并且在1和4之间，并且其中醚键可是环外和/或环内的。
26.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含一个或更多个环氧基团并且通式为CnH2n+2-2x-2y-2zOz的烃结构表示，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中环氧基团的数量并且在1和4之间，并且其中环氧基团可连接至环上或直链上。
27.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含一个或更多个醛基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-2zOz的烃结构表示，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中醛基的数量并且在1和4之间。
28.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含一个或更多个酮基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-2zOz的烃结构表示，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中醛基的数量并且在1和4之间，并且其中酮基可是环外和/或环内的。
29.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含一个或更多个羧酸基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-3z(OOH)z的烃结构，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中羧酸基的数量并且在1和4之间。
30.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含偶数个羧酸基并且酸官能团被脱水以形成环状酸酐基团的烃结构表示，其中，所述结构的通式为CnH2+2-2x-2y-6z(O3)z，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中酸酐基的数量并且为1或2。
31.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含酯基并且通式为
CnH2n+2-2z-2y-2z(O2)z的烃结构表示，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且没有不饱和键与酯的羰基共轭，z为结构中酸酐基的数量并且为1或2。
32.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含丙烯酸酯官能团并且通式为CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)z的烃结构表示，所述官能团由酯基和至少一个与酯基的羰基共轭的不饱和键组成，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量且大于或等于1，其中至少不饱和键与酯的羰基共轭，z为结构中酯基的数量并且为1或
2。
33.权利要求13的方法，其中，所述的成孔剂前体由包含醚基和羰基官能团并且通式为CnH2n+2-2w-2x-2y(O)y(O)z的烃结构表示，其中n＝1-12，w是通式中环的数量并且在0和4之间，x是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，y是结构中羰基的数量，其中羰基可为酮和/或醛，z为结构中醚基的数量并且为1或2，并且醚基可是环外或环内的。
34.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含醚基和醇基官能团并且通式为CnH2n+2-2w-2x-y(OH)y(O)z的烃结构表示，其中n＝1-12，w是通式中环的数量并且在0和4之间，x是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，y是结构中醇基的数量，z为结构中醚基的数量并且为1或2，并且醚基可是环外或环内的。
35.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含选自醇、醚、羰基和羧酸基的官能团的任意组合且通式为CnH2n+2-2u-2v-w-2y-3z(OH)w(O)x(O)y(OOH)z的烃结构表示，其中n＝
1-12，u是结构中环的数量并且在0和4之间，v是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，w是通式中醇基的数量并且在0和4之间，x是结构中醚基的数量并且在0和4之间，并且醚基可是环外或环内的，y是结构中羰基的数量并且在0和3之间，其中羰基可为酮和/或醛，z为结构中羧酸基的数量并且在0和2之间。
36.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含一个或更多个伯胺并且通式为CnH2n+2-2x-2y-z(NH2)z的烃结构表示，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中胺基的数量并且在1和4之间，并且其中胺官能团可是环外和/或环内的。
37.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含一个或更多个仲胺基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-2z(NH)z的烃结构表示，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中仲胺基的数量并且在1和4之间，并且其中胺官能团可是环外和/或环内的。
38.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含一个或更多个叔胺基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-3z(N)z的烃结构表示，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中叔胺基的数量并且在1和4之间，并且其中胺官能团可是环外和/或环内的。
