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一种制备高纯石英砂的方法

阅读:595发布:2021-07-27

专利汇可以提供一种制备高纯石英砂的方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种制备高纯 石英 砂的方法,本方法采用石英砂为基本原料,通过对 块 状原料的 焙烧 、 水 碎去除砂粒表面和内部的矿异物以及再次焙烧、水碎去除石英砂中的某些可燃和可溶性杂质,最后通 过酸 浸去除绝大多数的矿异物,得到高纯石英砂,该方法生产的石英砂可用来生产多晶 硅 材料。,下面是一种制备高纯石英砂的方法专利的具体信息内容。

1、一种制备高纯石英砂的方法,其特征在于:所述制备方法包 括以下各步骤,
(1)粗选:将各类石英原矿中的明显的杂质和异物去除;
(2)破碎:采用专业破碎机将石英原矿破碎至粒径为1~20mm 的颗粒;
(3)焙烧:采用专业焙烧炉,将石英原矿颗粒在300~1500℃ 的条件下焙烧2~5小时;
(4)碎:将被烧后的石英颗粒至于冷水中快速冷却,以达到 去除矿物内部的汽泡、水文以及一些包裹的杂质的目的,使矿物裂开;
(5)粉碎:采用湿磨或干磨将原料制成5-50μm的超细石英砂;
(6)高梯磁磁选:选用磁场强度为50~15000高斯的高梯磁磁 选选矿设备,取出原料本身和操作过程中引入的等单质以及具有弱 磁性的这些单质的化合物;
(7)分级:利用分级设备按标准将原料分成多种粒度范围产品, 在后续处理中,根据粒度范围均进行分别处理;
(8)焙烧:采用专业焙烧炉,将石英原矿颗粒在300~1500℃ 的条件下焙烧2~5小时;
(9)水碎:将被烧后的石英颗粒迅速置于热水中冷却,以更大 程度的溶去焙烧生成的易溶性物质,并通过对水加热,以增加该部分 可溶性物质在水中的溶解度
(10)浮选:向水碎后的石英砂细粉加入浮选剂,将比重小于1 的杂质除去;
(11)去离子水洗:用去离子水洗去残余的浮选剂和石英表面的 杂质;
(12)干燥:先将去离子水洗后的石英砂进行干或晾干,除去 大批量的水,然后再在特种干燥设备中进行干燥,并加热至100℃~ 200℃;
(13)酸浸:将干燥后的石英砂加入浸渍槽,在干燥高温的条件 下迅速加入酸浸所用的酸(硫酸盐酸硝酸氢氟酸),酸的浓度 为5%~20%,在30~100℃的条件下恒温搅拌2~24小时,除去石 英砂细粉中的微量金属和非金属杂质;
(14)去离子水洗:将酸浸后的原料用去离子水洗去原料包含的 酸液等,直至呈中性;
(15)干燥及包装:用特种干燥设备将原料进行干燥,并在净化 车间内进行真空包装,得到最终产品;。
2、根据权利要求1所述的一种制备高纯石英砂的方法,其特征 在于:所述的两次水碎,第一次是焙烧取出后迅速放入冷水中,在 0.5~2小时内,达到石英砂和水的温度平衡。第二次是焙烧取出后迅 速放入室温热水中,然后加热至沸腾并保持0.5~2小时。
3、根据权利要求1所述的一种制备高纯石英砂的方法,其特征 在于:所述的酸浸是将不同目数的石英砂分开处理,分别放入不同的 反应釜,在1~2吨石英砂加入5%~20%酸液,恒温在60~90℃, 搅拌反应3~8小时。
4、根据权利要求3所述的一种制备高纯石英砂的方法,其特征 在于:所用到的酸为硫酸、盐酸、硝酸和氢氟酸中的一种或几种的混 合酸。

说明书全文

技术领域:

发明涉及一种制备高纯石英砂的方法,具体地说是制备适用于 物理法生产多晶材料的石英砂的方法。

背景技术:

石英砂是制备多晶硅单晶硅的基本原料,被大量的应用于半导 体技术、太阳能、航天等高科技领域。石英砂的纯度和元素含量直接 影响着所制备产品的好坏。目前,美国的尤尼明公司制备高纯石英砂 的平较高,其杂质含量在20ppm以内,但是其工艺复杂,成本十 分昂贵。传统石英砂的制备工艺为:粗选→破碎焙烧→水碎 →粉碎→除→酸浸泡→浮选等工序,最后制成80~100目的 产品。这种生产和提纯工艺较简单,不能有效去除石英的包裹杂质、 表面杂质以及生产过程中存在的一些杂质,使得纯度不高,特别是内 部对多晶硅有很大影响的和磷等,去除效果更差。

CN1562743A公开了一种“超纯石英砂的制取方法”,其方法是通 过粉碎筛分制备粗的硅砂;通过热酸浸洗除去表面杂质;通过冷爆炸 除去沙粒内部的气泡、裂痕;通过超声振动酸洗更好地除掉矿粒内部 异物。该专利的不足之处在于所用酸的浓度较高,并且反应时间较长, 并且用到腐蚀特别强的王水等,对设备有较强的腐蚀作用;另外 专利所涉及的条件如要采用超低温,很难达到;最主要的是该专利技 术不能除掉石英砂中的硼和磷,这两种元素在物理法提纯金属硅中又 是较难的,所以说达不到物理法制备多晶硅和单晶硅的要求。

