专利汇可以提供直爪转子真空泵专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且直爪 转子 真空 泵 ,由泵体、转子对、底座、主动轴、从动轴、 电机 、连接器、连轴器、进气装置等组成。其特点在于转子的周边型体由七段曲直线平滑连接,各级转子对安装时均有90度的 相位 差,同时对各级泵腔内的吸排气进行了合理安排,使被抽气体流动顺畅,使泵的极限真空度达0.1-3帕,它主要为 半导体 工业制作芯片所用。,下面是直爪转子真空泵专利的具体信息内容。
1.一种直爪转子真空泵,包括基座(2)、泵腔(3)、转子对(4)、电机(16),其特征在于:电机(16)转轴与安装于泵体内的主动轴(5)经传动装置与从动轴(6)配合连接,转子对(4)通过键槽配合安装在主动轴(5)和从动轴(6)上,泵腔(3)串联安装在基座(2)上。
2.根据权利要求1所述的直爪转子真空泵,其特征在于:每级键配合的相位差为90度。
3.根据权利要求1所述的直爪转子真空泵,其特征在于:转子对(4)的周边型体由直线(23)、园弧(25)、摆线(24)、园弧(26)、摆线(27)、包络线(28)、园弧(29)七段曲直线平滑连接。
4.根据权利要求1所述的直爪转子真空泵,其特征在于:各级泵腔装配独立的进水调节器(28)与泵腔内的冷却水道(22)相连通。
5.根据权利要求1所述的直爪转子真空泵,其特征还在于各级泵腔(3)上装有由截止阀、节流阀、单向阀组成的掺气装置(30)。
所属技术领域本实用新型涉及一种转子真空泵,确切地说是一种直爪转子真空泵。
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