39.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由包含一个或更多个硝基并且通式为CnH2n+2-2x-2y-z(NO2)z的烃结构表示，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中硝基的数量并且在1和4之间，并且其中硝基官能团可是环外和/或环内的。
40.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由具有胺和醚官能团并且通式为CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)z的烃结构表示，其中n＝1-12，u是结构中环的数量并且在0和4之间，v是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，w是伯胺基的数量，x是仲胺基的数量，y是叔胺基的数量，并且，1＜w+x+y＜4，且其中z为化合物中醇基的数量并且在1和4之间，醇基和/或胺基可是环外和/或环内的。
41.权利要求13的方法，其中，所述成孔剂前体由具有胺和醇官能团并且通式为CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)z的烃结构表示，其中n＝1-12，u是结构中环的数量并且在0和4之间，v是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，w是伯胺基的数量，x是仲胺基的数量，y是叔胺基的数量，并且1＜w+x+y＜4，且z为化合物中醚基的数量并且在
1和4之间，其中醚和/或胺基可是环外和/或环内的。
42.权利要求1的方法，其中，前体混合物还包含成孔前体。
43.权利要求19的方法，其中，成孔前体选自：1-新己基-1，3，5，7-四甲基环四硅氧烷、1-新戊基-1，3，5，7-四甲基环四硅氧烷、新戊基二乙氧基甲硅烷、新己基二乙氧基甲硅烷、新己基三乙氧基甲硅烷、新戊基三乙氧基甲硅烷和新戊基二叔丁氧基甲硅烷。
44.一种由权利要求1的方法生产的有机硅酸盐玻璃多孔薄膜，所述薄膜由化学式SivOwCxHyFz表示的材料组成，其中v+w+x+y+z＝100％，v为10-35％原子，w为10-65％原子，x为5-30％原子，y为10-50％原子，而z为0-15％原子，其中所述薄膜具有孔并且介电常数小于2.6。
45.权利要求42的薄膜，其中，v为20-30％原子，w为20-45％原子，x为5-25％原子，y为15-40％原子，且z为0。
46.权利要求42的薄膜，其中，z为0.5-7％原子，并且其中多孔薄膜中基本上所有F均以Si-F基团的形式键合至Si上。
47.权利要求42的薄膜，其中，包含在薄膜中的50％或更多的氢键合至碳上。
48.一种组合物，包含：
(a)选自如下的至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷前体：
1 2 3 1
1)式SiRn(OR)p(O(O)CR)4-(n+p)，其中，R 独立地为H或C1-C4直链或支链的，饱和的，单
2
或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 独立地为C1-C6直链或支链的，饱和的，单
3
或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为1-3，且p为0-3，前提条件是，分子中至少有一个Si-H键；
1 2 4 3 5 6 1 3
2)式Rn(OR)p(O(O)CR)3-n-pSi-O-SiRm(O(O)CR)q(OR)3-m-q，其中，R 和R 独立地为H或
2 6
C1-C4直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 和R 独立地为C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，
4 5
R 和R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为0-3，m为0-3，q为0-3，且p为0-3，n+m≥1，n+p≤3且m+q≤3，前提条件是，分子中至少有一个Si-H键；
1 2 4 3 5 6 1 3
3)式Rn(OR)p(O(O)CR)3-n-pSi-SiRm(O(O)CR)q(OR)3-m-q，其中，R 和R 独立地为H或
2 6
C1-C4直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 和R 独立地为C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，
4 5
R 和R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为0-3，m为0-3，q为0-3且p为0-3，n+m≥1，n+p≤3，且m+q≤3，前提条件是，分子中至少有一个Si-H键；
1 2 4 7 3 5 6 1 3
4)式Rn(OR)p(O(O)CR)3-n-pSi-R-SiRm(O(O)CR)q(OR)3-m-q，其中，R 和R 独立地为H
2 6
或C1-C4直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 和R 独立地为C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的
4 5
烃，R 和R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分
7
或完全氟化的烃，R 为C2-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为0-3，m为0-3，q为0-3，且p为0-3，n+m≥1，n+p≤3且m+q≤3，前提条件是，分子中至少有一个Si-H键；
1 2 3 1
5)式(Rn(OR)p(O(O)CR)4-(n+p)Si)tCH4-t，其中，R 独立地为H或C1-C4直链或支链的，饱
2
和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 独立地为C1-C6直链或支链的，饱
3