发明内容

本发明的目的旨在提供一种制备适用于生产多晶硅的高纯石英 砂的方法,采用石英砂为基本原料,通过对状原料的水碎除去砂粒 表面和内部的矿异物以及通过对石英砂细粉的水碎除去石英砂中的 某些可燃和可溶性杂质,再通过酸浸去除绝大多数的矿异物,得到高 纯石英砂,为制备高质量的金属硅提供原料。
为实现上述目的,本发明制备适用于生产多晶硅的高纯石英砂方 法包括以下步骤、条件:
(1)粗选:将各类石英原矿中的明显的杂质和异物去除;
(2)破碎:采用专业破碎机将石英原矿破碎至粒径为1~20mm 的颗粒;
(3)焙烧:采用专业焙烧炉,将石英原矿颗粒在300~1500℃ 的条件下焙烧2~5小时;
(4)水碎:将被烧后的石英颗粒至于冷水中快速冷却,以达到 去除矿物内部的汽泡、水文以及一些包裹的杂质的目的,使矿物裂开;
(5)粉碎:采用湿磨或干磨将原料制成粒径在5~50μm的超细 石英砂;
(6)高梯磁磁选:选用磁场强度为50~15000高斯的高梯磁磁 选选矿设备,取出原料本身和操作过程中引入的铁等单质以及具有弱 磁性的这些单质的化合物;
(7)分级:利用分级设备按标准将原料分成多种粒度范围产品, 在后续处理中,根据粒度范围均进行分别处理;
(8)焙烧:采用专业焙烧炉,将石英原矿颗粒在300~1500℃ 的条件下焙烧2~5小时;
(9)水碎:将被烧后的石英颗粒迅速至于室温热水中冷却,以 更大程度的溶去焙烧生成的易溶性物质,并通过对水加热0.5~2小时, 以增加该部分可溶性物质在水中的溶解度
(10)浮选:向水碎后的石英砂细粉加入浮选剂,将比重小于1 的杂质除去;
(11)去离子水洗:用去离子水洗去残余的浮选剂和石英砂表面 的杂质;
(12)干燥:先将去离子水洗后的石英砂进行干(晾干)等除 去大批量的水,然后再在特种干燥设备中进行干燥,并加热至100~ 200℃;
(13)酸浸:将干燥后的石英砂加入浸渍槽,在干燥高温的条件 下迅速加入酸浸所用的酸(硫酸盐酸硝酸氢氟酸),酸的浓度 为5%~20%,在30~100℃的条件下恒温搅拌2~24小时,除去石 英砂细粉中的微量金属和非金属杂质;
(14)去离子水洗:将酸浸后的原料用去离子水洗去原料包含的 酸液等,直至呈中性;
(15)干燥及包装:用特种干燥设备将原料进行干燥,并在净化 车间内进行真空包装,得到最终产品。
本发明与现有技术相比,主要优点体现在对硼和磷的脱除上,现 有技术一般只对大块的矿石进行一次粉碎,该步骤虽可以脱除大量气 泡、裂痕以及矿本身包含的一些矿异物,但经该过程后,石英砂的粒 径仍然很大,对于粒径内部的矿异物仍然不能进行有效的脱除。本发 明技术则在粉碎后进行再次的焙烧和水碎,这样能使石英砂细颗粒更 大程度的与空气中的等结合,可以更好地脱除能与氧发生反应并能 够气化升华等的物质。将焙烧后的样品放入水中后,又可以将可溶 性的一些物质脱除,特别的本技术将水碎后的物料进行加热,可以大 大增加生成的可溶性杂质在水中的溶解度,提高脱杂效果。
具体实施方式:
实施例1:本实例按以下步骤进行,
(1)粗选:将各类石英原矿中的明显的杂质和异物去除;
(2)破碎:采用专业破碎机将石英原矿破碎至粒径为1~20mm 的颗粒;
(3)焙烧:采用专业焙烧炉,将天然硅石在900℃条件下焙烧2 小时;
(4)水碎:将被烧后的硅石取出后迅速装有冷水的洁净容器中, 快速冷却,以达到去除矿物内部的汽泡、水文以及一些包裹的杂质的 目的,使矿物裂开,把硅石碎成2.5mm的块石;
(5)粉碎:将水碎后的块石在常温烘箱中烘干,然后经湿磨或 干磨进行机械粉碎,最后在气流粉碎机中粉碎成5~50μm的超细石 英砂。
(6)磁选:采用磁强为50~15000高斯的高梯度磁选设备湿法 除去石英粉本身和操作过程中引入的铁剂和其它弱磁性物质;
(7)分级:采用水力漩流机将石英粉进行分级。此过程利用分 级设备按标准将石英粉分成多种粒度范围产品,在后续处理中,根据 粒度范围均进行分别处理;
(8)浮选:对于分级后的石英粉,加入浮选剂以添加的少量辅 助药剂,进行处理,然后用去离子水洗去添加剂、少量脱除的金属杂 质以及密度小于1的杂质。然后将石英粉进行干燥。
(9)焙烧:将石英原矿颗粒在高温炉中进行再次焙烧,于900℃ 条件下焙烧2小时;使超细石英砂充分与氧气接触,从而在此或后续 过程中去除能与氧发生反应并能够气化、升华或易溶于水的物质(如 硼、磷等)。
(10)水碎:将被烧后的石英颗粒迅速至于热水中冷却,冷却后 通过对水加热至沸腾并保持1小时,以增加该部分可溶性物质在水中 的溶解度,以更大程度的溶去焙烧生成的易溶性物质;
(11)浮选:向水碎后的石英砂细粉加入浮选剂,将比重小于1 的杂质除去;
(12)去离子水洗:用去离子水洗去残余的浮选剂和石英表面的 杂质;
(13)干燥:先将去离子水洗后的石英砂进行风干(晾干)等除 去大批量的水,将水碎后的石英粉在100℃真空条件的干燥设备中完 全烘干。
(14)酸浸:将干燥后的石英砂加入浸渍槽,在干燥高温的条件 下迅速加入酸浸所用的酸,1吨石英砂中加入200ml的浓盐酸和200 毫升的浓硝酸,然后用去离子水将酸的浓度稀释至10%,在80℃的 恒温条件下反应8小时,除去石英砂细粉中的微量金属和非金属杂 质;
(15)去离子水洗:用净化设备将酸浸后的石英砂用去离子水洗 去石英砂表面的酸液化试剂和有害物质,直至呈中性;
(16)干燥及包装:将石英砂细粉在内衬高硅材料的干燥机中进 行干燥,制成粒径为5~50μm不同级别的高纯石英粉,并在净化车 间内分别进行真空包装,得到最终产品。最终产品的纯度为99.9%~ 99.9998%。
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