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一种设在 真空 镀膜机壳体上的可调式格栅

阅读：783发布：2023-01-19

专利汇可以提供一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，其特征在于：所述的若干叶片的两侧分别设一转轴，每个转轴的外端贯穿格栅外框的两侧壁，其中位于格栅外框一外侧的转轴的外端轴接连接杆的一端，若干连接杆的另一端分别旋转连接在同一联动杆上；一旋转气缸设于格栅外框的一外侧，所述旋转气缸的内侧为其输出轴，旋转气缸的外侧为与输出轴联动的旋转盘，所述输出轴采用联轴器依次连接传动磁流体、任一转轴的外端。本实用新型与现有技术相比，利用外部旋转气缸驱动格栅机构旋转，使格栅可以在抽真空时全面打开，大大提高了抽气速率；而在制作工艺时，为防止粉末，格栅可以半开或全关，实现自动调整。，下面是一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，包括格栅本体，所述的格栅本体包括固定在真空镀膜机壳体内的格栅内框(5-1)、连接在格栅内框(5-1)前侧的格栅外框(5-2)、设置在格栅外框(5-2)内的若干叶片(3)，其特征在于：
所述的若干叶片(3)的两侧分别设一转轴，每个转轴的外端贯穿格栅外框(5-2)的两侧壁，其中位于格栅外框(5-2)一外侧的转轴的外端轴接连接杆(2)的一端，若干连接杆(2)的另一端分别旋转连接在同一联动杆(1)上；
一旋转气缸(4)设于格栅外框(5-2)的一外侧，所述旋转气缸(4)的内侧为其输出轴，旋转气缸(4)的外侧为与输出轴联动的旋转盘(4-1)，所述输出轴采用联轴器(4-5)依次连接传动磁流体(6)、任一转轴的外端。
2.如权利要求1所述的一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，其特征在于：所述的旋转气缸(4)上还设有限制旋转幅度的限位装置。
3.如权利要求2所述的一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，其特征在于：所述的限位装置包括限位杆(4-2)、设有弧形孔(4-4)的限位板(4-3)，位于旋转盘(4-1)旁的旋转气缸(4)的外侧面上固定所述限位板(4-3)，且弧形孔(4-4)与旋转气缸(4)之间设有间距，所述限位杆(4-2)的一端固定在旋转盘(4-1)上，限位杆(4-2)的另一端采用滑杆滑动连接在弧形孔(4-4)内。
4.如权利要求3所述的一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，其特征在于：所述的限位板(4-3)采用扇形板。
5.如权利要求3所述的一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，其特征在于：所述弧形孔(4-4)的圆弧夹角为90度。
6.如权利要求1所述的一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，其特征在于：所述的转轴与格栅外框(5-2)之间设有轴套，所述轴套的外壁与格栅外框(5-2)之间为密封连接。
7.如权利要求1所述的一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，其特征在于：所述联轴器(4-5)采用弹性联轴器。
8.如权利要求1～7任一项所述的一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，其特征在于：所述的格栅本体设有左右对称的两个。

说明书全文

一种设在真空 镀膜机壳体上的可调式格栅

技术领域

[0001] 本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅。

背景技术

[0002] 现有真空镀膜机上的格栅为了不让镀膜粉末及一些工艺气体进入高压阀内，格栅结构都会设计的较密集，生产中是可以遮挡粉末，但对真空抽速也带来了很大的影响，降低了真空抽气的速率。实用新型内容

[0003] 本实用新型的目的是克服现有技术的不足，通过在真空镀膜机设置可开合的格栅，来保证真空抽气时的速率。

[0004] 为实现上述目的，设计一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，包括格栅本体，所述的格栅本体包括固定在真空镀膜机壳体内的格栅内框、连接在格栅内框前侧的格栅外框、设置在格栅外框内的若干叶片，其特征在于：