和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为1-3，p为0-3，且t为2-4，n+p≤4，前提条件是，分子中至少有一个Si-H键；
1 2 3 1
6)式(Rn(OR)p(O(O)CR)4-(n+p)Si)tNH3-t，其中，R 独立地为H或C1-C4直链或支链的，饱
2
和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 独立地为C1-C6直链或支链的，饱
3
和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，R 独立地为H，C1-C6直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为1-3，p为0-3，且t为1-3，n+p≤4，前提条件是，分子中至少有一个Si-H键；
1 1 2 1 2
7)式(N(R)Si(RR))x，其中，R 和R 独立地为H，C1-C4直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃基，且x可以是2-8的整数；
1 2 1 2 1 2
8)式(C(RR)Si(RR))x，其中，R 和R 独立地为H，C1-C4直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃，且x是2-8的整数，前提条件是分子中至少有一个Si-H键；
9)及其混合物；
(b)选自如下、与所述至少一种有机硅烷和/或有机硅氧烷前体不同的成孔剂：
1)式CnH2n+2-2x-2y-z(OH)z，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中醇基的数量并且在1和4之间，并且所述醇官能团可是环外和/或环内的；
2)式CnH2n+2-2x-2yOz，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中醚键的数量并且在1和4之间，并且醚键可是环外和/或环内的；
3)式CnH2n+2-2x-2y-2zOz，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中环氧基的数量并且在1和4之间，并且所述环氧基可连接至环上或直链上；
4)式CnH2n+2-2x-2y-2zOz，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中醛基的数量并且在1和4之间；
5)式CnH2n+2-2x-2y-2zOz，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中醛基的数量并且在1和4之间，并且酮基可是环外和/或环内的；
6)式CnH2n+2-2x-2y-3z(OOH)z，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中羧酸基的数量并且在1和4之间；
7)式CnH2n+2-2x-2y-6z(O3)z，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为结构中酸酐基的数量并且为1或2；
8)式CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)z，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且没有不饱和键与酯的羰基共轭，z为结构中酸酐基的数量并且为
1或2；
9)式CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)z，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且大于或等于1，并且至少一个不饱和键与酯的羰基共轭，z为结构中酯基的数量并且为1或2；
10)式CnH2n+2-2w-2x-2y(O)y(O)z，其中n＝1-12，w是结构中环的数量并且在0-4之间，x是结构中不饱和键的数量并且在0-n之间，y是结构中羰基的数量并且羰基可是酮和/或醛，z为化合物中醚基的数量并且为1或2，并且其中醚基可是环外或环内的。
11)式CnH2n+2-2w-2x-y(OH)y(O)z，其中n＝1-12，w是结构中环的数量并且在0-4之间，x是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，y是结构中醇基的数量，z为结构中醚基的数量并且为1或2，并且其中醚基可是环外或环内的；
12)式CnH2n+2-2u-2v-w-2y-3z(OH)w(O)x(O)y(OOH)z，其中n＝1-12，u是结构中环的数量并且在0-4之间，v是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，w是结构中醇基的数量并且在
0和4之间，x是结构中醚基的数量并且在0和4之间，并且该醚基可为环外或环内的，y是结构中羰基的数量并且在0和3之间，其中羰基可是酮和/或醛，z为结构中羧酸基的数量并且在0和2之间；
13)式CnH2n+2-2x-2y-z(NH2)z，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中胺基的数量并且在1和4之间，并且其中胺官能团可是环外和/或环内的；
14)式CnH2n+2-2x-2y-2z(NH)z，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中仲胺基的数量并且在1和4之间，并且其中胺官能团可是环外和/或环内的；
15)式CnH2n+2-2x-2y-3z(N)z，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中叔胺基的数量并且在1和4之间，并且其中胺官能团可是环外和/或环内的；
16)式CnH2n+2-2x-2y-z(NO2)z，其中n＝1-12，x是结构中环的数量并且在0-4之间，y是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，z为化合物中硝基的数量并且在1和4之间，并且其中硝基官能团可是环外和/或环内的；
