专利汇可以提供一种自动点火的微波等离子作用腔专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种自动点火的 微波 等离子作用腔,它包括激励腔组合(1),分别与激励腔组合(1)相连的上 水 冷套组合(2)和下水冷套组合(4),固定在上水冷套组合(2)及下水冷套组合(4)中间的 石英 玻璃(3),与下水冷套组合(4)连接的进气组合(5)和与激励腔组合(1)相连的自动点火装置(6)。本实用新型可替代传统的手动点火的 微波等离子 作用腔,利用自动点火装置(6)安全可靠的实现微波 等离子体 点火;通过上水冷套组合(2)以及下水冷套组合(4)对石英玻璃(3)的固定作用,使石英玻璃(3)不受激励腔组合(1)摆放 位置 影响,维持平衡。本实用新型结构设计合理,无微波 泄漏 ,性能稳定,适应性更强。,下面是一种自动点火的微波等离子作用腔专利的具体信息内容。
1.一种自动点火的微波等离子作用腔,其特征在于,它包括激励腔组合(1),分别与激励腔组合(1)相连的上水冷套组合(2)和下水冷套组合(4),固定在上水冷套组合(2)及下水冷套组合(4)中间的石英玻璃(3),与下水冷套组合(4)连接的进气组合(5)和与激励腔组合(1)相连的自动点火装置(6)。
2.根据权利要求1所述的一种自动点火的微波等离子作用腔,其特征在于,激励腔组合(1)包括法兰盘(1-1)、与法兰盘(1-1)焊接的谐振腔(1-2)、与谐振腔(1-2)焊接的连接法兰(1-3)和焊接在谐振腔(1-2)上的端板(1-4)。
3.根据权利要求2所述的一种自动点火的微波等离子作用腔,其特征在于,所述的上水冷套组合(2)与下水冷套组合(4)的结构相同,它们均包括圆筒(2-1)、与圆筒(2-1)焊接的水冷套(2-2)、与圆筒(2-1)及水冷套(2-2)均焊接的底法兰(2-3);底法兰(2-3)与激励腔组合(1)的连接法兰(1-3)通过螺钉固定。
4.根据权利要求3所述的一种自动点火的微波等离子作用腔,其特征在于,进气组合(5)包括台柱(5-1)、与台柱(5-1)相连的进气管(5-2);台柱(5-1)与下水冷套组合(4)中的圆筒(2-1)焊接在一起。
5.根据权利要求1至4任一项所述的一种自动点火的微波等离子作用腔,其特征在于,所述的自动点火装置(6)包括顶针(6-1)、与顶针(6-1)相连的介质材料(6-2)、与介质材料(6-2)相连的气缸(6-3)、与气缸(6-3)相连的支架(6-4);支架(6-4)与激励腔组合(1)的法兰盘(1-1)相连。
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