[0005] 所述的若干叶片的两侧分别设一转轴，每个转轴的外端贯穿格栅外框的两侧壁，其中位于格栅外框一外侧的转轴的外端轴接连接杆的一端，若干连接杆的另一端分别旋转连接在同一联动杆上；

[0006] 一旋转气缸设于格栅外框的一外侧，所述旋转气缸的内侧为其输出轴，旋转气缸的外侧为与输出轴联动的旋转盘，所述输出轴采用联轴器依次连接传动磁流体、任一转轴的外端。

[0007] 所述的旋转气缸上还设有限制旋转幅度的限位装置。

[0008] 所述的限位装置包括限位杆、设有弧形孔的限位板，位于旋转盘旁的旋转气缸的外侧面上固定所述限位板，且弧形孔与旋转气缸之间设有间距，所述限位杆的一端固定在旋转盘上，限位杆的另一端采用滑杆滑动连接在弧形孔内。

[0009] 所述的限位板采用扇形板。

[0010] 所述弧形孔的圆弧夹角为90度。

[0011] 所述的转轴与格栅外框之间设有轴套，所述轴套的外壁与格栅外框之间为密封连接。

[0012] 所述联轴器采用弹性联轴器。

[0013] 所述的格栅本体设有左右对称的两个。

[0014] 本实用新型与现有技术相比，采用可自动调节式的格栅，利用外部旋转气缸驱动格栅机构旋转，使格栅可以在抽真空时全面打开，大大提高了抽气速率；而在制作工艺时，为防止粉末，格栅可以半开或全关，实现自动调整。附图说明

[0015] 图1为本实用新型的立体结构图。

[0016] 图2为本实用新型的主视图。

[0017] 图3为图2的俯视图。

[0018] 图4为本实用新型的左视图。

具体实施方式

[0019] 现结合附图及实施例对本实用新型作进一步地说明。

[0020] 实施例1

[0021] 参见图1～图4，本实用新型一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，包括格栅本体，所述的格栅本体包括固定在真空镀膜机壳体内的格栅内框5-1、连接在格栅内框5-1前侧的格栅外框5-2、设置在格栅外框5-2内的若干叶片3，其特征在于：

[0022] 所述的若干叶片3的两侧分别设一转轴，每个转轴的外端贯穿格栅外框5-2的两侧壁，其中位于格栅外框5-2一外侧的转轴的外端轴接连接杆2的一端，若干连接杆2的另一端分别旋转连接在同一联动杆1上；

[0023] 一旋转气缸4设于格栅外框5-2的一外侧，所述旋转气缸4的内侧为其输出轴，旋转气缸4的外侧为与输出轴联动的旋转盘4-1，所述输出轴采用联轴器4-5依次连接传动磁流体6、任一转轴的外端。

[0024] 本实用新型通过控制外部旋转气缸4的工作，来实现联动杆1的旋转，从而带动连接杆2的旋转，带动叶片3旋转开合。

[0025] 进一步的，所述的旋转气缸4上还设有限制旋转幅度的限位装置。所述的限位装置包括限位杆4-2、设有弧形孔4-4的限位板4-3，位于旋转盘4-1旁的旋转气缸4的外侧面上固定所述限位板4-3，且弧形孔4-4与旋转气缸4之间设有间距，所述限位杆4-2的一端固定在旋转盘4-1上，限位杆4-2的另一端采用滑杆滑动连接在弧形孔4-4内，方便控制叶片3的旋转幅度。

[0026] 进一步的，所述的限位板4-3采用扇形板，使外形更美观。

[0027] 进一步的，所述弧形孔4-4的圆弧夹角为90度。

[0028] 进一步的，所述的转轴与格栅外框5-2之间设有轴套，所述轴套的外壁与格栅外框5-2之间为密封连接。

[0029] 进一步的，所述联轴器4-5采用弹性联轴器，更易于吸收冲击和振动，延长使用寿命。

[0030] 进一步的，所述的格栅本体左右对称设有两个。

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