17)式CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)z，其中n＝1-12，u是结构中环的数量并且在0-4之间，v是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，w为伯胺基的数量，x为仲胺基的数量，y为叔胺基的数量，并且1＜w+x+y＜4，z为化合物中醇基的数量并且在1和4之间，并且其中醇和/或胺基可是环外和/或环内的；
18)式CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)z，其中n＝1-12，u是结构式中环的数量并且在0和4之间，v是结构中不饱和键的数量并且在0和n之间，w是伯胺基的数量，x是仲胺基的数量，y是叔胺基的数量，并且1＜w+x+y＜4，z为化合物中醚基的数量并且在1和
4之间，并且醚基和/或胺基可是环外和/或环内的；
(19)及其混合物。
49.权利要求48的组合物，其中所述组合物还包含：
(c)选自如下的成孔前体：
1 2 3 1
1)式Rn(OR)p(O(O)CR)4-(n+p)Si，其中，R 独立地为H或C1-C12直链或支链的，饱和的，
2 3
单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 和R 独立地为C1-C12直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为1-3，且p为0-3，前提条
1
件是，n+p≤4，并且至少一个R 被作为成孔剂的C3或更大的烃取代；
1 2 4 3 5 6 1 3
2)式Rn(OR)p(O(O)CR)3-n-pSi-O-SiRm(O(O)CR)q(OR)3-m-q，其中，R 和R 独立地为H或
2 4 5 6
C1-C12直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R、R、R 和R独立地为C1-C12直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为0-3，m为0-3，q为0-3，且p为0-3，前提条件是，n+m≥1，n+p≤3，m+q≤3，并
1 3
且R 和R 中至少之一被作为成孔剂的C3或更大的烃取代；
1 2 4 3 5 6 1 3
3)式Rn(OR)p(O(O)CR)3-n-pSi-SiRm(O(O)CR)q(OR)3-m-q，其中，R 和R 独立地为H或
2 4 5 6
C1-C12直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R、R、R 和R独立地为C1-C12直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为0-3，m为0-3，q为0-3且p为0-3，前提条件是，n+m≥1，n+p≤3，m+q≤3，并
1 3
且R 和R 中至少之一被作为成孔剂的C3或更大的烃取代；
1 2 4 7 3 5 6 1 3
4)式Rn(OR)p(O(O)CR)3-n-pSi-R-SiRm(O(O)CR)q(OR)3-m-q，其中，R 和R 独立地为H或
2 4 5 6
C1-C12直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R、R、R、R
7
和R 独立地为C1-C12直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为0-3，m为0-3，q为0-3且p为0-3，前提条件是，n+m≥1，n+p≤3，m+q≤3，
1 3 7
并且R、R 和R 中至少之一被作为成孔剂的C3或更大的烃取代；
1 2 3 1
5)式(Rn(OR)p(O(O)CR)4-(n+p)Si)tCH4-t，其中，R 独立地为H或C1-C12直链或支链的，饱
2 3
和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 和R 独立地为C1-C12直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为1-3，p为0-3，且t
1
为2-4，前提条件是，n+p≤4，并且至少一个R 被作为成孔剂的C3或更大的烃取代；
1 2 3 1
6)式(Rn(OR)p(O(O)CR)4-(n+p)Si)tNH3-t，其中，R 独立地为H或C1-C12直链或支链的，饱
2 3
和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃；R 和R 独立地为C1-C12直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，芳族的，部分或完全氟化的烃，n为1-3，p为0-3，且t
1
为1-3，前提条件是，n+p≤4，并且至少一个R 被作为成孔剂的C3或更大的烃取代；
1 ) 1 3
7)式(OSiRR3x的环硅氧烷，其中，R 和R 独立地为H或C1-C12直链或支链的，饱和的，
1
单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃基，且x可以是2-8的整数，前提条件是，R
3
和R 中至少之一被作为成孔剂的C3或更大的烃取代；
1 1 3 1 3
8)式(NRSiRR)x的环硅氮烷，其中，R 和R 独立地为H或C1-C12直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃基，且x可以是2-8的整数，前提条件是，
1 3
R 和R 中至少之一被作为成孔剂的C3或更大的烃取代；
1 3 1 3 1 3
9)式(CRRSiRR)x的环硅碳烷，其中，R 和R 独立地为H或C1-C12直链或支链的，饱和的，单或多不饱和的，环状的，部分或完全氟化的烃基，且x可以是2-8的整数，前提条件
1 3
是，R 和R 中至少之一被作为成孔剂的C3或更大的烃取代；
10)及其混合物。
50.权利要求1的方法，所述方法还包括：用至少一种选自热能、等离子能、光子能量、电子能量、微波能和化学物质的后处理剂对预备的薄膜进行处理。
51.权利要求50的方法，其中，在从预备薄膜中除去基本上所有成孔剂之前、期间和/或之后，至少一种后处理剂改善得到的多孔有机硅玻璃薄膜的性能。
52.权利要求50的方法，其中，附加的后处理剂从预备薄膜中除去至少一部分成孔剂。
53.权利要求50的方法，其中，至少一种后处理剂是200-8000纳米范围内的光子能量。
54.权利要求50的方法，其中，至少一种后处理剂是由电子束提供的电子能量。
55.权利要求50的方法，其中，至少一种后处理剂是超临界流体。