专利汇可以提供原位差分谱仪专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且具有 电子 束生成器的谱仪,所述电子束生成器用于生成被导向试样的电子束。电子束 定位 器将所述电子束引导至所述试样上的适当 位置 上,并且从而产生来自所述试样的二次发射流,其中所述二次发射流包括电子和 X射线 中的至少一种。二次发射流定位器将所述二次发射流定位到检测器阵列上,所述检测器阵列接收所述二次发射流并且检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者。 调制器 调制被引导至所述试样上的所述电子束,并且从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间扫描所述电子束。提取器与所述调制器和所述检测器阵列两者 信号 通信。,下面是原位差分谱仪专利的具体信息内容。
1.一种谱仪,所述谱仪包括电子束生成器,所述电子束生成器用于生成被导向试样的电子束;电子束定位器,所述电子束定位器用于将所述电子束引导至所述试样的适当位置上,并且从而产生来自所述试样的二次发射流;二次发射流定位器,所述二次发射流定位器用于将所述二次发射流定位到检测器阵列上,所述检测器阵列用于接收所述二次发射流并且检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者,其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种;调制器,所述调制器用于以一频率以正弦方式调制所述被引导至所述试样上的电子束的位置,并且从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间反复扫描所述电子束;以及提取器,所述提取器与所述调制器和所述检测器阵列两者信号通信,用于通过以调制的频率在时域中应用傅里叶滤波器提取差分信号,所述差分信号表征在所述电子束的反复扫描期间从所述第一位置接收到的信号帧与在所述电子束的反复扫描期间从所述第二位置接收到的信号帧之间的差别。
2.如权利要求1所述的谱仪,其中所述谱仪为俄歇谱仪。
3.如权利要求1所述的谱仪,其中所述谱仪为EDX谱仪。
4.一种谱仪,所述谱仪包括电子束生成器,所述电子束生成器用来生成被导向试样的电子束;电子束定位器,所述电子束定位器用于将所述电子束引导至所述试样的适当位置上,并且从而产生来自所述试样的二次发射电子流;发射电子流定位器,所述发射电子流定位器用于将所述二次发射电子流定位到检测器阵列上,所述检测器阵列用于接收所述二次发射电子流并且检测所述二次发射电子流的量和被接收到的位置两者;调制器,所述调制器用于以一频率以正弦方式调制所述发射电子流定位器上的电压,并且从而跨所述检测器阵列反复扫描所述二次发射电子流;以及提取器,所述提取器与所述调制器和所述检测器阵列两者信号通信,用于通过以调制的频率在时域中应用傅里叶滤波器提取差分信号,所述差分信号表征与所述试样的本底组成不同的所述试样的痕量成分。
5.如权利要求4所述的谱仪,其中所述谱仪为俄歇谱仪。
6.如权利要求4所述的谱仪,其中所述谱仪为EDX谱仪。
7.一种用于产生差分谱的方法,所述方法包括如下步骤:
将电子束引导至试样上,并且从而产生来自所述试样的二次发射流,其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种,
将所述二次发射流定位到检测器阵列上,
利用所述检测器阵列检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者, 利用调制器以一频率以正弦方式调制被引导至所述试样上的所述电子束的位置,从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间扫描所述电子束,
在所述调制器和所述检测器阵列之间提供信号通信,以及
通过以调制的频率在时域中应用傅里叶滤波器提取差分信号,所述差分信号表征在所述电子束的反复扫描期间从所述试样上的第一位置接收的信号帧和在所述电子束的反复扫描期间从所述试样上的第二位置接收的信号帧之间的差别。
8.如权利要求7所述的方法,其中所述方法由俄歇谱仪实施。
9.如权利要求7所述的方法,其中所述方法由EDX谱仪实施。
10.一种用于产生差分谱的方法,所述方法包括如下步骤:
将电子束引导至试样上,并且从而产生来自所述试样的二次发射流,其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种,
将所述二次发射流定位到检测器阵列上,
利用所述检测器阵列检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者, 利用调制器跨所述检测器阵列以一频率以正弦方式调制二次发射流,从而跨所述检测器阵列反复扫描所述二次发射流,
在所述调制器和所述检测器阵列之间提供信号通信,以及
通过以调制的频率在时域中应用傅里叶滤波器提取差分信号,所述差分信号表征与所述试样的本底组成不同的所述试样的痕量成分。
11.如权利要求10所述的方法,其中所述方法由俄歇谱仪实施。
12.如权利要求10所述的方法,其中所述方法由EDX谱仪实施。
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